公开(公告)号：KR1020120089217A

公开(公告)日：2012-08-09

申请号：KR1020120010321

申请日：2012-02-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기노시타히데토시 ,  모리타야스시

IPC: H01L21/20

CPC classification number: C30B25/14 ,  C30B25/165 ,  C30B29/403

Abstract: PURPOSE: A source supplying apparatus and a film forming apparatus are provided to simplify configuration by flowing the liquid source along a liquid flow surface. CONSTITUTION: A source containing body(64) is composed of a liquid source flow surface. A liquid source storage member(66) is formed at a position of the source containing body in a height direction. A liquid source flows to the liquid source flow surface by the liquid source storage member. A heating device(68) is installed within the source containing body and heats a front end part of the source containing body to an evaporating temperature of the liquid source.

Abstract translation: 目的：提供源供应装置和成膜装置以通过使液体源沿着液体流动表面流动来简化配置。 构成：源容纳体（64）由液体源流动面构成。 在源容纳体的高度方向的位置上形成有液体源储存部件66。 液体源通过液体源储存件流到液体源流动表面。 加热装置（68）安装在源容纳体内，并将源容纳体的前端部分加热到液体源的蒸发温度。

公开(公告)号：KR101400155B1

公开(公告)日：2014-05-27

申请号：KR1020120010321

申请日：2012-02-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 기노시타히데토시 ,  모리타야스시

IPC: H01L21/20

CPC classification number: C30B25/14 ,  C30B25/165 ,  C30B29/403

Abstract: MBE 성막 장치에서, 페이스 업 상태로 피처리체의 표면에 화합물 반도체로 이루어지는 박막을 형성할 수 있는 원료 공급 장치를 제공한다. 화합물 반도체의 제조에 이용하는 원료를 공급하는 원료 공급 장치(62)에서, 수직 방향으로 연장되어 외주면이 액체를 흐르게 할 수 있는 표면인 액체 흐름면(90)으로 이루어진 원료 보지체(64)와, 원료 보지체의 높이 방향의 도중에 형성되어, 원료의 액체인 원료 액체를 저류하고, 또한 젖는 성질에 의해 원료 액체를 액체 흐름면(90)을 따라 흐르게 하는 원료 액체 저류부(66)와, 원료 보지체 내에 설치되어, 원료 액체 저류부를 원료가 젖는 성질을 발휘하도록 가열하고, 또한 원료 보지체의 선단부를 원료 액체의 증발 온도까지 가열하는 가열 수단(68)을 구비한다.

公开(公告)号：KR1020150060564A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：KR1020140164178

申请日：2014-11-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 후세다카시 ,  마츠오도모히토 ,  기노시타히데토시

IPC: H01L51/00 ,  B05D1/00 ,  C23C16/452 ,  C23C16/50

CPC classification number: C23C16/50 ,  B05D1/60 ,  B05D1/62 ,  B05D3/0433 ,  C23C16/452 ,  H01L51/001

Abstract: 유기단분자막을단시간에제어성좋게형성할수 있는유기단분자막의형성방법및 형성장치를제공한다. 피처리체표면에유기재료가스를공급하여유기단분자막을형성함에있어, 챔버(1)내의피처리체 S에, 피처리체의표면과화학결합을형성하는결합사이트를가지는유기분자를포함하는유기재료가스를공급함과아울러, 유기재료가스가피처리체 S에도달하기전에유기재료가스에여기수소생성기구(4)에의해생성한여기수소를공급하여유기분자의결합사이트의말단을수소로치환하고, 그후, 상기수소로치환된말단과피처리체 S의반응에의해유기단분자막을형성한다.

Abstract translation: 提供一种形成有机单分子膜的方法和装置，其可以在短时间内形成具有良好可控性的有机单分子膜。 当通过将有机材料气体供给到物体的表面来形成有机单分子膜时，本发明将包含具有与物体表面形成化学键的结合位点的有机分子的有机材料气体提供给 在室（1）中的物体S，并且在有机材料气体到达物体之前，通过将由激发氢气产生装置（4）产生的激发的氢气供给到有机材料气体而将氢有机分子的结合位点的末端取代 此外，本发明通过由氢置换的末端与其后的物体S之间的反应形成有机单分子膜。