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公开(公告)号：CN103140010B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210597226.5
申请日：2012-11-30
Applicant: FEI公司
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J37/32605 , H01J9/02 , H01J27/16 , H01J37/04 , H01J37/08 , H01J2237/032
Abstract: 本发明涉及用于将电极附连到感应耦合等离子体源的系统。一种用于聚焦离子束系统的感应耦合等离子体带电粒子源包括具有可移除地附连的源电极的等离子体反应室。紧固机构将所述源电极与等离子体反应室连接并且允许形成热传导的真空密封。利用可移除的源电极，等离子体源管的改进的可服务性和重新使用现在是可能的。
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公开(公告)号：CN102256430B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201110075718.3
申请日：2011-02-15
Applicant: FEI公司
IPC: H05H1/46
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/24 , H01J2237/0815 , H01J2237/31749 , H05H1/36
Abstract: 本发明涉及用于感应耦合等离子体离子源的等离子体点燃器。公开了一种聚焦离子束(FIB)系统，该系统包括：感应耦合等离子体离子源；包含等离子体的绝缘等离子体室；传导源偏置电极，与等离子体接触并偏置到高压以控制样品和多个孔处的离子束能量。等离子体室内的等离子体用作包括一个或多个透镜的离子镜筒的虚拟源，所述透镜把聚焦离子束形成在待被成像和/或FIB处理的样品的表面上。等离子体由装配在镜筒附近或在镜筒处的等离子体点燃器启动，所述等离子体点燃器在源偏置电极上诱导高压振荡脉冲。通过在镜筒附近装配等离子体点燃器，连接源偏置电极到偏置电源的电缆的电容性影响被最小化。通过合适的孔材料选择，使孔的离子束溅射最小化。
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公开(公告)号：CN103140010A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210597226.5
申请日：2012-11-30
Applicant: FEI公司
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J37/32605 , H01J9/02 , H01J27/16 , H01J37/04 , H01J37/08 , H01J2237/032
Abstract: 本发明涉及用于将电极附连到感应耦合等离子体源的系统。一种用于聚焦离子束系统的感应耦合等离子体带电粒子源包括具有可移除地附连的源电极的等离子体反应室。紧固机构将所述源电极与等离子体反应室连接并且允许形成热传导的真空密封。利用可移除的源电极，等离子体源管的改进的可服务性和重新使用现在是可能的。
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公开(公告)号：CN102256430A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110075718.3
申请日：2011-02-15
Applicant: FEI公司
IPC: H05H1/46
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/24 , H01J2237/0815 , H01J2237/31749 , H05H1/36
Abstract: 本发明涉及用于感应耦合等离子体离子源的等离子体点燃器。公开了一种聚焦离子束(FIB)系统，该系统包括：感应耦合等离子体离子源；包含等离子体的绝缘等离子体室；传导源偏置电极，与等离子体接触并偏置到高压以控制样品和多个孔处的离子束能量。等离子体室内的等离子体用作包括一个或多个透镜的离子镜筒的虚拟源，所述透镜把聚焦离子束形成在待被成像和/或FIB处理的样品的表面上。等离子体由装配在镜筒附近或在镜筒处的等离子体点燃器启动，所述等离子体点燃器在源偏置电极上诱导高压振荡脉冲。通过在镜筒附近装配等离子体点燃器，连接源偏置电极到偏置电源的电缆的电容性影响被最小化。通过合适的孔材料选择，使孔的离子束溅射最小化。
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