公开(公告)号：US20150308586A1

公开(公告)日：2015-10-29

申请号：US14260701

申请日：2014-04-24

Applicant: ASM IP Holding B.V.

Inventor： John Shugrue ,  Ron Moen

IPC: F16K35/00

CPC classification number: F16K3/0254 ,  F16K35/02 ,  F16K35/022 ,  F16K35/06 ,  F16K35/10 ,  F16K51/02

Abstract: A device for limiting travel of a valve including a body removably connected to a transfer module, a vacuum valve, or a reaction chamber, a travel limiting rod passing through the body to engage and limit travel of the valve, and wherein the body includes at least one mounting flange opposite the travel limiting rod.

Abstract translation: 一种用于限制阀的行进的装置，包括可移除地连接到传递模块，真空阀或反应室的主体的行程限制杆，穿过主体以接合和限制阀的行进，并且其中主体包括在 与行程限位杆相对的至少一个安装凸缘。

公开(公告)号：US09404587B2

公开(公告)日：2016-08-02

申请号：US14260701

申请日：2014-04-24

Applicant: ASM IP Holding B.V.

Inventor： John Shugrue ,  Ron Moen

IPC: F16K35/02 ,  F16K51/02 ,  F16K35/10 ,  F16K3/02 ,  F16K35/06

CPC classification number: F16K3/0254 ,  F16K35/02 ,  F16K35/022 ,  F16K35/06 ,  F16K35/10 ,  F16K51/02

Abstract: A device for limiting travel of a valve including a body removably connected to a transfer module, a vacuum valve, or a reaction chamber, a travel limiting rod passing through the body to engage and limit travel of the valve, and wherein the body includes at least one mounting flange opposite the travel limiting rod.

Abstract translation: 一种用于限制阀的行进的装置，包括可移除地连接到传递模块，真空阀或反应室的主体的行程限制杆，穿过主体以接合和限制阀的行进，并且其中主体包括在 与行程限位杆相对的至少一个安装凸缘。