公开(公告)号：US20150010703A1

公开(公告)日：2015-01-08

申请号：US14377691

申请日：2013-01-31

Applicant: The University of Birmingham

Inventor： Andreas Frommhold ,  Alex Robinson ,  Jedsada Manyam

IPC: C09D161/14 ,  B05D3/02 ,  H01L21/308 ,  B05D1/00

CPC classification number: C09D161/14 ,  B05D1/005 ,  B05D3/02 ,  C08K9/04 ,  C09C1/44 ,  C09C1/56 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086

Abstract: Disclosed and claimed herein is a composition for forming a spin-on hard-mask, having a fullerene derivative and a crosslinking agent. Further disclosed is a process for forming a hard-mask.

Abstract translation: 本文公开和要求保护的是用于形成具有富勒烯衍生物和交联剂的旋涂硬掩模的组合物。 进一步公开的是形成硬掩模的方法。