公开(公告)号：CN106278248A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610490653.1

申请日：2016-06-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木内健一 ,  饭野实 ,  川口行雄

IPC: C04B35/468 ,  C04B35/47 ,  C04B35/499 ,  C04B35/622 ,  C23C14/34

CPC classification number: C23C14/3414 ,  H01J37/3426 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/47 ,  C04B35/499 ,  C04B35/622 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/668 ,  C04B2235/786 ,  C23C14/3407

Abstract: 本发明提供一种溅射靶，作为主成分含有钙钛矿型氧化物，钙钛矿型氧化物的晶体粒径为11～15μm，抗弯强度为60MPa以上。