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公开(公告)号：CN114594282B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202210078911.0
申请日：2022-01-24
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种用于一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头，显微头包括X堆栈、Y堆栈、探针模块以及薄片，所述X堆栈、Y堆栈之间通过薄片粘接，X堆栈和Y堆栈以及探针模块。X堆栈、Y堆栈都是由正方形压电片堆栈而成，结构完全一致，其中一个仅负责X方向形变，Y方向通过粘接薄片使其无法形变；另一个则只负责Y方向形变，X方向不发生形变。从而实现X、Y方向扫描的结构分离，也解决了非正交问题，因此会大大降低扫描畸变。
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公开(公告)号：CN118112286A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202311619915.6
申请日：2023-11-29
Applicant: IMEC 非营利协会
Abstract: 本发明的一个方面涉及用于生产包括适于在扫描探针显微镜(SPM)中使用的多个尖端的基板的方法，其中作为第一步骤，生产或提供包括多个纳米尺寸的尖端的基板，多个纳米尺寸的尖端优选地布置成规则阵列并且以纳米尺寸的间隙分隔开。掩模被施加到该基板，该掩模包括多个掩模部，其中每个掩模部覆盖至少一个尖端，之后该基板相对于掩模部经受蚀刻工艺。在去除掩模部之后，该方法产生包括多个基座的基板，每个基座在其上表面上具有至少一个纳米尖端，并且以适合于执行给定类型的SPM测量的距离间隔开。在第二方面中，本发明还涉及在对适当小尺寸的样品进行的SPM测量中使用包括不位于相应基座的顶部上的多个纳米尺寸的尖端的基板。
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公开(公告)号：CN117871474A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311740973.4
申请日：2023-12-15
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明提供一种检测设备及检测方法，检测设备包括样品台、激光入射模块、成像模块、光谱检测模块和探针检测模块，样品台用于放置样品；激光入射模块用于发出入射光线射向样品；成像模块用于获取样品的图像信息；光谱检测模块接收入射光线入射至样品后返回的信号，以根据信号获取样品的光谱；探针检测模块，探针检测模块包括不导电探针和检测子模块，不导电探针检测过程中与样品保持预设距离范围设置，检测子模块用于接收探针的变化信号以获取样品的表面形貌。该检测设备能够克服接触性检测中探针损伤，提高检测效率及降低检测成本；且能够在获取样品表面形貌的同时采集当前点的光谱信息，实现“图谱合一”的更高精度检测。
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公开(公告)号：CN117233431A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311156490.X
申请日：2023-10-18
Applicant: 浙江码尚科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了基于石墨烯材料的导电原子力显微镜探针制备方法，包括以下步骤：将石墨烯溶液加入以水为亚相的Langmuir槽中，利用水的高张力和石墨烯的疏水特性，所述石墨烯溶液中的石墨烯纳米片在水亚相表面形成“气相”漂浮层；通过控制阻隔部件逐步靠近压缩水亚相表面的所述石墨烯纳米片，形成紧密排布的石墨烯薄膜；将原子力探针固定在凝胶玻璃板上，将石墨烯薄膜转移到原子力探针的针尖上；将由所述石墨烯薄膜涂覆的所述原子力探针放入真空烘箱中焙烤一段时间，得到基于石墨烯材料的导电原子力显微镜探针。该方法以低成本的石墨材料作为原材料，不仅涂层成本远低于目前市场上主要使用的金或铂涂覆探针的成本，且具备更好的稳定性与更长的使用寿命。
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公开(公告)号：CN116338249A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310109393.9
申请日：2023-02-08
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01Q60/18 , G01Q60/22 , G01Q70/08 , G01N21/3586
