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公开(公告)号：CN100408932C
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN02828788.6
申请日：2002-04-23
CPC classification number: F24H9/1863 , F16K27/003 , F16K49/002 , F24H1/121 , Y10T137/6606 , Y10T137/87885
Abstract: 一种流体控制装置，其中，在线(A)(B)的两侧配置有带式加热器(11)，而且在该线(A)(B)内在相邻的流体控制器间的多处设有容纳用于保持带式加热器的夹子(13)的间隙，带式加热器(11)由从其两侧夹紧的夹子(13)保持在线(A)(B)上，带有加热器的线(A)(B)安装在可装卸地安装于基座部件(1)上的线支承部件(10)上。在线支承部件(10)上设有沿长度方向延伸的加热器插入孔(14)，在该孔(14)中插入护套加热器(12)。
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公开(公告)号：CN1625676A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN02828788.6
申请日：2002-04-23
IPC: F24H1/10
CPC classification number: F24H9/1863 , F16K27/003 , F16K49/002 , F24H1/121 , Y10T137/6606 , Y10T137/87885
Abstract: 一种流体控制装置，其中，在线(A)(B)的两侧配置有带式加热器(11)，而且在该线(A)(B)内在相邻的流体控制器间的多处设有容纳用于保持带式加热器的夹子(13)的间隙，带式加热器(11)由从其两侧夹紧的夹子(13)保持在线(A)(B)上，带有加热器的线(A)(B)安装在可装卸地安装于基座部件(1)上的线支承部件(10)上。在线支承部件(10)上设有沿长度方向延伸的加热器插入孔(14)，在该孔(14)中插入护套加热器(12)。
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公开(公告)号：CN1320151C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN03816179.6
申请日：2003-07-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L19/061 , C22C38/001 , C22C38/42 , C22C38/44 , F16L19/08
Abstract: 本发明的管接头(30)包括从后端侧插入管(32)的管状主体(31)、嵌合在从主体(31)后端侧伸出的管(32)的周围的前环(33)及后环(34)、将前环(33)及后环(34)紧固而将管(32)固定在主体(31)上的盖形螺母(35)。后环(34)由合金制成，该合金包含有：按照重量%，C：0.001～0.01%、Si：≤5%、Mn：≤2%、P：≤0.03%、S：≤100ppm、O：≤50ppm、Cr：18～25%、Ni：15～25%、Mo：4.5～7.0%、Cu：0.5～3.0%、N：0.1～0.3%，其余部分实际上是Fe和其它不可避免的杂质。
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公开(公告)号：CN1665952A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN03816181.8
申请日：2003-07-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: C22C38/46 , C22C38/001 , C22C38/42 , C22C38/44 , F16J15/102 , F16K7/123 , F16K27/0236 , F16K31/122 , F16L19/0218 , F16L19/103 , F16L58/184
Abstract: 本发明提供一种流体部件，流体部件是配管和流体控制装置中使用的阀、接头等，构成流体部件的预定金属制部件，由合金制成，该合金包含有：按照重量％，C：0.001～0.01％、Si：≤5％、Mn：≤2％、P：≤0.03％、S：≤100ppm、O：≤50ppm、Cr：18～25％、Ni：15～25％、Mo：4.5～7.0％、Cu：0.5～3.0％、N：0.1～0.3％，其余部分是Fe和其它不可避免的杂质，并且为了基本确保耐缝隙腐蚀性，从用重量百分比表示各合金成分复合添加的CRI=〔Cr〕＋4×〔Mo〕＋30×〔N〕式求出的CRI(耐缝隙腐蚀性指标)值设定在40≤CRI≤55的范围内。
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公开(公告)号：CN1275218A
公开(公告)日：2000-11-29
申请号：CN99801434.6
申请日：1999-08-09
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
Abstract: 对于使用孔板的流量控制装置,可不必拆解配管而通过检测上游压力判断孔板是否堵塞,可使流量控制装置的寿命延长、安全性得到提高。具体地说就是,在上游压力P1保持为下游压力P2的约2倍以上、以QC=KP1(K:常数)进行下游流量QC的计算、利用该计算流量QC与设定流量QS二者的差信号QY对控制阀CV的开闭进行控制的流量控制装置FCS中,其堵塞检测装置由:储存有孔板2无堵塞的条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL而测定的上游压力P1的基准压力衰减数据Y(t)的存储装置M,在孔板2的实际条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL以对上游压力P1的压力衰减数据P(t)进行测定的压力检测器14,对压力衰减数据P(t)与基准压力衰减数据Y(t)二者进行对比运算的中央运算处理装置CPU,以及当压力衰减数据P(t)偏离基准压力衰减数据Y(t)达到既定程度以上时报知堵塞的报警电路46等构成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1227572C
