公开(公告)号：US4942298A

公开(公告)日：1990-07-17

申请号：US235872

申请日：1988-10-20

Applicant: John Comer

Inventor： John Comer

IPC: H01J49/02 ,  H01J49/48

CPC classification number: H01J49/025 ,  H01J49/484

Abstract: An electron spectrometer comprising an electron source for providing a beam of electrons having a predetermined energy spectrum, and an electron selector for dispersing in energy the electrons of the beam to produce an elongate selector image, each portion of the length of which includes electrons having a predetermined respective energy. The selector image is focussed on a target to produce an elongate target image including scattered electrons having a range of energies, each portion of the length of the target image resulting from a respective portion of the length of the selector image. An analyzer disperses in energy the scattered electrons of the target image, the analyzer being orientated such that the electrons are dispersed in a direction substantially perpendicular to the length of the target image, whereby the analyzer produces a rectangular image made up of substantially parallel strips, each including electrons of a range of energies but each resulting from the scattering by the target of electrons of a respective energy.

Abstract translation: PCT No.PCT / GB87 / 00118 Sec。 371日期：1988年10月20日 102（e）日期1988年10月20日PCT提交1987年2月18日PCT公布。 公开号WO87 / 05151 日期1987年8月27日。一种包括用于提供具有预定能谱的电子束的电子源的电子能谱仪和用于将能量分散在能量中以产生细长选择器图像的电子选择器， 其长度包括具有预定的各自能量的电子。 选择器图像被聚焦在目标上以产生包括具有一定能量范围的散射电子的细长目标图像，每个部分的目标图像的长度的部分由选择器图像的长度的相应部分产生。 分析仪将能量分散在目标图像的散射电子中，分析器被定向成使得电子在基本上垂直于目标图像的长度的方向上分散，由此分析仪产生由基本平行的条形成的矩形图像， 每个都包含一定能量范围的电子，但每个都由各自能量的电子的靶的散射产生。