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发明公开
电子部件内置基板审中-实审

公开(公告)号：CN116724391A

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN202180070192.1

申请日：2021-10-22

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 露谷和俊 , 水户忠 , 米仓瑛介 , 冈崎道隆 , 龟田真清

IPC: H01L23/12

Abstract: 在具有多层布线结构的电子部件内置基板中，要防止形成于较深的通孔的通孔导体的空隙，并且提高较浅的通孔与通孔导体的密合性。电子部件内置基板(100)具备：导体层(L1‑L3)；绝缘层(112、113)，其设置在导体层(L2、L3)之间；绝缘层(114)，其设置在导体层(L1、L2)之间；半导体IC(130)，其埋入绝缘层(112、113)；通孔导体(142)，其埋入通孔(V)；以及通孔导体(143)，其埋入通孔(143a)。通孔(143a)设置于与通孔(V)重叠的位置，通孔(143a)比通孔(V)浅，通孔(143a)的内壁的表面粗糙度比通孔(V)的内壁的表面粗糙度大。由此，在埋入深度较深的通孔(V)的通孔导体(142)难以形成空隙，并且能够提高埋入深度较浅的通孔(143a)的通孔导体(143)的密合性。

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