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公开(公告)号：CN104795302A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201410583821.2
申请日：2014-10-28
Applicant: FEI公司
Inventor： A.巴克斯鲍姆
CPC classification number: H01J37/222 , G01N1/286 , G01N1/32 , G01N1/44 , H01J37/261 , H01J37/304 , H01J37/3056 , H01J2237/08 , H01J2237/20 , H01J2237/221 , H01J2237/226 , H01J2237/262 , H01J2237/30466 , H01J2237/31745
Abstract: 本发明涉及具有用于横切应用的过程自动化的图案识别的差分成像。一种方法，用于通过允许操作者在过程期间拍摄多个图像来将差分成像用于涉及TEM样本的应用，所述过程涉及聚焦离子束过程并且覆盖多个图像以创建清楚地示出研磨步骤之间的差异的差分图像。该方法还涉及生成被研磨区域的实时图像，以及使用差分图像的覆盖来示出每个图像中的小改变，并因此加亮离子束研磨位置。该方法还涉及自动化创建差分图像并使用该差分图像来自动研磨后继切片的过程。
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公开(公告)号：CN104821284A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510045475.7
申请日：2015-01-29
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01L22/14 , B26D3/282 , B28D5/04 , G01N1/286 , G01N2001/2873 , G03F1/72 , G03F1/84 , G03F7/70608 , G03F7/7065 , H01L21/304 , Y10T156/1967
Abstract: 提供了一种方法和设备，用于在表面层剥离中使用以进行样品工件的错误隔离和缺陷局部化。更具体地，提供了一种方法和设备，用于以快速、受控和准确的方式从样品机械地剥除一个或多个层。可编程致动器包括具有切割边缘的层剥离探针尖端，该切割边缘被定形为快速和准确地从样品剥除材料层。层剥离探针尖端的切割面被配置使得每个剥除步骤剥除具有线性尺度的材料区域，该线性尺度基本上等于层剥离探针尖端切割面的线性尺度。表面层剥离可以在真空腔室内部发生以使得样品的目标区域可以在原位利用FIB/SEM成像来观测。
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公开(公告)号：CN104821284B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201510045475.7
申请日：2015-01-29
CPC classification number: H01L22/14 , B26D3/282 , B28D5/04 , G01N1/286 , G01N2001/2873 , G03F1/72 , G03F1/84 , G03F7/70608 , G03F7/7065 , H01L21/304 , Y10T156/1967
Abstract: 提供了一种方法和设备，用于在表面层剥离中使用以进行样品工件的错误隔离和缺陷局部化。更具体地，提供了一种方法和设备，用于以快速、受控和准确的方式从样品机械地剥除一个或多个层。可编程致动器包括具有切割边缘的层剥离探针尖端，该切割边缘被定形为快速和准确地从样品剥除材料层。层剥离探针尖端的切割面被配置使得每个剥除步骤剥除具有线性尺度的材料区域，该线性尺度基本上等于层剥离探针尖端切割面的线性尺度。表面层剥离可以在真空腔室内部发生以使得样品的目标区域可以在原位利用FIB/SEM成像来观测。
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公开(公告)号：CN104795302B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201410583821.2
申请日：2014-10-28
Inventor： A.巴克斯鲍姆
Abstract: 本发明涉及具有用于横切应用的过程自动化的图案识别的差分成像。一种方法，用于通过允许操作者在过程期间拍摄多个图像来将差分成像用于涉及TEM样本的应用，所述过程涉及聚焦离子束过程并且覆盖多个图像以创建清楚地示出研磨步骤之间的差异的差分图像。该方法还涉及生成被研磨区域的实时图像，以及使用差分图像的覆盖来示出每个图像中的小改变，并因此加亮离子束研磨位置。该方法还涉及自动化创建差分图像并使用该差分图像来自动研磨后继切片的过程。
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