公开(公告)号：KR1020130101464A

公开(公告)日：2013-09-13

申请号：KR1020130021175

申请日：2013-02-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오츠카다카히사 ,  마루야마히로타카 ,  오가타노부히로 ,  구도가즈유키

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/306

CPC classification number: B08B3/04 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/6715

Abstract: PURPOSE: A liquid processing device, a liquid processing method, and a storage medium are provided to prevent the adsorption of vapor or mist by using a first nozzle and a second nozzle. CONSTITUTION: A first processing liquid supply part includes a first nozzle block (42). The first processing solution supply part includes a first transport device. A second processing liquid supply part includes a second nozzle block (52). The second processing liquid supply part includes a second transport device. The second processing liquid supply part converts and supplies an alkaline chemical and a rinsing solution. [Reference numerals] (7) Control unit

Abstract translation: 目的：提供液体处理装置，液体处理方法和存储介质，以通过使用第一喷嘴和第二喷嘴来防止蒸汽或雾气的吸附。 构成：第一处理液体供应部分包括第一喷嘴块（42）。 第一处理溶液供应部分包括第一输送装置。 第二处理液体供应部分包括第二喷嘴块（52）。 第二处理液供给部包括第二输送装置。 第二处理液供给部转换并供给碱性化学品和漂洗溶液。 （附图标记）（7）控制单元

公开(公告)号：KR101883015B1

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：KR1020130021175

申请日：2013-02-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오츠카다카히사 ,  마루야마히로타카 ,  오가타노부히로 ,  구도가즈유키

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/306

CPC classification number: B08B3/04 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/6715

Abstract: 본발명은, 산성약액, 알칼리성약액을전환하여공급하는장치에있어서발생하는파티클을저감할수 있는액 처리장치등을제공하는것을목적으로한다. 액처리장치는, 회전하는기판(W)의표면에처리액을전환하여공급함으로써액 처리를행하고, 제1 노즐블록(42)과제1 이동기구를구비하는제1 처리액공급부는, 산성약액, 린스액을전환하여공급하고, 제2 노즐블록(52)과제2 이동기구를구비하는제2 처리액공급부는, 알칼리성약액, 린스액을전환하여공급한다. 그리고, 한쪽측의노즐블록(42)으로부터기판(W)으로약액을공급할때에는다른쪽 측의노즐블록(52)을후퇴위치로후퇴시키고, 한쪽측의노즐블록(42)으로부터기판(W)으로린스액을공급하고있을때에다른쪽 측의노즐블록(52)을처리위치로이동시킨다. 또한, 다른쪽 측의노즐블록(52)으로부터약액을공급할때에는한쪽측의노즐블록(42)을후퇴위치로후퇴시켜둔다.