公开(公告)号：CN106252184A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610394736.0

申请日：2016-06-06

Applicant: 东芝电子管器件株式会社

Inventor： 高桥直树 ,  下野隆 ,  阿武秀郎

IPC: H01J35/06

CPC classification number: H01J35/165 ,  H01J1/18 ,  H01J5/22 ,  H01J5/26 ,  H01J19/48 ,  H01J19/60 ,  H01J19/66 ,  H01J29/90 ,  H01J29/92 ,  H01J35/06 ,  H01J2235/023 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/166 ,  H01J2893/0008 ,  H05G1/10

Abstract: 一种X射线管，包括：具有灯丝的阴极；阳极靶；以及真空管壳。所述阴极具有：金属制的引线支承体，该引线支承体构成所述真空管壳的一部分且向所述真空管壳的外部露出，并且安装成使得向所述灯丝通电的引线贯通所述真空外围器的内部侧与外部侧；以及金属制的灯丝支承体，该灯丝支承体以接触所述引线支承体的方式固定于所述引线支承体，且对所述灯丝进行支承。

公开(公告)号：CN105874560A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201480071806.8

申请日：2014-11-14

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： W.H.乌尔巴努斯 ,  M.J-J.维兰德

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/065

CPC classification number: G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

Abstract: 本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔(82)的电极主体(81)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)。所述电极主体优选地具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明还涉及一种适用于带电粒子束产生器的准直器电极堆叠，其包括：第一准直器电极和第二准直器电极，其各自设置有用于传送所述冷却液体(102)的冷却导管(105)；以及连接导管(110)，其用于所述第一及第二准直器电极的所述冷却导管之间的液体连接。

公开(公告)号：CN103426708A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310176238.5

申请日：2013-05-14

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 山田修嗣

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/317 ,  H01J9/00

CPC classification number: H01J1/02 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J1/46 ,  H01J3/027 ,  H01J3/18 ,  H01J9/02 ,  H01J9/14 ,  H01J37/12 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/1205

Abstract: 本发明涉及静电透镜的电极及其制造方法。提供一种用于静电透镜的电极，其中，该电极至少包含：具有第一贯通孔的第一基板和具有第二贯通孔的第二基板；第一基板具有比第二基板小的厚度；第一贯通孔具有比第二贯通孔小的直径，第二基板具有比第一基板小的电阻率，其中，第一基板和第二基板被叠置，使得第一贯通孔和第二贯通孔相互对准。可以减少在干蚀刻处理中在贯通孔中的任一个附近出现的开槽，由此可以精确地形成贯通孔。

公开(公告)号：CN101896637B

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN200880121177.X

申请日：2008-09-09

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 格雷格·贝当古 ,  拉金德尔·德辛德萨 ,  乔治·迪尔克斯 ,  兰德尔·A·哈丁 ,  乔恩·科尔 ,  杜安·莱特尔 ,  阿列克谢·马拉赫塔诺夫 ,  罗杰·帕特里克 ,  约翰·佩格 ,  莎伦·斯宾塞

IPC: C23C16/00 ,  H01L21/205 ,  C23C16/455

CPC classification number: H01J37/04 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/45565 ,  H01J37/3255 ,  H01J37/32605 ,  H01J37/32724 ,  H01J2237/032

Abstract: 本发明大体涉及等离子体处理，尤其涉及等离子体处理中使用的等离子体处理室和电极总成。根据本发明的一个实施方式，提供一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成，其中该硅基喷淋头电极包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口和位于该部分缺口中的背部插入件。该热控制板包含被配置为允许紧固硬件进入该背部插入件的紧固硬件通道。该紧固硬件和该背部插入件被配置为保持该热控制板和该硅基喷淋头点击的啮合并允许该热控制板和该硅基喷淋头电极的拆卸，在拆卸过程中隔离该硅基喷淋头电极的该硅基电极材料与该紧固硬件，免于摩擦接触。

公开(公告)号：CN109637921A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201811293777.6

申请日：2014-11-14

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： M.J-J.维兰德 ,  W.H.乌尔巴努斯

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  G21K1/02 ,  G21K5/04

CPC classification number: G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

Abstract: 本发明涉及一种适用于带电粒子光刻系统(10)的带电粒子束产生器(50)，该带电粒子束产生器包括：带电粒子源(52)，其用于产生沿着光轴(A)的带电粒子束(54)；准直器电极堆叠(70)，其用于准直该带电粒子束，其中该电极堆叠沿着光轴跨越准直器高度(Hc)；产生器真空腔室(51)，其用于容纳带电粒子源(52)和准直器电极堆叠(70)；以及至少一个真空泵系统(122、123)，其被设置在产生器真空腔室(51)内部离该准直器电极堆叠的外周边(85)一距离(ΔRp)处，其中至少一个真空泵系统跨越与光轴(A)基本上平行地定向的有效泵送表面(122a、123a)，并且其中该有效泵送表面具有跨越准直器高度(Hc)的至少一部分的表面高度(Hp)。

公开(公告)号：CN103140010B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201210597226.5

