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公开(公告)号：KR102233677B1
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020190134059A
申请日：2019-10-25
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 두께 측정 광학 장치는 적외선 대역에서 분광 간섭계를 구성하고 가시광 대역에서 분광 반사계를 일체형으로 구현하여 동시에 박막 및 후막의 두께를 나노미터에서 미터까지의 광범위 멀티스케일 측정 범위에서 자동 시편 조절 기능과 함께 측정할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2017209352A1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：PCT/KR2016/010612
申请日：2016-09-23
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 절대거리 측정 장치를 제공한다. 이 절대거리 측정 장치는 모드 잠금 광빗 레이저; 상기 모드 잠금 광빗 레이저의 출력광을 제공받아 기준 경로와 측정 경로로 빔을 분할하는 제1 광 분할기; 상기 기준 경로의 기준 빔을 제공받아 제1 기준 거울와 제2 기준거울로 빔을 분할하는 제2 광 분할기; 상기 제1 광분할기로부터 상기 측정 경로의 측정 빔을 제공받아 반사시키는 측정 대상; 상기 측정 대상으로부터 반사된 빔을 상기 측정 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받고, 상기 제1 기준 거울로부터 반사된 빔, 그리고 상기 제2 기준 거울로부터 반사된 빔을 상기 기준 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받아 파장에 따른 스펙트럼을 측정하는 광 스펙트럼 분석기; 및 상기 광 스펙트럼 분석기의 측정 결과를 분석하여 상기 측정 대상의 절대거리를 추출하는 연산부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种绝对距离测量装置。 绝对距离测量装置包括锁模光纤激光器; 第一分光器，用于接收所述锁模光梳激光器的输出光并将所述光束分成参考路径和测量路径; 第二分光器，用于接收参考路径的参考光束并将光束分成第一参考反射镜和第二参考反射镜; 测量目标，用于接收并反射来自第一分光器的测量路径的测量光束; 从待测量物体反射的光束沿测量路径通过第一分束器，从第一参考反射镜反射的光束以及从第二参考反射镜反射的光束， 一种光谱分析仪，通过第一分光器提供并根据波长测量光谱; 以及操作单元，用于分析光谱分析仪的测量结果并提取测量对象的绝对距离。
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3.发明申请
公开(公告)号：WO2016117796A2
公开(公告)日：2016-07-28
申请号：PCT/KR2015/010538
申请日：2015-10-06
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 장치 및 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 방법를 제공한다. 이 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 장치는 가시광선 대역의 시야 빔을 출력하는 전시야 광원; 레이저 빔의 광주파수를 변조 주파수(f m )로 주파수 변조하고, 상기 레이저 빔의 강도를 변조 주파수(f m )로 강도 변조하여 프로브 빔을 출력하고, 상기 프로브 빔을 제공받은 측정 대상이 공명 흡수에 의하여 생성하는 레이저 흡수 신호를 전기 신호로 변환하고, 변환된 레이저 흡수 신호로부터 상기 변조 주파수(f m )의 제1 고조파 성분 및 제2 고주파 성분을 추출하는 주파수 및 강도 변조 분광 처리부; 상기 시야 빔 및 상기 프로브 빔을 대물 렌즈에 제공하는 빔 처리부; 상기 시야 빔을 상기 측정 대상에 전시야 광으로 제공하고, 상기 프로브 빔을 그 초점에 집속하여 상기 측정 대상의 측정 위치에 제공하는 대물렌즈를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种光频率和强度调制激光吸收光谱装置，以及光频率和强度调制激光吸收光谱法。 光频率和强度调制激光吸收光谱装置包括：全场光源，用于输出可见光线带宽的视野光束; 频率和强度调制光谱处理单元，用于将激光束的光频率调制成调制频率（fm），并将激光束的强度调制为调制频率（fm），从而输出探测光束; 将由接收探测光束的测量对象通过共振吸收产生的激光吸收信号转换为电信号，以及从转换的激光吸收中提取调制频率（fm）的一次谐波分量和二次谐波分量 信号; 光束处理单元，用于将视场光束和探测光束提供给物镜; 以及用于在全场光中将测量对象提供视野光束的物镜，并将探测光束聚焦在其焦点上，从而将探测光束提供在测量对象的测量位置。
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公开(公告)号：WO2016111441A1
公开(公告)日：2016-07-14
申请号：PCT/KR2015/010534
申请日：2015-10-06
