公开(公告)号：CN116802457A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202180091766.3

申请日：2021-11-05

Applicant: CKD株式会社 ,  国立大学法人宇都宫大学

Inventor： 石垣裕之 ,  冈田点 ,  二村伊久雄 ,  间宫高弘 ,  早崎芳夫

IPC: G01B11/24

Abstract: 提供一种能够实现测量精度的提高等的三维测量装置。三维测量装置(1)具备：干涉光学系统(3)，具有将入射光分割成两个光的半透半反镜(HM)，将该分割后的一个光照射到工件(W)，并将另一个光照射到参考面(23)，将它们再次合成并射出；第一投光系统(2A)，朝向半透半反镜(HM)射出第一波长的第一光；第二投光系统(2B)，朝向半透半反镜(HM)射出第二波长的第二光；第一拍摄系统(4A)，对从半透半反镜(HM)射出的第一光涉及的输出光进行拍摄；以及第二拍摄系统(4B)，对从半透半反镜(HM)射出的第二光涉及的输出光进行拍摄，构成为基于由拍摄系统(4A、4B)获取的图像数据执行工件(W)的三维测量，并且朝向工件(W)的第一光和第二光的行进方向不同，并且朝向参考面(23)的第一光和第二光的行进方向不同。

公开(公告)号：CN116057349A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202180056689.8

申请日：2021-07-29

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 石垣裕之 ,  冈田点 ,  二村伊久雄

IPC: G01B11/24

Abstract: 提供一种三维测量装置，能够实现测量精度的提高等。三维测量装置(1)包括：干涉光学系统(3)，将入射的光分割为2个偏振光，将一个照射到工件(W)，并将另一个照射到参照面(23)，并且将它们再次合成并射出；以及相机(33A)，拍摄从干涉光学系统(3)射出的光。相机(33A)具有偏振图像传感器(70A)，在该偏振图像传感器(70A)中，透射轴的设定角度不同的4种偏振片以规定的排列与各受光元件对应地各配置有1个。三维测量装置(1)存储事先实测偏振图像传感器(70A)的各偏振片的透射轴的绝对角度而得到的透射轴绝对角度数据。然后，基于由相机(33A)获取的亮度图像数据的各像素的亮度数据和与该像素对应的偏振图像传感器(70A)的偏振片的透射轴绝对角度数据，通过相移法进行工件(W)的高度测量。