公开(公告)号：CN108305824B

公开(公告)日：2022-02-11

申请号：CN201810031852.5

申请日：2018-01-12

Applicant: FEI公司

Inventor： G·A·施温德 ,  A·P·J·M·波特曼 ,  S·凯洛格 ,  L·V·科文 ,  L·米尔

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/26

Abstract: 本文公开了一种碰撞电离源。一个示例性的源包括：设置为接收气体和带电粒子束的电离区域，其中带电离子束电离至少部分气体；以及设置为将气体提供到电离区域的供应管道，其中供应管道具有从输入孔向输出孔减少的非均匀高度，输出孔邻近电离区域设置。

公开(公告)号：CN103140010A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210597226.5

申请日：2012-11-30

Applicant: FEI公司

Inventor： S·科洛格 ,  A·格劳佩拉 ,  N·W·帕克 ,  A·B·维尔斯 ,  M·W·尤特劳特 ,  W·斯科茨拉斯 ,  G·A·施温德 ,  S·张 ,  N·史密斯

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H01J37/32605 ,  H01J9/02 ,  H01J27/16 ,  H01J37/04 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/032

Abstract: 本发明涉及用于将电极附连到感应耦合等离子体源的系统。一种用于聚焦离子束系统的感应耦合等离子体带电粒子源包括具有可移除地附连的源电极的等离子体反应室。紧固机构将所述源电极与等离子体反应室连接并且允许形成热传导的真空密封。利用可移除的源电极，等离子体源管的改进的可服务性和重新使用现在是可能的。

公开(公告)号：CN108305824A

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：CN201810031852.5

申请日：2018-01-12

Applicant: FEI公司

Inventor： G·A·施温德 ,  A·P·J·M·波特曼 ,  S·凯洛格 ,  L·V·科文 ,  L·米尔

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J27/20 ,  H01J27/205 ,  H01J37/08 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/082

Abstract: 本文公开了一种碰撞电离源。一个示例性的源包括：设置为接收气体和带电粒子束的电离区域，其中带电离子束电离至少部分气体；以及设置为将气体提供到电离区域的供应管道，其中供应管道具有从输入孔向输出孔减少的非均匀高度，输出孔邻近电离区域设置。

公开(公告)号：CN103140010B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201210597226.5

申请日：2012-11-30

Applicant: FEI公司

Inventor： S·科洛格 ,  A·格劳佩拉 ,  N·W·帕克 ,  A·B·维尔斯 ,  M·W·尤特劳特 ,  W·斯科茨拉斯 ,  G·A·施温德 ,  S·张 ,  N·史密斯

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H01J37/32605 ,  H01J9/02 ,  H01J27/16 ,  H01J37/04 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/032

Abstract: 本发明涉及用于将电极附连到感应耦合等离子体源的系统。一种用于聚焦离子束系统的感应耦合等离子体带电粒子源包括具有可移除地附连的源电极的等离子体反应室。紧固机构将所述源电极与等离子体反应室连接并且允许形成热传导的真空密封。利用可移除的源电极，等离子体源管的改进的可服务性和重新使用现在是可能的。