公开(公告)号：CN108241251B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN201711295074.2

申请日：2017-12-08

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 坪井诚治 ,  浅川敬司 ,  中村伊都 ,  安森顺一

IPC: G03F1/54 ,  G03F1/32 ,  G03F1/26 ,  G03F1/56

Abstract: 本发明提供一种相移掩模坯料，其具有优异的图案截面形状及优异的CD均匀性，且形成有微细图案，用于显示装置用相移掩模的形成。设置于透明基板上的相移膜具有：第一功能层及第二功能层、配置于两者间的中间层，第一功能层及第二功能层由含有铬、氧、氮的铬系材料构成，铬为30～70原子％，氧为20～60原子％，氮为0.4～30原子％，第一功能层所含的氮的含有率与第二功能层所含的氮的含有率相同或更多，第二功能层所含的氧的含有率比第一功能层所含的氧的含有率多，中间层含有铬和碳，铬的含有率为55～90原子％，碳的含有率为10～45原子％，中间层所含的铬的含有率比第一功能层及第二功能层所含的铬的含有率多。

公开(公告)号：CN108241251A

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201711295074.2

申请日：2017-12-08

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 坪井诚治 ,  浅川敬司 ,  中村伊都 ,  安森顺一

IPC: G03F1/54 ,  G03F1/32 ,  G03F1/26 ,  G03F1/56

CPC classification number: G03F1/54 ,  G03F1/26 ,  G03F1/32 ,  G03F1/56

Abstract: 本发明提供一种相移掩模坯料，其具有优异的图案截面形状及优异的CD均匀性，且形成有微细图案，用于显示装置用相移掩模的形成。设置于透明基板上的相移膜具有：第一功能层及第二功能层、配置于两者间的中间层，第一功能层及第二功能层由含有铬、氧、氮的铬系材料构成，铬为30～70原子％，氧为20～60原子％，氮为0.4～30原子％，第一功能层所含的氮的含有率与第二功能层所含的氮的含有率相同或更多，第二功能层所含的氧的含有率比第一功能层所含的氧的含有率多，中间层含有铬和碳，铬的含有率为55～90原子％，碳的含有率为10～45原子％，中间层所含的铬的含有率比第一功能层及第二功能层所含的铬的含有率多。