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公开(公告)号：KR100280869B1
公开(公告)日：2001-03-02
申请号：KR1019980023941
申请日：1998-06-24
Applicant: 광전자정밀주식회사
IPC: G02B21/00
Abstract: 본 발명은 미세레버와 레이져다이오드와 감광장치로 구성되며, 미세하게 조작되는 레버 끝에 위치한 미세팁이 검사물의 표면에 작용하여 레버가 휘어지는 정도를 측정하므로서 반도체 칩등으로 구성되는 검사물의 표면 형상정보를 측정하는 원자간력 현미경의 헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 2개의 판이 강성의 유연힌지로 연결되어 레이져 이동기구를 구성하되, 고정판으로 4개의 나사구멍을 구성하고 하판과는 기울기 조절나사가 일체로 연결되어 상기 기울기 조절나사의 작동에 따른 유연힌지의 탄성변형에 의해 회동판의 일측으로 설치되는 레이져빔의 위치조절이 이루어지게하여 정확한 검사물의 형상정보를 측정할 수 있는 유연힌지를 이용한 원자간력 현미경의 헤드에 관한 것이다.
본 발명의 목적은 자체강성에 의해 회동되는 유연힌지를 통해 레이져와 미세레버가 각,각 위치 및 각도조절되게하여 표면측정을 위한 위치설정 작업이 간편하고, 미세한 변형량까지 측정되게하여 검사물의 정확한 표면높이정보를 얻을 수 있도록 한 원자간력 현미경의 헤드를 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적인 수단으로는;
검사물이 고정되는 홀더를 X,Y,Z 측으로 이동시키는 수단으로서의 3축 스테이지와, 미세레버와 레이져다이오드와 감광장치로 구성되며 상기 검사물의 표면상에 미세레버의 미세팁을 놓이게 하고 이 미세레버의 끝단으로 레이져빔을 입사시켜 그 반사되는 레이져빔을 감광장치로 측정하여 검사물의 표면높이정보를 산출하는 헤드로 구성되는 반도체 칩 등의 원자간력 현미경에 있어서,
상기 레이져와 미세레버의 위치와 각도조절 수단으로서,
회동판과 고정판이 유연힌지에 의해 일체로 연결되며 상기 고정판으로는 4방향으로 나사구멍이 일정간격 구성되어 이 나사구멍으로 기울기 조절나사가 결합구성되는 위치결정부를 각,각 구성시켜 상기 레이져다이오드와 미세레버를 설치시키므로서 레이져빔과 미세레버의 위치와 각도조절에 따라 상기 미세레버에 반사되는 레이져빔의 위치가 제어되도록 한 원자간력 현미경의 헤드를 구비하므로서 달성된다.-
公开(公告)号：KR100280870B1
公开(公告)日：2001-03-02
申请号：KR1019980023942
申请日：1998-06-24
Applicant: 광전자정밀주식회사
IPC: G02B21/00
Abstract: 본 발명은 원자간력 현미경(AFM : Atomic Force Microscopy)용 초정밀 3축 스테이지에 관한 것으로 본 발명은 헤드의 미세레버에 의해 입사되는 레이져를 반사시켜, 이에 반사되는 레이져를 감광장치로서 측정하여 시편의 표면정보를 산출할 수 있도록 되도록 3축이동이 가능한 초정밀 위치결정기구를 형성한 원자간력 현미경용 초정밀 3축 스테이지에 있어서 상기, 초정밀 위치결정기구는 구성을 이루는 기초로서 베이스가 형성되고, 베이스 중앙으로는 X축선상과 수직이 되도록 X축이중복합선형 스프링홀을 형성하고 상기 베이스의 내측의 X축선상 일측 중앙에 형성된 압전소자에 의해 상기 X축이중복합선형 스프링홀이 변형되어 좌우측 방향으로 구동되는 X축 가이드와 상기 X축 가이드 내측으로 Y축선상과 수직이 되도록 Y축이중복합선형 스프링홀을 형성하고 Y축전방 중앙에 형성된 압전소자에 의해 상기 Y축이 중복합선형 스프링홀이 변형되어 전후방향으로 구동되는 Y축 가이드와 상기 Y축 가이드 내측 중앙부에 수직으로 형성되고 내부에는 Z축 방향과 수직선상으로 Z축이 중복합선형 스프링홀을 형성하고 하측 중앙부에 형성된 압전소자에 의해 Z축이중복합선형 스프링홀이 변형되어 상하 방향으로 구동되는 Z축 가이드와 상기 X축 가이드와, Y축가이드와, Z축 가이드가 설정된 신호에 의해 이동될 때 이동된 X, Y, Z축을 감지하여 감지신호를 발생하도록 베이스의 상부면에 각 감지센서를 갖는 센서홀더로 구성되는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1019980065084A
公开(公告)日：1998-10-07
申请号：KR1019980023942
申请日：1998-06-24
Applicant: 광전자정밀주식회사
IPC: G02B21/00
Abstract: 본 발명은 원자간력 현미경(AFM : Atomic Force Microscopy)용 초정밀 3축 스테이지에 관한 것으로;
본 발명의 목적은, 판스프링 원리를 이용한 이중복합선형 스프링 구조로서, 하나의 몸체를 이루는 초정밀 3축 스테이지를 구현하여, 이 3축 스테이지를 이용, 반도체 웨이퍼와 같은 극 미세 구조의 시편을, 측정하고자 하는 정밀 위치로 이동되게 하므로서, 시편의 표면 측정시 형상 왜곡의 주요원인이 되는 3축의 상호간섭 및 불필요한 자유도를 기구적으로 상쇄시킴과 동시에 체결에의한 오차나 마모 등의 문제점을 해결한 원자간력 현미경용 초정밀 3축스테이지를 제공함에 있는 것이다.