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN99800859.1
申请日：1999-05-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 一种具备压力式流量控制装置的气体供给设备更其在将节流孔的上游侧压力保持成为节流孔的下游侧压力的约2倍以上的状态下，一边进行气体的流量控制，一边通过节流孔对应阀向加工过程供给气体。该压力式流量控制装置包括：从气体供给源接受气体的控制阀，设置在控制阀下游侧的节流孔对应阀，设置于前述控制阀与节流孔对应阀之间的压力检测器，设置于节流孔对应阀的阀动机构部下游侧的节流孔，在根据前述压力检测器的检测压力P1将流量作为Qc＝KP1(式中K为常数)进行运算、同时将流量指令信号Qs与运算流量Qc的差作为控制信号Qy向控制阀的驱动部输出的运算控制装置。
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公开(公告)号：CN1666051A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN03816180.X
申请日：2003-07-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K1/38
CPC classification number: F16K1/385 , F16K1/04 , F16K1/38 , F16K1/482 , F16K25/005
Abstract: 本发明提供一种流体控制器，该流体控制器包括金属制阀体(2)和金属制滑动部件(3)。该金属制阀体(2)具有流体流入通路(2a)、流体流出通路(2b)、和连通两通路的连通路(2c)。金属制滑动部件(3)通过使其在包含连通路(2c)的纵通路(11)内在纵方向移动，其前端部将连通路(2c)截断或开通。滑动部件(3)的至少前端部(3a)由合金制成，该合金包含有：按照重量％，C：0.001～0.01％、Si：≤5％、Mn：≤2％、P：≤0.03％、S：≤100ppm、O：≤50ppm、Cr：18～25％、Ni：15～25％、Mo：4.5～7.0％、Cu：0.5～3.0％、N：0.1～0.3％，其余部分实际上是Fe和其它不可避免的杂质。
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公开(公告)号：CN1272186A
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：CN99800859.1
申请日：1999-05-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 使半导体制造装置等所使用的具备压力式流量控制装置的气体供给设备更小型化而降低制造成本,同时改善过度流量特性,防止气体供给开始时的气体的过调节现象的发生,提高流量控制精度与设备可靠性,由此,减少半导体制品质量的不均一,同时提高半导体制品的制造效率。具体地讲,是在将节流孔的上游侧压力保持成为节流孔的下游侧压力的约2倍以上的状态下,一边进行气体的流量控制,一边通过节流孔对应阀向加工过程供给气体,在上述具备压力式流量控制装置的气体供给设备上,气体供给设备的构成包括:从气体供给源接受气体的控制阀,设置在控制阀下游侧的节流孔对应阀,设置于前述控制阀与节流孔对应阀之间的压力检测器,设置于节流孔对应阀的阀动机构部下游侧的节流孔,在根据前述压力检测器的检测压力P1将流量作为Qc=KP1(式中K为常数)进行运算、同时将流量指令信号Qs与运算流量Qc的差作为控制信号Qy向控制阀的驱动部输出的运算控制装置。
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公开(公告)号：CN1320152C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN03816182.6
申请日：2003-07-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K27/0236 , C22C38/001 , C22C38/42 , C22C38/44 , F16K27/00 , F16L19/103 , F16L58/184
Abstract: 本发明提供一种流体部件，该流体部件中的多个构成部件(2、3、4、5、6)中的、具有露出到流体部件外面的露出面的规定金属制部件(例如螺栓)(5)，由合金制成，该合金包含有C：0.001～0.01%、Si：≤5%、Mn：≤2%、P：≤0.03%、S：≤100ppm、O：≤50ppm、Cr：18～25%、Ni：15～25%、Mo：4.5～7.0%、Cu：0.5～3.0%、N：0.1～0.3%，其余部分实际上是Fe和其它不可避免的杂质。
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公开(公告)号：CN1307321C
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN03816181.8
申请日：2003-07-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: C22C38/46 , C22C38/001 , C22C38/42 , C22C38/44 , F16J15/102 , F16K7/123 , F16K27/0236 , F16K31/122 , F16L19/0218 , F16L19/103 , F16L58/184
Abstract: 本发明提供一种流体部件，流体部件是配管和流体控制装置中使用的阀、接头等，构成流体部件的预定金属制部件，由合金制成，该合金包含有：按照重量%，C：0.001～0.01%、Si：≤5%、Mn：≤2%、P：≤0.03%、S：≤100ppm、O：≤50ppm、Cr：18～25%、Ni：15～25%、Mo：4.5～7.0%、Cu：0.5～3.0%、N：0.1～0.3%，其余部分是Fe和其它不可避免的杂质，并且为了基本确保耐缝隙腐蚀性，从用重量百分比表示各合金成分复合添加的CRI＝〔Cr〕+4×Mo〕+30×N〕式求出的CRI(耐缝隙腐蚀性指标)值设定在40≤CRI≤55的范围内。
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