公开(公告)号：KR100878772B1

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：KR1020037011272

申请日：2002-02-15

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 스팽글러로날드엘. ,  자크로버트엔. ,  룰존에이. ,  팔렌샤트프레데릭에이. ,  포멘코프이고르브이. ,  알고츠존엠. ,  립콘쟈콥피. ,  샌드스트롬리차드엘.

IPC: H01S3/10

CPC classification number: G03F7/70575 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70333 ,  G03F7/70933 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1312 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/225

Abstract: 고속 파장 보정 기능을 갖춘 전기 방전 레이저가 개시되었다. 고속 파장 보정 장비는 적어도 하나의 압전 구동기와 고속 파장 측정 시스템(104)과 고속 피드백 응답 시간을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 수밀리미터의 저속 시간 프레임, 약 1 내지 5 밀리초의 중속 시간 프레임 및 수 마이크로초의 초고속 프레임상에서 파장을 제어하기 위해 장비가 제공된다. 바람직한 기술은 튜닝 미러를 사용하여 레이저 파장을 튜닝하기 위해 초고속 압전 구동기와 비교적 저속인 스테퍼 모터의 조합을 포함한다. 초고속 파장 제어는 압전 구동기와의 조합으로 압전 로드 셀에 제공된다. 바람직한 실시예는 파장 측정치, 고속 진동 제어, 로드 셀 및 액티브 댐핑 모듈(320)을 사용한 액티브 댐핑, 및 이력 버스트 데이터를 기초로 하여 피드 포워드 알고리즘을 사용한 트랜지언트 반전에 기초하여 고속 피드백 제어를 제공한다.
전기 방전 레이저, 파장 보정, 튜닝 미러, 압전 구동기, 댐핑, 버스트 데이터, 피드백 제어, 스테퍼 모터

公开(公告)号：KR1020030081471A

公开(公告)日：2003-10-17

申请号：KR1020037011272

申请日：2002-02-15

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 스팽글러로날드엘. ,  자크로버트엔. ,  룰존에이. ,  팔렌샤트프레데릭에이. ,  포멘코프이고르브이. ,  알고츠존엠. ,  립콘쟈콥피. ,  샌드스트롬리차드엘.

IPC: H01S3/10

CPC classification number: G03F7/70575 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70333 ,  G03F7/70933 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1312 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/225

Abstract: 고속 파장 보정 기능을 갖춘 전기 방전 레이저가 개시되었다. 고속 파장 보정 장비는 적어도 하나의 압전 구동기와 고속 파장 측정 시스템(104)과 고속 피드백 응답 시간을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 수밀리미터의 저속 시간 프레임, 약 1 내지 5 밀리초의 중속 시간 프레임 및 수 마이크로초의 초고속 프레임상에서 파장을 제어하기 위해 장비가 제공된다. 바람직한 기술은 튜닝 미러를 사용하여 레이저 파장을 튜닝하기 위해 초고속 압전 구동기와 비교적 저속인 스테퍼 모터의 조합을 포함한다. 초고속 파장 제어는 압전 구동기와의 조합으로 압전 로드 셀에 제공된다. 바람직한 실시예는 파장 측정치, 고속 진동 제어, 로드 셀 및 액티브 댐핑 모듈(320)을 사용한 액티브 댐핑, 및 이력 버스트 데이터를 기초로 하여 피드 포워드 알고리즘을 사용한 트랜지언트 반전에 기초하여 고속 피드백 제어를 제공한다.