公开(公告)号：CN109313145A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780035084.4

申请日：2017-07-12

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 尾形洁 ,  表和彦 ,  吉原正 ,  伊藤义泰 ,  本野宽 ,  高桥秀明 ,  杵渕隆男 ,  樋口明房 ,  梅垣志朗 ,  浅野繁松 ,  山口僚太郎 ,  洞田克隆 ,  神户亮 ,  姜立才 ,  B·韦尔曼

IPC: G01N23/207 ,  G21K1/06 ,  G21K5/02

Abstract: 在根据本发明的X射线检查设备中，X射线照射单元40包括用于在垂直方向上聚焦特征X射线的第一X射线光学元件42，以及用于在水平方向上聚焦特征X射线的第二X射线光学元件43。第一X射线光学元件42由具有高结晶度的晶体材料构成。第二X射线光学元件包括多层镜。

公开(公告)号：CN106461579A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580019383.X

申请日：2015-01-14

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 刑部刚 ,  小泽哲也 ,  表和彦 ,  姜立才 ,  B·韦尔曼 ,  Y·普拉托诺夫

IPC: G01N23/207

CPC classification number: G01N23/20008 ,  G01N23/205 ,  G01N23/207 ,  G01N2223/056

Abstract: 针对从试样(S)衍射来的聚光X射线(2)，根据布拉格条件用单色仪(60)仅使特定波长的X射线反射，进而通过受光狭缝(30)，利用X射线检测器(20)进行检测。单色仪(60)做成装卸自如，配置于使来自试样(S)的聚光X射线(2)直接地收敛时的聚光点(2a)与该试样(S)之间。此时，单色仪(60)由内部的栅格面间隔从一端到另一端连续地变化的多层膜反射镜构成。(60)尽可能接近上述聚光点(2a)。另外，单色仪

公开(公告)号：CN106461579B

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201580019383.X

申请日：2015-01-14

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 刑部刚 ,  小泽哲也 ,  表和彦 ,  姜立才 ,  B·韦尔曼 ,  Y·普拉托诺夫

IPC: G01N23/207

Abstract: 针对从试样(S)衍射来的聚光X射线(2)，根据布拉格条件用单色仪(60)仅使特定波长的X射线反射，进而通过受光狭缝(30)，利用X射线检测器(20)进行检测。单色仪(60)做成装卸自如，配置于使来自试样(S)的聚光X射线(2)直接地收敛时的聚光点(2a)与该试样(S)之间。此时，单色仪(60)尽可能接近上述聚光点(2a)。另外，单色仪(60)由内部的栅格面间隔从一端到另一端连续地变化的多层膜反射镜构成。