公开(公告)号：WO2016200119A1

公开(公告)日：2016-12-15

申请号：PCT/KR2016/006004

申请日：2016-06-07

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 김창구 ,  조성운 ,  김준현 ,  박정근

IPC: H01L21/312 ,  H01L21/314 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/033

CPC classification number: H01L21/3065 ,  B32B33/00 ,  B32B2307/73 ,  H01L21/02112 ,  H01L21/033 ,  H01L21/0334

Abstract: 본 발명은 초소수성 표면 제조방법 및 초소수성 표면체에 관한 것으로서, 플라즈마 식각과 증착만으로 초소수성 표면을 구현할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 초소수성 표면은 부착일(work of adhesion)이 3 mJ/m 2 이하로 매우 작아 자가세정(self-cleaning) 표면, 흐림방지(anti-fogging) 표면, 자동차 유리 표면, 약물전달 소자 등 다양한 분야에 응용될 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及超疏水性表面的制造方法和超疏水性表面结构。 该方法仅通过等离子体蚀刻和沉积来实现超疏水表面。 本发明的疏水性表面粘合力低，为3mJ / m 2以下，疏水性表面可以应用于各种领域，例如自清洁表面，防雾表面，车辆玻璃表面， 药物传播装置等

公开(公告)号：KR101735999B1

公开(公告)日：2017-05-15

申请号：KR1020160016292

申请日：2016-02-12

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 김창구 ,  김준현 ,  박정근

IPC: B32B18/00 ,  B32B3/30 ,  B32B38/00 ,  B32B37/24 ,  C23C16/06 ,  C23C16/448

Abstract: 본발명의이중구조산화주석박막및 이의제조방법에서, 본발명의이중구조산화주석박막은메쉬(mesh)형오목패턴(pattern)이형성된제1 산화주석(tin oxide) 박막, 상기오목패턴내에귀금속으로형성된귀금속메쉬패턴및 상기제1 산화주석박막층의표면및 귀금속메쉬패턴의표면에형성된제2 산화주석박막층을포함한다.

Abstract translation: 在本发明的双结构氧化锡薄膜及其制造方法中，本发明的双结构氧化锡薄膜是具有网状凹图案和贵金属的氧化锡薄膜 以及在第一氧化锡薄膜层的表面和贵金属网格图案的表面上形成的第二氧化锡薄膜层。

公开(公告)号：KR101886963B1

公开(公告)日：2018-08-08

申请号：KR1020170036558

申请日：2017-03-23

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 김창구 ,  박정근 ,  김준현 ,  박창진

IPC: C23C16/06 ,  C23C16/18 ,  C23C16/08 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C16/06 ,  C23C16/08 ,  C23C16/18 ,  C23C16/52

Abstract: 본발명은니켈계금속포일상에주석전구체를이용하는화학기상증착법을통해주석을상기니켈계금속포일상에증착하여, 상기니켈계금속포일표면에니켈/주석합금층을형성하는단계;를포함, 니켈계금속포일의비저항조절방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR101620786B1

公开(公告)日：2016-05-12

申请号：KR1020150080868

申请日：2015-06-08

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 조성운 ,  김준현 ,  박정근 ,  김창구

IPC: H01L21/312 ,  H01L21/314 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/033

CPC classification number: H01L21/3065 ,  B32B33/00 ,  B32B2307/73 ,  H01L21/02112 ,  H01L21/033 ,  H01L21/0334

Abstract: 본발명은초소수성표면제조방법및 초소수성표면체에관한것으로서, 플라즈마식각과증착만으로초소수성표면을구현할수 있는방법에관한것이다. 본발명의초소수성표면은부착일(work of adhesion)이 3 mJ/m이하로매우작아자가세정(self-cleaning) 표면, 흐림방지(anti-fogging) 표면, 자동차유리표면, 약물전달소자등 다양한분야에응용될수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及超疏水表面和超疏水表面结构的制造方法。 该方法只能通过等离子体蚀刻和沉积实现超疏水表面。 疏水表面具有低于或等于3mJ / m ^ 2的非常低的附着力，因此疏水性表面可以应用于各种领域，例如自清洁表面，防雾表面，车辆玻璃 表面，药物传递装置等。该方法包括以下步骤：a）在上部制备具有二维图案化掩模的衬底; b）通过用包含氟碳的气体的等离子体处理衬底，在掩模的孔的内表面和掩模的表面上形成碳氟化合物层; c）在基板上形成对应于掩模的杆; d）通过重复形成碳氟化合物层的步骤b）和形成棒的步骤c）来增加杆的高度; e）去除在其上形成多个棒层的基底上的掩模; 以及f）通过用形成在其上的多个杆层的等离子体处理含有碳氟化合物的气体的等离子体，在棒表面上形成碳氟化合物层。