公开(公告)号：JP4986163B2

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：JP2008051289

申请日：2008-02-29

Applicant: 株式会社渡辺商行 ,  昌之 都田

Inventor： 優 梅田 ,  昌樹 楠原 ,  満 深川 ,  昌之 都田

IPC: H01L21/205 ,  B01B1/00 ,  B01D3/34 ,  B01F3/04 ,  B01F5/06 ,  C23C16/40 ,  C23C16/448 ,  H01L21/02 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H01L21/8246 ,  H01L27/115

CPC classification number: H01L27/11502 ,  B01B1/005 ,  B01D3/346 ,  B01F3/04021 ,  B01F5/0646 ,  B01F5/0653 ,  B01F5/0656 ,  B01F5/0671 ,  B01F5/0676 ,  C23C16/40 ,  C23C16/409 ,  C23C16/4486 ,  H01L21/31691 ,  H01L27/11507 ,  H01L28/55 ,  Y10S261/65

公开(公告)号：JP4574821B2

公开(公告)日：2010-11-04

申请号：JP2000278617

申请日：2000-09-13

Applicant: 隆 杉野 ,  株式会社渡辺商行

Inventor： 隆 杉野 ,  優 梅田 ,  昌樹 楠原

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/318 ,  H01L23/522

CPC classification number: H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：JP4312493B2

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：JP2003110909

申请日：2003-04-15

Applicant: 株式会社渡辺商行

Inventor： 昌樹 楠原 ,  貴裕 畠中 ,  政司 稲光

IPC: B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

公开(公告)号：JP4312352B2

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：JP2000199489

申请日：2000-06-30

Applicant: 隆 杉野 ,  株式会社渡辺商行

Inventor： 隆 杉野 ,  優 梅田 ,  昌樹 楠原

IPC: B82B1/00 ,  H01J1/304 ,  H01J1/30

CPC classification number: H01J1/304

公开(公告)号：JP4238239B2

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：JP2005216010

申请日：2005-07-26

Applicant: 株式会社渡辺商行 ,  昌之 都田

Inventor： 内澤　　修 ,  幹夫 土井 ,  康平 山本 ,  優 梅田 ,  昌樹 楠原 ,  満 深川 ,  俊勝 目黒 ,  洋一 菅野 ,  昌之 都田

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/31

公开(公告)号：JP5227078B2

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：JP2008131238

申请日：2008-05-19

Applicant: 株式会社渡辺商行 ,  隆 杉野

Inventor： 隆 杉野 ,  昌樹 楠原 ,  優 梅田

IPC: H01L21/318 ,  H01L21/331 ,  H01L21/335 ,  H01L21/337 ,  H01L21/338 ,  H01L29/20 ,  H01L29/737 ,  H01L29/778 ,  H01L29/812

CPC classification number: H01L29/66924 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/66318 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7371 ,  H01L29/7787

公开(公告)号：JP5221840B2

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：JP2005040991

申请日：2005-02-17

Applicant: 株式会社渡辺商行 ,  隆 杉野

Inventor： 隆 杉野 ,  昌樹 楠原 ,  優 梅田

IPC: C23C16/38 ,  H01L21/318 ,  C23C16/452 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L23/532

公开(公告)号：JP5074946B2

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：JP2008030866

申请日：2008-02-12

Applicant: 隆 杉野 ,  株式会社渡辺商行

Inventor： 隆 杉野 ,  優 梅田 ,  昌樹 楠原

IPC: H01L21/314 ,  C23C16/30 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  H01L21/31 ,  H01L21/318 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532

CPC classification number: H01L21/76829 ,  C23C16/30 ,  C23C16/36 ,  H01L21/318 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76828 ,  H01L21/76835

Abstract: A film formation method enables the creation of a low dielectric constant boron-carbon-nitrogen thin film. The film formation method includes the steps of generating plasma in a film formation chamber, reacting boron and carbon with nitrogen atoms inside the film formation chamber, forming a boron-carbon-nitrogen film on a substrate, and thereafter subjecting the formed film to light exposure (e.g., ultraviolet and/or infrared).

公开(公告)号：JP5057622B2

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：JP2001297773

申请日：2001-09-27

Applicant: 株式会社Adeka ,  株式会社渡辺商行

Inventor： 桂子 三瓶 ,  啓史 上原 ,  仁一 尾見 ,  嗣貴 旭岡 ,  有康 栗田 ,  博 森田 ,  昌樹 楠原 ,  弘行 渡部 ,  真木雄 高橋

IPC: C01B33/158 ,  C03B8/02 ,  C01B33/154 ,  C03B19/10 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1065 ,  C03C2201/10 ,  C03C2203/24

公开(公告)号：JP4330851B2

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：JP2002208904

申请日：2002-07-17

Applicant: 隆 杉野 ,  株式会社渡辺商行

Inventor： 隆 杉野 ,  優 梅田 ,  昌樹 楠原

IPC: H01L21/318 ,  H01L21/331 ,  H01L21/338 ,  H01L29/201 ,  H01L29/737 ,  H01L29/778 ,  H01L29/812