Abstract: 一种太赫兹时域光谱近场成像装置及成像方法，成像装置包括探针组件，探针组件包括第一基底，第一基底上设置有第二基底，第二基底用于在自由空间的激光的照射下生成光生载流子，第二基底上设置有电极阵列、悬臂、接地电极、以及位于悬臂和接地电极之间的第一间隙，悬臂连接针尖和电极阵列，电极阵列包括若干电极，且相邻的两个电极之间存在有第二间隙，若干电极经模拟开关连接至后处理单元。本发明无需设置机械延时线即可得到太赫兹近场时域信号和频谱图，极大地减小了系统的复杂度和空间占用率，同时，由于模拟开关具有很高的通断速率，因此能够获得更快的时域信号刷新率，相较于传统机械延时线步进采样扫描大幅地缩短了扫描时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112986622B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202110232359.1
申请日：2021-03-02
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供一种圆片级纳米针尖及其制作方法，方法包括：刻蚀硅基衬底，得到第一针尖原胚，其中，第一针尖原胚的最细处尺寸为微米或者亚微米尺度；对第一针尖原胚进行第一热氧化，去除第一针尖原胚的表面缺陷，刻蚀第一热氧化后的第一针尖原胚得到第二针尖原胚；对第二针尖原胚进行至少一次第二热氧化，使第二针尖原胚进入自限制热氧化阶段，直到第二针尖原胚的针尖曲率半径达到一临界值，得到圆片级纳米针尖，其中，每次第二热氧化后均对第二针尖原胚进行刻蚀。本发明通过高温热氧化工艺和低温热氧化工艺相结合的方法，先去除纳米针尖原胚的表面缺陷，再对圆片范围内的纳米针尖尺寸进行精确控制，实现了纳米针尖的高成品率规模化制作。
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公开(公告)号：CN114397482A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202111563769.0
申请日：2021-12-20
Applicant: 百及纳米科技(上海)有限公司
IPC: G01Q70/08
Abstract: 本发明实施例提供了一种探针装置与探针控制设备，涉及控制技术领域。探针装置，包括：功能层、多个探针以及至少一个信号处理单元；多个探针设置在功能层的一面，至少一个信号处理单元设置在功能层的另一面上；每个信号处理单元与至少一个探针对应，每个探针与一个信号处理单元对应且电连接；信号处理单元用于根据用户输入的控制参数，生成探针控制信号，并将探针控制信号发送到对应的探针；探针用于根据接收到的探针控制信号对待操作表面进行操作处理，并将得到的探针数据信号发送到对应的信号处理单元。本发明中，形成了包含信号处理单元和探针的立体结构探针装置。
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公开(公告)号：CN103439533B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201310398918.1
申请日：2013-09-05
Applicant: 南开大学
Abstract: 一种高空间分辨率、高灵敏度、能产生强纵向偏振电场和旋转电场的纳米金属螺旋轴锥探针。该探针由纳米金属锥形结构和螺旋结构复合构成，当入射光（特别是径向偏振光）照射纳米金属螺旋轴锥探针底面时，在底面的边缘激发表面等离激元，其沿着锥表面主要是锥表面的螺旋槽向顶端传播，并不断旋转、压缩和聚焦，在顶端形成纳米聚焦的高局域强场。该强场具有很大的纵向偏振电场分量，而且具有旋转特性。另外通过改变锥形结构和螺旋结构所占的结构参数因子可以实现纳米焦场的调控。本发明可用作扫描近场显微镜、原子力显微镜等扫描探针显微镜以及针尖增强拉曼光谱仪的探针，在纳米传感、纳米成像、纳米光刻和纳米操纵等诸多领域有重要应用价值。
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公开(公告)号：CN117741186A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311753174.0
申请日：2023-12-19
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 一种机器视觉辅助的交流腐蚀金属纳米探针制备装置，其特征在于，包括针尖腐蚀台模块、机器视觉辅助模块和控制电路模块，所述的针尖腐蚀台模块包括底板架、探针夹持装置、辅助电极、金属丝探针、溶液池固定架、溶液池，所述的机器视觉模块包括摄像机、机架、辅助光源、视频采集卡，所述的控制电路包括控制器和驱动电路。根据电化学交流腐蚀纳米探针过程中产生的气泡的数量和分布参数，结合机器视觉，对腐蚀电压动态调控。本发明操作方便，针尖制备的成功率高、一致性好。
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