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 광주파수/강도 변조 레이저 흡수 분광 장치 및 광주파수/강도 변조 레이저 흡수 분광 방법을 제공한다. 이 광주파수/강도 변조 레이저 흡수 분광 장치는 측정 대상에 프로브 빔을 제공하고 소정의 주파수 대역에서 변조 주파수(f m )로 상기 프로브 빔의 광주파수를 변조하고 상기 변조 주파수(f m )로 상기 프로브 빔의 강도를 변조하는 레이저 광원부; 상기 측정 대상에서 반사, 투과, 또는 산란된 프로브 빔을 전기 신호로 변환하는 광감지부; 및 상기 광감지부의 출력 신호인 레이저 흡수 신호를 처리하여 상기 변조 주파수(f m )의 1차 고주파 성분(M 1f ) 및 상기 변조 주파수(f m )의 2차 고조파 성분(M 2f )을 추출하고 상기 변조 주파수(f m )의 1차 고조파 성분(M 1f )과 상기 변조 주파수의 2차 고조파 성분(M 2f )의 비(M 1f /M 2f )를 이용하여 상기 측정 대상에 의한 상기 프로브 빔의 흡수도를 산출하는 처리부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供光频/强度调制激光吸收光谱装置和光频/强度调制激光吸收光谱法。 光频率/强度调制激光吸收光谱装置包括：激光光源单元，用于向待测物体提供探测光束，使用给定频带中的调制频率（fm）调制探测光束的光频; 并使用调制频率（fm）调制探测光束的强度; 光检测单元，用于将从被测量物体反射，透射或散射的探测光束转换为电信号; 以及处理单元，用于处理作为光感测单元的输出信号的激光吸收信号，以提取调制频率（fm）的一次谐波分量（M1f）和二次谐波分量（M2f） 调制频率（fm），使用调制频率（fm）和第二谐波分量（M2f）的一次谐波分量（M1f）的比（M1f / M2f）计算被测量物体的探测光束的吸光度 ）调制频率（fm）。
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公开(公告)号：WO2015080410A1
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：PCT/KR2014/010928
申请日：2014-11-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 가스 검출 장치 및 가스 검출 방법을 제공한다. 이 가스 검출 장치는 특정한 가스의 흡수 스펙트럼 중에서 특정한 단일 흡수선의 선폭의 범위에서 변조 주파수를 가지고 시간에 따라 레이저 주파수를 연속적으로 변경하는 레이저 광원; 상기 레이저 광원의 출력광을 측정 대상에 제공하는 송신 광학계; 상기 측정 대상에서 상기 특정한 가스에 의한 흡수되어 반사된 반사광을 수신하는 수신 광학계; 상기 특정한 가스의 흡수 스펙트럼 중에서 특정한 흡수 대역의 중심에 상기 레이저 광원의 중심 주파수를 고정하기 위한 주파수 잠금부; 및 상기 수신 광학계가 측정한 상기 반사광을 분석하여 상기 변조 주파수의 고조파 성분을 추출하는 제어부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种气体检测装置和气体检测方法。 气体检测装置包括：激光光源，其具有在特定气体的吸收光谱中的特定单个吸收线的线宽范围内的调制频率，并且根据时间连续地改变激光频率; 传输光学系统，用于将激光光源的输出光提供给被测量物体; 接收光学系统，用于接收由被测量物体中的特定气体吸收和反射的反射光; 频率锁定单元，用于将激光源的中心频率固定在特定气体的吸收光谱中的特定吸收带的中心; 以及控制单元，用于通过分析由接收光学系统测量的反射光来提取调制频率的和谐分量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101792632B1
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：KR1020160068129
申请日：2016-06-01
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B9/02 , G01B11/02 , G02B27/14 , H01S3/11 , G01B9/02043 , G02B27/141 , H01S3/1106
Abstract: 본발명은절대거리측정장치를제공한다. 이절대거리측정장치는모드잠금광빗레이저; 상기모드잠금광빗레이저의출력광을제공받아기준경로와측정경로로빔을분할하는제1 광분할기; 상기기준경로의기준빔을제공받아제1 기준거울와제2 기준거울로빔을분할하는제2 광분할기; 상기제1 광분할기로부터상기측정경로의측정빔을제공받아반사시키는측정대상; 상기측정대상으로부터반사된빔을상기측정경로를따라상기제1 광분할기를통하여제공받고, 상기제1 기준거울로부터반사된빔, 그리고상기제2 기준거울로부터반사된빔을상기기준경로를따라상기제1 광분할기를통하여제공받아파장에따른스펙트럼을측정하는광 스펙트럼분석기; 및상기광 스펙트럼분석기의측정결과를분석하여상기측정대상의절대거리를추출하는연산부를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种绝对距离测量装置。 绝对距离测量装置包括锁模光纤激光器; 第一分光器，用于接收所述锁模光梳激光器的输出光并将所述光束分成参考路径和测量路径; 第二分光器，用于接收参考路径的参考光束并将光束分成第一参考反射镜和第二参考反射镜; 测量目标，用于接收并反射来自第一分光器的测量路径的测量光束; 从待测量物体反射的光束沿着测量路径通过第一分束器提供，并且从第一参考反射镜反射的光束和从第二参考反射镜反射的光束沿着参考路径反射 光谱分析仪，通过第一分光器提供并根据波长测量光谱; 还有一个运算单元，用于分析光谱分析仪的测量结果并提取测量对象的绝对距离。
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公开(公告)号：KR1020170032700A
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：KR1020150130372
申请日：2015-09-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은두께측정장치를제공한다. 이두께측정장치는광대역광원; 상기광대역광원의출력광을전달하는제1 광섬유; 상기제1 광섬유를통하여전달된광을기준경로로진행하는기준빔과측정경로로진행하는측정빔으로분할하는제1 빔분할기; 상기기준빔을반사시키는기준경로거울; 상기측정빔을반사시키는측정경로거울; 상기기준경로거울에서반사된상기기준빔과상기측정빔을중첩하여간섭신호를생성하는제2 빔분할기; 상기간섭신호를전달하는제2 광섬유; 상기제2 광섬유를통하여전달된간섭신호를파장에따라측정하는스펙트럼분석기; 및상기스펙트럼분석기의출력신호를처리하여상기측정경로에삽입된측정대상의두께를산출하는처리부를포함한다. 상기기준경로와상기측정경로는사각형을형성하도록배치된다.