申请日：2012-11-30

Applicant: FEI公司

Inventor： S·科洛格 ,  A·格劳佩拉 ,  N·W·帕克 ,  A·B·维尔斯 ,  M·W·尤特劳特 ,  W·斯科茨拉斯 ,  G·A·施温德 ,  S·张 ,  N·史密斯

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H01J37/32605 ,  H01J9/02 ,  H01J27/16 ,  H01J37/04 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/032

Abstract: 本发明涉及用于将电极附连到感应耦合等离子体源的系统。一种用于聚焦离子束系统的感应耦合等离子体带电粒子源包括具有可移除地附连的源电极的等离子体反应室。紧固机构将所述源电极与等离子体反应室连接并且允许形成热传导的真空密封。利用可移除的源电极，等离子体源管的改进的可服务性和重新使用现在是可能的。

公开(公告)号：CN104428865A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201380035466.9

申请日：2013-06-28

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝电子管器件株式会社

Inventor： 石原智成 ,  赤堀直纪 ,  阿武秀郎

IPC: H01J35/06

CPC classification number: H01J35/06 ,  A61B6/44 ,  H01J1/16 ,  H01J1/18 ,  H01J1/88 ,  H01J3/06 ,  H01J3/18 ,  H01J19/10 ,  H01J19/42 ,  H01J23/04 ,  H01J23/083 ,  H01J29/04 ,  H01J29/50 ,  H01J29/62 ,  H01J35/14 ,  H01J37/065 ,  H01J2229/481 ,  H01J2229/4827 ,  H01J2229/4831 ,  H01J2229/50 ,  H01J2229/582 ,  H01J2229/5835 ,  H01J2235/06 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2893/0005 ,  H01J2893/005 ,  H01J2893/0088 ,  H01J2893/0089 ,  H01J2893/0094

Abstract: X射线管具有阳极靶、阴极(10)、以及真空外围器。阴极(10)具有灯丝和包括槽部(16)的收敛电极。槽部(16)具有一对第1底面(S1)、以及一对第2底面(S2)。灯丝位于与一对第1底面(S1)相同的平面上，且该一对第1底面(S1)在槽部(16)的宽度方向上夹住灯丝。一对第2底面(S2)在槽部(16)的长度方向上夹住灯丝和一对第1底面(S1)，且与一对第1底面(S1)相比，位于更靠近开口(16a)一侧的位置。

公开(公告)号：CN101303956A

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200810125878.2

申请日：2008-04-09

Applicant: 精工电子有限公司

Inventor： 伊藤雅彰

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01L21/66 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/024 ,  H01J37/22 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/2482

Abstract: 离子束检查装置、离子束检查方法、半导体制造装置以及离子源装置。源头的中心轴和引出电极排在一条直线上，并通过激光束确定该直线和离子束轴是否同轴。因此，将离子束轴上的发射激光束的光发射单元装配到外壳以代替源头，并将反射激光束的反射镜装配到引出电极。光发射装置还具有检测激光束的功能以检测由反射镜反射的激光束，并将该检测的激光束的强度发送到控制单元。调节引出电极的位置以便使激光束的强度变为最大，由此离子束轴可以和离子源及引出电极的中心轴相重合。

公开(公告)号：CN1868029A

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN200480030404.X

申请日：2004-10-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乔纳索·Y·斯莫恩斯 ,  约翰·R·谢利 ,  安德鲁·斯蒂芬·德瓦涅

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/024 ,  H01J37/023 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/061

Abstract: 本发明提供一种用于离子注入器的动态电极安装件，其中具有限定孔(34)的电极体部分的电极插入构件(21b)插入到电极支撑架。在一个实施例中，插入构件的第一动态对准销(29a)接合电极支撑架(21a)第一沟槽状动态对准表面，以在两个垂直方向上相对于电极支撑架对准第一对准销。另外，插入构件的第二动态对准销(29b)接合电极支撑架(43)的第二动态对准表面，以在旋转方向上相对于电极支撑架对准插入构件。插入构件的多个凸缘接合电极支撑架，以在对准位置保持插入构件并将电极插入构件电耦合到电极支撑架。定位于电极插入构件(21b)和电极支撑架(21a)之间的弹簧(61a)在相对于电极支撑架的对准和保持位置偏置电极插入构件。在另一个实施例中，电极支撑架具有对准销，插入构件具有对准槽。

公开(公告)号：CN105874559B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201480071804.9

申请日：2014-11-14

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： M.J-J.维兰德 ,  W.H.乌尔巴努斯

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12

CPC classification number: G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

Abstract: 本发明涉及一种准直器电极堆叠(70)，其包括：至少三个准直器电极(71‑80)，其用于准直沿着光轴(A)的带电粒子束(54)，其中每个准直器电极包括具有电极孔的电极主体，电极孔用于允许带电粒子束通过，其中电极主体沿着与光轴基本上平行的轴向方向(Z)间隔开，并且其中电极孔沿着所述光轴同轴地对准；以及多个间隔结构(89)，其被设置在每一对相邻准直器电极之间并且由电绝缘材料制成，多个间隔结构(89)用于沿着所述轴向方向以预定距离来定位准直器电极。准直器电极(71‑80)中的每一个电连接至单独的电压输出端(151‑160)。本发明还涉及一种操作带电粒子束产生器的方法。