公开(公告)号：CN101545920A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200910005618.6

申请日：2009-01-20

Applicant: OKI半导体株式会社

Inventor： 野村昭彦 ,  加藤健二

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01P15/18 ,  H01L27/20

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0842

Abstract: 本发明提供一种加速度传感器装置，可防止锤部、梁部和压电电阻元件的破损以及特性变化，可提高加速度传感器装置的可靠性。加速度传感器装置包括：具有锤部(11)、在该锤部(11)的周围具有间隔地配置的底座部(12)、挠性连接锤部(11)和底座部(12)的多个梁部(13)的加速度传感器芯片(10)；为了限制锤部(11)的变位而设置在加速度传感器芯片(10)上的限位板(20)。限位板(20)在与梁部(13)相对的位置具有凹部(25)，所以能不对梁部(13)带来冲击地限制锤部(11)的变位。

公开(公告)号：CN101545919A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200910005608.2

申请日：2009-01-20

Applicant: OKI半导体株式会社

Inventor： 野村昭彦

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0842

Abstract: 本发明提供一种加速度传感器的构造及其制造方法，对于具有限位部构造的加速度传感器，特别是利用微细加工工艺制造的具有限位部构造的加速度传感器，能消除锤和限位部粘附的问题。本发明提供的加速度传感器，其特征在于，包括：锤部；具有间隔地包围所述锤部的周围的框部；连接所述锤部和所述框部的梁部；以及限位部，该限位部具有限制所述锤部垂直向上的变位的变位限制部，和连接在该变位限制部上并且与该锤部、所述框部、所述梁部具有间隔的挠性部。

公开(公告)号：CN101545920B

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN200910005618.6

申请日：2009-01-20

Applicant: OKI半导体株式会社

Inventor： 野村昭彦 ,  加藤健二

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0842

Abstract: 本发明提供一种加速度传感器装置，可防止锤部、梁部和压电电阻元件的破损以及特性变化，可提高加速度传感器装置的可靠性。加速度传感器装置包括：具有锤部(11)、在该锤部(11)的周围具有间隔地配置的底座部(12)、挠性连接锤部(11)和底座部(12)的多个梁部(13)的加速度传感器芯片(10)；为了限制锤部(11)的变位而设置在加速度传感器芯片(10)上的限位板(20)。限位板(20)在与梁部(13)相对的位置具有凹部(25)，所以能不对梁部(13)带来冲击地限制锤部(11)的变位。