公开(公告)号：CN108025906A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201580083484.3

申请日：2015-09-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： P.H.O.罗姆巴奇 ,  K.拉斯穆斯森 ,  A.雷德 ,  W.帕尔 ,  D.莫坦森

IPC: B81B7/00 ,  H01L23/00

CPC classification number: B81B7/0048 ,  B81B3/0018 ,  H01L24/34 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/37099

Abstract: 一种MEMS器件，包括借助于弹簧元件（SE）被弹性安装在载体（C）上的传感器系统（MC）。通过存在于传感器系统和载体的面对表面之一上的阻尼结构（DS）来减小在传感器系统和载体之间的气隙（AG）。弹簧元件至少部分容纳在阻尼结构的凹槽内。气隙的高度足够小以允许压膜阻尼。