따라서, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적인 수단으로는;
헤드와 초정밀 위치결정기구로 구성되며, 헤드의 미세레버에 의해 입사되는 레이져를 반사시켜, 이에 반사되는 레이져를 감광장치로서 측정하여 웨이퍼 시편의 표면정보를 산출되도록 한 원자간력 현미경에 있어서;
상기, 초정밀 위치결정기구는 구성을 이루는 기초로서 베이스가 형성되고, 베이스 상부면 중앙으로는 이중복합선형 스프링구조로서, 압전소자에 의해 좌우측 방향으로 구동되는 X축 가이드와, X축 가이드 내측으로, 압전소자에 의해 전후방향으로 구동되는 Y축 가이드와, Y축 가이드 내측으로 홀더를 구비한후, 압전소자에 의해 상하 방향으로 구동되는 Z축 가이드가 일체로 형성되며 3축을 이루고, 이에, X축 가이드와, Y축가이드와, Z축 가이드가 상호 3차원 방향으로 구동됨있어 선형운동을 유도하는 수단으로서 베이스의 상부면의 X축 방향과, Y축 방향의 일측끝단 으로는 각각 감지센서(정전용량형 센서)를 갖는 센서홀더를 부착시키므로서 달성된다.-
公开(公告)号：KR1019980065083A
公开(公告)日：1998-10-07
申请号：KR1019980023941
申请日：1998-06-24
Applicant: 광전자정밀주식회사
IPC: G02B21/00
Abstract: 본 발명은 미세레버와 레이져다이오드와 감광장치로 구성되며, 미세하게 조작되는 레버 끝에 위치한 미세팁이 검사물의 표면에 작용하여 레버가 휘어지는 정도를 측정하므로서 반도체 칩등으로 구성되는 검사물의 표면 형상정보를 측정하는 원자간력 현미경의 헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 2개의 판이 강성의 유연힌지로 연결되어 레이져 이동기구를 구성하되, 고정판으로 4개의 나사구멍을 구성하고 하판과는 기울기 조절나사가 일체로 연결되어 상기 기울기 조절나사의 작동에 따른 유연힌지의 탄성변형에 의해 회동판의 일측으로 설치되는 레이져빔의 위치조절이 이루어지게하여 정확한 검사물의 형상정보를 측정할 수 있는 유연힌지를 이용한 원자간력 현미경의 헤드에 관한 것이다.
본 발명의 목적은 자체강성에 의해 회동되는 유연힌지를 통해 레이져와 미세레버가 각,각 위치 및 각도조절되게하여 표면측정을 위한 위치설정 작업이 간편하고, 미세한 변형량까지 측정되게하여 검사물의 정확한 표면높이정보를 얻을 수 있도록 한 원자간력 현미경의 헤드를 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적인 수단으로는;
검사물이 고정되는 홀더를 X,Y,Z 측으로 이동시키는 수단으로서의 3축 스테이지와, 미세레버와 레이져다이오드와 감광장치로 구성되며 상기 검사물의 표면상에 미세레버의 미세팁을 놓이게 하고 이 미세레버의 끝단으로 레이져빔을 입사시켜 그 반사되는 레이져빔을 감광장치로 측정하여 검사물의 표면높이정보를 산출하는 헤드로 구성되는 반도체 칩 등의 원자간력 현미경에 있어서,
상기 레이져와 미세레버의 위치와 각도조절 수단으로서,
회동판과 고정판이 유연힌지에 의해 일체로 연결되며 상기 고정판으로는 4방향으로 나사구멍이 일정간격 구성되어 이 나사구멍으로 기울기 조절나사가 결합구성되는 위치결정부를 각,각 구성시켜 상기 레이져다이오드와 미세레버를 설치시키므로서 레이져빔과 미세레버의 위치와 각도조절에 따라 상기 미세레버에 반사되는 레이져빔의 위치가 제어되도록 한 원자간력 현미경의 헤드를 구비하므로서 달성된다.
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