Abstract translation: 本发明提供了一种厚度测量装置。 厚度测量装置包括宽带光源; 用于传输宽带光源的输出光的第一光纤; 第一分束器，用于将通过第一光纤传输的光分成在参考路径上行进的参考光束和在测量路径上行进的测量光束; 用于反射参考光束的参考路径镜; 测量路径反射镜，用于反射测量光束; 第二分束器，用于通过叠加从参考路径镜反射的参考光束和测量光束来产生干涉信号; 用于传输干扰信号的第二光纤; 频谱分析器，用于根据波长来测量通过第二光纤传输的干扰信号; 以及处理器，用于处理频谱分析仪的输出信号以计算插入测量路径中的测量对象的厚度。 参考路径和测量路径排列成一个正方形。
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公开(公告)号：KR101390749B1
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：KR1020120093835
申请日：2012-08-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은, 광대역의가간섭광을조사하는발광부와, 적어도하나의미세홀을구비하며상기발광부로부터입사되는광을상기미세홀의바닥면에서반사하는피측정물과, 상기발광부로부터입사되는광을반사하며상기미세홀의바닥면에서반사된광과간섭을일으키는기준광을형성하는기준면과, 상기미세홀의바닥면및 상기기준면에서반사된광을수광하여간섭신호로부터상기미세홀의깊이를측정하는광 검출기와, 광섬유커플러및 상기광섬유커플러에서분기되는제1 광섬유, 제2 광섬유, 제3 광섬유및 제4 광섬유를포함하며, 상기제1 광섬유는상기발광부와연결되며상기발광부로부터입사되는광을상기광섬유커플러를통해상기제2 광섬유및 상기제3 광섬유에전달하고, 상기제2 광섬유는상기제2 광섬유의단부가상기기준면에대응되도록배치되어상기기준면에광을조사하여상기기준면에서반사된광을수광하고, 상기제3 광섬유는상기제3 광섬유의단부가상기미세홀에대응되도록배치되어상기미세홀에광을조사하여상기미세홀의바닥면에서반사되는광을수광하고, 상기제4 광섬유는상기광 검출기에연결되며상기제2 광섬유및 상기제3 광섬유로부터입사되는광을상기광섬유커플러를통해상기광 검출기에전달하는것을특징으로하는미세홀깊이측정장치를제공한다.
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公开(公告)号：KR101733298B1
公开(公告)日：2017-05-08
申请号：KR1020150130372
申请日：2015-09-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은두께측정장치를제공한다. 이두께측정장치는광대역광원; 상기광대역광원의출력광을전달하는제1 광섬유; 상기제1 광섬유를통하여전달된광을기준경로로진행하는기준빔과측정경로로진행하는측정빔으로분할하는제1 빔분할기; 상기기준빔을반사시키는기준경로거울; 상기측정빔을반사시키는측정경로거울; 상기기준경로거울에서반사된상기기준빔과상기측정빔을중첩하여간섭신호를생성하는제2 빔분할기; 상기간섭신호를전달하는제2 광섬유; 상기제2 광섬유를통하여전달된간섭신호를파장에따라측정하는스펙트럼분석기; 및상기스펙트럼분석기의출력신호를처리하여상기측정경로에삽입된측정대상의두께를산출하는처리부를포함한다. 상기기준경로와상기측정경로는사각형을형성하도록배치된다.
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