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公开(公告)号：CN105826460A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610052092.7
申请日：2016-01-26
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/113 , B41J2/01 , G11B5/35
CPC classification number: H01L41/0477 , B41J2/14233 , G11B5/483 , H01L41/0805 , H01L41/09 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H01L41/1873 , H01L41/0478 , B41J2/01 , G11B5/35
Abstract: 本发明的目的在于，补偿构成压电薄膜元件的压电薄膜的氧缺陷并且进一步提高压电特性，以及进一步降低漏电流密度。本发明所涉及的压电薄膜元件，其特征在于，所述压电薄膜元件具备一对电极层和被所述一对电极层夹持的压电薄膜，所述一对电极层由Pt(铂)构成，至少在任意一个所述电极层中含有氧化物颗粒，所述氧化物颗粒是构成所述压电薄膜的至少任意一种元素的氧化物颗粒或者Pt的氧化物颗粒。
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公开(公告)号：CN105591023B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201510770200.X
申请日：2015-11-12
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/08 , H01L41/09
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够进一步提高压电常数的铌酸钾钠压电体层。一种压电体层，其特征在于：在由通式ABO3所表示的钙钛矿型化合物的铌酸钾钠构成的压电体层上，一边在面内方向旋转上述压电体层一边进行的偏振拉曼测定(yx)所得到的拉曼光谱中上述钙钛矿型化合物的晶格振动区域的测定强度具有大致每90°的周期性，其中，该偏振拉曼测定(yx)是一边在面内方向旋转上述压电体层一边进行的，并且在上述压电体层的拉曼测定中，使拉曼散射光在与入射光垂直的方向上偏振来进行测定。
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公开(公告)号：CN104576915B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201410564550.6
申请日：2014-10-21
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01L41/0805 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , G01L1/16 , G01L9/008 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明提供了一种压电元件，其通过具备由通式ABO3表示的钙钛矿型化合物即铌酸钾钠的结晶组织的结晶取向是以其厚度方向为第1旋转对称轴而作为压电体层整体为面内四重对称的铌酸钾钠薄膜作为压电体层，从而增大压电元件的致动器的位移量或者作为传感器的灵敏度，并且能够降低耗电。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105280804B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201510323749.4
申请日：2015-06-12
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明涉及压电元件、压电致动器、压电传感器、硬盘驱动器、以及喷墨打印装置，相比于使用现有的KNN薄膜的压电元件，提高了压电特性及可靠性。一种压电元件，是具有下部电极、压电体层、上部电极的压电元件，压电体层以由通式ABO3表示的钙钛矿型化合物的铌酸钾钠为主，压电体层存在于下部电极和上部电极之间，压电体层中，X射线衍射图案(2θ/θ)中的衍射峰的2θ的角度为21.1°≤2θ≤23.4°的范围内的强度的最大值除以30.1°≤2θ≤33.3°的范围内的衍射峰的强度所得到的值为0.04以下。
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公开(公告)号：CN105280804A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510323749.4
申请日：2015-06-12
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明涉及压电元件、压电致动器、压电传感器、硬盘驱动器、以及喷墨打印装置，相比于使用现有的KNN薄膜的压电元件，提高了压电特性及可靠性。一种压电元件，是具有下部电极、压电体层、上部电极的压电元件，压电体层以由通式ABO3表示的钙钛矿型化合物的铌酸钾钠为主，压电体层存在于下部电极和上部电极之间，压电体层中，X射线衍射图案(2θ/θ)中的衍射峰的2θ的角度为21.1°≤2θ≤23.4°的范围内的强度的最大值除以30.1°≤2θ≤33.3°的范围内的衍射峰的强度所得到的值为0.04以下。
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公开(公告)号：CN105826460B
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201610052092.7
申请日：2016-01-26
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/113 , B41J2/01 , G11B5/35
Abstract: 本发明的目的在于，补偿构成压电薄膜元件的压电薄膜的氧缺陷并且进一步提高压电特性，以及进一步降低漏电流密度。本发明所涉及的压电薄膜元件，其特征在于，所述压电薄膜元件具备一对电极层和被所述一对电极层夹持的压电薄膜，所述一对电极层由Pt(铂)构成，至少在任意一个所述电极层中含有氧化物颗粒，所述氧化物颗粒是构成所述压电薄膜的至少任意一种元素的氧化物颗粒或者Pt的氧化物颗粒。
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公开(公告)号：CN105591023A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201510770200.X
申请日：2015-11-12
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/08 , H01L41/09
CPC classification number: C01G33/006 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , C01P2002/34 , C01P2002/82 , C01P2006/40 , G01L9/08 , G01N21/65 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H01L41/1873 , H01L41/316 , H01L41/187 , H01L41/0986
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够进一步提高压电常数的铌酸钾钠压电体层。一种压电体层，其特征在于：在由通式ABO3所表示的钙钛矿型化合物的铌酸钾钠构成的压电体层上，一边在面内方向旋转上述压电体层一边进行的偏振拉曼测定(yx)所得到的拉曼光谱中上述钙钛矿型化合物的晶格振动区域的测定强度具有大致每90°的周期性，其中，该偏振拉曼测定(yx)是一边在面内方向旋转上述压电体层一边进行的，并且在上述压电体层的拉曼测定中，使拉曼散射光在与入射光垂直的方向上偏振来进行测定。
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公开(公告)号：CN104576915A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410564550.6
申请日：2014-10-21
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01L41/0805 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , G01L1/16 , G01L9/008 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明提供了一种压电元件，其通过具备由通式ABO3表示的钙钛矿型化合物即铌酸钾钠的结晶组织的结晶取向是以其厚度方向为第1旋转对称轴而作为压电体层整体为面内四重对称的铌酸钾钠薄膜作为压电体层，从而增大压电元件的致动器的位移量或者作为传感器的灵敏度，并且能够降低耗电。
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