公开(公告)号：CN109313145A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780035084.4

申请日：2017-07-12

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 尾形洁 ,  表和彦 ,  吉原正 ,  伊藤义泰 ,  本野宽 ,  高桥秀明 ,  杵渕隆男 ,  樋口明房 ,  梅垣志朗 ,  浅野繁松 ,  山口僚太郎 ,  洞田克隆 ,  神户亮 ,  姜立才 ,  B·韦尔曼

IPC: G01N23/207 ,  G21K1/06 ,  G21K5/02

Abstract: 在根据本发明的X射线检查设备中，X射线照射单元40包括用于在垂直方向上聚焦特征X射线的第一X射线光学元件42，以及用于在水平方向上聚焦特征X射线的第二X射线光学元件43。第一X射线光学元件42由具有高结晶度的晶体材料构成。第二X射线光学元件包括多层镜。