公开(公告)号：CN111527400A

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201880084358.3

申请日：2018-09-05

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 松嶋直树 ,  尾形洁 ,  表和彦 ,  吉原正 ,  伊藤义泰 ,  本野宽 ,  高桥秀明 ,  樋口明房 ,  梅垣志朗 ,  浅野繁松 ,  山口僚太郎 ,  洞田克隆

IPC: G01N23/20016 ,  G01N23/207

Abstract: 本发明的X射线检查装置具备：试样配置部(11)，配置作为检查对象的试样；试样配置部定位机构(30)，使试样配置部(11)移动；测角仪(20)，包括独立回转的第一、第二回转部件(22、23)；X射线照射单元(40)，搭载于第一回转部件(22)；以及二维X射线检测器(50)，搭载于第二回转部件(23)。而且，试样配置部定位机构(30)包括以在测定点P与θs轴及θd轴正交并且在水平方向上延伸的χ轴为中心，使试样配置部(11)以及 轴旋转的χ旋转机构(35)。

公开(公告)号：CN109313145A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780035084.4

申请日：2017-07-12

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 尾形洁 ,  表和彦 ,  吉原正 ,  伊藤义泰 ,  本野宽 ,  高桥秀明 ,  杵渕隆男 ,  樋口明房 ,  梅垣志朗 ,  浅野繁松 ,  山口僚太郎 ,  洞田克隆 ,  神户亮 ,  姜立才 ,  B·韦尔曼

IPC: G01N23/207 ,  G21K1/06 ,  G21K5/02

Abstract: 在根据本发明的X射线检查设备中，X射线照射单元40包括用于在垂直方向上聚焦特征X射线的第一X射线光学元件42，以及用于在水平方向上聚焦特征X射线的第二X射线光学元件43。第一X射线光学元件42由具有高结晶度的晶体材料构成。第二X射线光学元件包括多层镜。