公开(公告)号：CN101989043B

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201010243544.2

申请日：2010-07-30

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 吉川裕 ,  福元友德

IPC: G03F1/32 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明涉及多色调光掩模及其制造方法，所述多色调光掩模在透明基板上形成有规定的转印图案，所述规定的转印图案包含遮光部、透光部和半透光部。遮光部是在透明基板上依次层积具有导电性的蚀刻平衡膜、半透光膜和遮光膜而成，半透光部是在透明基板上依次层积蚀刻平衡膜和半透光膜而成，透光部是透明基板露出而成的。

公开(公告)号：CN101989043A

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：CN201010243544.2

申请日：2010-07-30

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 吉川裕 ,  福元友德

IPC: G03F1/14 ,  G03F1/08 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明涉及多色调光掩模及其制造方法，所述多色调光掩模在透明基板上形成有规定的转印图案，所述规定的转印图案包含遮光部、透光部和半透光部。遮光部是在透明基板上依次层积具有导电性的蚀刻平衡膜、半透光膜和遮光膜而成，半透光部是在透明基板上依次层积蚀刻平衡膜和半透光膜而成，透光部是透明基板露出而成的。