公开(公告)号：US20060190911A1

公开(公告)日：2006-08-24

申请号：US11035928

申请日：2005-01-14

Applicant: Alan Stivers

Inventor： Alan Stivers

IPC: G06F17/50

CPC classification number: G03F1/24 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F1/72

Abstract: Generation of one or more translations is described. The generated translations may be applied to a mask pattern so that the pattern may be moved to cover one or more mask defects in part or in totality.

Abstract translation: 描述一个或多个翻译的生成。 产生的平移可以应用于掩模图案，使得图案可以被移动以部分地或全部地覆盖一个或多个掩模缺陷。

公开(公告)号：US20060066197A1

公开(公告)日：2006-03-30

申请号：US10956194

申请日：2004-09-30

Applicant: Alan Stivers

Inventor： Alan Stivers

IPC: H01J17/26 ,  H01J61/28

CPC classification number: H05G2/003 ,  H05G2/005

Abstract: According to one aspect of the invention, a method and apparatus for producing electromagnetic radiation is provided. The apparatus may include a chamber wall enclosing a plasma emission chamber to contain a plasma emission gas. A first electrode may be within the plasma emission chamber. At least one second electrode may within the plasma emission chamber. The at least one second electrode may be rotatable about an axis thereof and positioned within the plasma emission chamber such that when a voltage is applied across the first electrode and the at least one second electrode, a plasma is generated between the first electrode and the at least one second electrode.

Abstract translation: 根据本发明的一个方面，提供了一种用于产生电磁辐射的方法和装置。 该装置可以包括封闭等离子体发射室以容纳等离子体发射气体的室壁。 第一电极可以在等离子体发射室内。 至少一个第二电极可以在等离子体发射室内。 至少一个第二电极可以围绕其轴线旋转并且定位在等离子体发射室内，使得当跨越第一电极和至少一个第二电极施加电压时，在第一电极和第二电极之间产生等离子体 至少一个第二电极。

公开(公告)号：US20050109278A1

公开(公告)日：2005-05-26

申请号：US10723726

申请日：2003-11-26

Applicant: Ted Liang ,  Alan Stivers

Inventor： Ted Liang ,  Alan Stivers

IPC: C23C8/20 ,  C23C8/36 ,  C23C16/04 ,  C23C16/16 ,  C23C16/24 ,  G03F1/00 ,  G03F1/14 ,  C23C16/00 ,  C08J7/18 ,  C23C8/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C8/20 ,  C23C8/36 ,  C23C16/047 ,  C23C16/16 ,  C23C16/24 ,  G03F1/24 ,  G03F1/48 ,  G03F1/72 ,  G21K2201/067 ,  H01J2237/31732

Abstract: A method of forming thin films of materials on an extreme ultraviolet multilayer surface is described. Specifically, an electron beam and a precursor gas are used to locally deposit a capping filling in a pinhole of a multilayer surface. The growth rate, purity, and spatial resolution of the capping filling may be modulated.

Abstract translation: 描述了在极紫外多层表面上形成材料薄膜的方法。 具体地，使用电子束和前体气体来将覆盖填充物局部沉积在多层表面的针孔中。 可以调节封盖填充物的生长速率，纯度和空间分辨率。

公开(公告)号：US06897157B2

公开(公告)日：2005-05-24

申请号：US10659961

申请日：2003-09-10

Applicant: Ted Liang ,  Alan Stivers

Inventor： Ted Liang ,  Alan Stivers

IPC: C23C16/04 ,  G03F1/72 ,  H01J37/305 ,  H01L21/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302

CPC classification number: G03F1/72 ,  C23C16/047 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31744 ,  H01L21/0277 ,  H01L21/67069

Abstract: The present invention discloses a method of fabricating and repairing a mask without damage and an apparatus including a holder to mount a substrate; a stage to position the holder in a chamber; a pumping system to evacuate the chamber; an imaging system to locate an opaque defect in the substrate; a gas delivery system to dispense a reactant gas towards the defect; and an electron delivery system to direct electrons towards the opaque defect.

Abstract translation: 本发明公开了一种无损伤地制造和修复掩模的方法，以及包括用于安装基板的保持器的装置; 将保持器定位在室中的阶段; 泵送系统，以抽空室; 成像系统，用于定位衬底中的不透明缺陷; 用于将反应气体分配给缺陷的气体输送系统; 以及将电子引向不透明缺陷的电子传递系统。