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公开(公告)号：CN103456588B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201310211268.5
申请日：2013-05-31
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/026 , H01J37/10 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/0492 , H01J2237/08 , H01J2237/18 , H01J2237/188 , H01J2237/31713 , H01J2237/31749
Abstract: 申请人已发现，使用等离子体源的离子束系统中由高能离子与中性气体分子之间的电荷交换性相互作用产生的活跃中性粒子到达样本。这些活跃中性粒子产生了离开束冲击点的二次电子。解决这个问题的方法包括在该等离子源下方的多个差分泵送室以减少使这些离子与气体相互作用的机会。
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公开(公告)号：CN103531426A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310268310.7
申请日：2013-06-28
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/244
CPC classification number: H01J37/256 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2448
Abstract: 一种用于带电粒子束系统的分割栅极多通道次级粒子检测器包括第一栅极段和第二栅极段，每个栅极段具有独立的、产生电场的偏置电压，以便将从靶上发射出来的同轴次级粒子引导向这些栅极之一。可以改变或反转这些栅极的偏置电压，以便每个栅极可以用于检测次级粒子，并且该多通道粒子检测器作为整体可以延长其使用寿命。
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公开(公告)号：CN102881546B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201210240654.2
申请日：2012-07-12
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/3002 , H01J37/08 , H01J37/18 , H01J2237/006 , H01J2237/08 , H01J2237/0827
Abstract: 本发明涉及电感耦合等离子体（ICP）离子源中不同处理气体之间快速切换的方法和结构。可打开的气体通道实现在带电粒子束系统中的电感耦合等离子体源中的处理气体或热烘气体的快速泵出。阀，通常定位在源电极中或形成为气体入口的一部分，在打开以泵空等离子体腔时增加气体流导并且在操作等离子体源期间关闭。
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公开(公告)号：CN103621187B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201280030726.9
申请日：2012-06-21
Applicant: FEI公司
IPC: H05H1/00
CPC classification number: H01J27/16 , H01J37/08 , H01J37/321 , H01J2237/002 , H01J2237/061 , H01J2237/0817 , H01J2237/31749 , H05H1/28 , H05H1/30 , H05H1/46 , H05H2001/4652 , H05H2001/4682
Abstract: 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括提供改进的电隔离与减少后的电容RF耦合的导电屏蔽以及使等离子体绝缘并且对其进行冷却的介电流体。可以将导电屏蔽封闭在固体介电介质内。可以通过泵使介电流体循环或不可以通过泵使其循环。热管可以用于对介电流体进行冷却。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103621187A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201280030726.9
申请日：2012-06-21
Applicant: FEI公司
IPC: H05H1/00
CPC classification number: H01J27/16 , H01J37/08 , H01J37/321 , H01J2237/002 , H01J2237/061 , H01J2237/0817 , H01J2237/31749 , H05H1/28 , H05H1/30 , H05H1/46 , H05H2001/4652 , H05H2001/4682
Abstract: 一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括提供改进的电隔离与减少后的电容RF耦合的导电屏蔽以及使等离子体绝缘并且对其进行冷却的介电流体。可以将导电屏蔽封闭在固体介电介质内。可以通过泵使介电流体循环或不可以通过泵使其循环。热管可以用于对介电流体进行冷却。
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公开(公告)号：CN103456588A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310211268.5
申请日：2013-05-31
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/026 , H01J37/10 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/0492 , H01J2237/08 , H01J2237/18 , H01J2237/188 , H01J2237/31713 , H01J2237/31749
Abstract: 申请人已发现，使用等离子体源的离子束系统中由高能离子与中性气体分子之间的电荷交换性相互作用产生的活跃中性粒子到达样本。这些活跃中性粒子产生了离开束冲击点的二次电子。解决这个问题的方法包括在该等离子源下方的多个差分泵送室以减少使这些离子与气体相互作用的机会。
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公开(公告)号：CN103325650A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310087623.2
申请日：2013-03-19
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/244
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/304 , H01J37/3056 , H01J2237/022 , H01J2237/0225 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及用于主动地监测电感耦合等离子体离子源的方法和设备。一种用于主动地监测等离子体源的状况以实现源的调整和控制以及检测等离子体反应室中的不需要的污染物种类的存在的方法和设备。优选实施例包括用于量化等离子体的成分的光谱仪。提供系统控制器，系统控制器基于等离子体的光谱分析来使用反馈控制回路以调节等离子体源的离子组成。该系统还提供基于光谱分析的用于确定等离子体源的清洁何时完成的终点装置。
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公开(公告)号：CN103151233A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210514925.9
申请日：2012-12-05
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/32 , H01J37/305 , H01J27/16 , H01J37/08
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/317 , H01J2237/006 , H01J2237/049 , H01J2237/057 , H01J2237/08 , H01J2237/0817 , H01J2237/0827 , H01J2237/303 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及结合具有可选择离子的聚焦离子束柱使用的感应耦合等离子体离子源。在等离子体腔中具有多种气体的感应耦合等离子体源向聚焦的柱提供多个离子种类。滤质器允许选择特定离子种类以及在各个种类之间快速地改变。
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公开(公告)号：CN102881546A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210240654.2
申请日：2012-07-12
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/3002 , H01J37/08 , H01J37/18 , H01J2237/006 , H01J2237/08 , H01J2237/0827
Abstract: 本发明涉及电感耦合等离子体（ICP）离子源中不同处理气体之间快速切换的方法和结构。可打开的气体通道实现在带电粒子束系统中的电感耦合等离子体源中的处理气体或热烘气体的快速泵出。阀，通常定位在源电极中或形成为气体入口的一部分，在打开以泵空等离子体腔时增加气体流导并且在操作等离子体源期间关闭。
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