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公开(公告)号：WO2018155788A1
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：PCT/KR2017/013155
申请日：2017-11-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N15/06 , G01N21/47 , G01N2015/0693 , G01N2015/0846 , G01S17/88
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 탁도 측정 방법은, 해수면에서만 반사하는 제1 파장의 레이저 펄스 빔과 상기 해수면을 투과하여 해저까지 도달하고 반사하는 제2 파장의 레이저 펄스 빔을 수중에 동시에 제공하는 단계; 상기 제1 파장의 레이저 펄스 빔이 상기 해수면에서 수면 산란에 기인한 제1 광신호 및 상기 제2 파장의 레이저 펄스 빔이 수면 산란, 수중 산란, 그리고 해저면 산란에 기인한 제2 광신호를 수신 광학계를 통하여 수집하고, 파장에 따라 제1 광신호 및 제2 광신호를 각각 시간에 따라 검출하는 단계; 상기 제1 광신호 및 제2 광신호를 각각 제1 디지털 전기 신호 및 제2 디지털 전기 신호로 변환하는 단계; 상기 제1 디지털 전기 신호를 수면 산란 신호가 발생하는 소정의 시간 구간에 대하여 적분하여 제1 적분 신호를 생성하는 단계; 상기 제2 디지털 전기 신호를 상기 수면 산란 신호가 발생하는 소정의 시간 구간에 대하여 적분하여 제2 적분 신호를 생성하는 단계; 상기 제2 적분신호를 상기 제1 적분 신호로 나누어 규격화된 측정 적분 신호를 생성하는 단계; 및 이론값을 이용하여 예측된 탁도에 따른 규격화된 이론 적분 신호의 관계를 이용하여 상기 규격화된 측정 적분 신호에 대응하는 측정 탁도를 추출하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2018174392A1
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：PCT/KR2018/000494
申请日：2018-01-10
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 반사면 프로파일 측정 장치 및 방법을 제공한다. 이 반사면 프로파일 측정 장치는, Twyman-Green 간섭계(120); 상기 Twyman-Green 간섭계의 측정 경로에 배치된 반사 광학 소자(12)를 이동시키는 스캐닝 스테이지(110); 상기 스캐닝 스테이지(110)에 장착되어 이동하는 스테이지 미러(112); 상기 스테이지 미러에서 반사되는 빔을 이용하여 상기 스캐닝 스테이지(110)의 위치와 회전 운동 오차를 측정하는 선형/각도 간섭계(linear/angular interferometer, 150); 및 신호 처리부(130)를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2017209352A1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：PCT/KR2016/010612
申请日：2016-09-23
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 절대거리 측정 장치를 제공한다. 이 절대거리 측정 장치는 모드 잠금 광빗 레이저; 상기 모드 잠금 광빗 레이저의 출력광을 제공받아 기준 경로와 측정 경로로 빔을 분할하는 제1 광 분할기; 상기 기준 경로의 기준 빔을 제공받아 제1 기준 거울와 제2 기준거울로 빔을 분할하는 제2 광 분할기; 상기 제1 광분할기로부터 상기 측정 경로의 측정 빔을 제공받아 반사시키는 측정 대상; 상기 측정 대상으로부터 반사된 빔을 상기 측정 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받고, 상기 제1 기준 거울로부터 반사된 빔, 그리고 상기 제2 기준 거울로부터 반사된 빔을 상기 기준 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받아 파장에 따른 스펙트럼을 측정하는 광 스펙트럼 분석기; 및 상기 광 스펙트럼 분석기의 측정 결과를 분석하여 상기 측정 대상의 절대거리를 추출하는 연산부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种绝对距离测量装置。 绝对距离测量装置包括锁模光纤激光器; 第一分光器，用于接收所述锁模光梳激光器的输出光并将所述光束分成参考路径和测量路径; 第二分光器，用于接收参考路径的参考光束并将光束分成第一参考反射镜和第二参考反射镜; 测量目标，用于接收并反射来自第一分光器的测量路径的测量光束; 从待测量物体反射的光束沿测量路径通过第一分束器，从第一参考反射镜反射的光束以及从第二参考反射镜反射的光束， 一种光谱分析仪，通过第一分光器提供并根据波长测量光谱; 以及操作单元，用于分析光谱分析仪的测量结果并提取测量对象的绝对距离。
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公开(公告)号：WO2015080410A1
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：PCT/KR2014/010928
申请日：2014-11-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 가스 검출 장치 및 가스 검출 방법을 제공한다. 이 가스 검출 장치는 특정한 가스의 흡수 스펙트럼 중에서 특정한 단일 흡수선의 선폭의 범위에서 변조 주파수를 가지고 시간에 따라 레이저 주파수를 연속적으로 변경하는 레이저 광원; 상기 레이저 광원의 출력광을 측정 대상에 제공하는 송신 광학계; 상기 측정 대상에서 상기 특정한 가스에 의한 흡수되어 반사된 반사광을 수신하는 수신 광학계; 상기 특정한 가스의 흡수 스펙트럼 중에서 특정한 흡수 대역의 중심에 상기 레이저 광원의 중심 주파수를 고정하기 위한 주파수 잠금부; 및 상기 수신 광학계가 측정한 상기 반사광을 분석하여 상기 변조 주파수의 고조파 성분을 추출하는 제어부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种气体检测装置和气体检测方法。 气体检测装置包括：激光光源，其具有在特定气体的吸收光谱中的特定单个吸收线的线宽范围内的调制频率，并且根据时间连续地改变激光频率; 传输光学系统，用于将激光光源的输出光提供给被测量物体; 接收光学系统，用于接收由被测量物体中的特定气体吸收和反射的反射光; 频率锁定单元，用于将激光源的中心频率固定在特定气体的吸收光谱中的特定吸收带的中心; 以及控制单元，用于通过分析由接收光学系统测量的反射光来提取调制频率的和谐分量。
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公开(公告)号：WO2018043941A1
公开(公告)日：2018-03-08
申请号：PCT/KR2017/008593
申请日：2017-08-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 거리 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명의 거리 측정 장치는 이미지 센서 및 이미지 센서 구동부를 포함한다. 이미지 센서는 포토다이오드, 제1 커패시터 및 제2 커패시터, 그리고 포토다이오드의 출력을 제1 커패시터 및 제2 커패시터로 각각 전달하는 제1 전송 게이트 및 제2 전송 게이트를 포함한다. 이미지 센서 구동부는 제1 전송 게이트 및 제2 전송 게이트를 상보적으로 구동한다.
Abstract translation: 距离测量装置技术领域本发明涉及一种距离测量装置。 本发明的距离测量装置包括图像传感器和图像传感器驱动器。 图像传感器包括光电二极管，第一电容器和第二电容器以及用于将光电二极管的输出分别转移到第一电容器和第二电容器的第一传输门和第二传输门。 图像传感器驱动单元补充地驱动第一传输门和第二传输门。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2011162566A2
公开(公告)日：2011-12-29
申请号：PCT/KR2011/004616
申请日：2011-06-24
CPC classification number: G01B11/22 , G01B9/02008 , G01B11/12 , G01B2210/56 , G01N21/9501 , G01N2021/95653
Abstract: 본 발명은 웨이퍼를 손상시키지 않고 비아홀의 깊이를 정확하게 측정할 수 있는 실리콘 웨이퍼의 비아홀 측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 광 투과 특성이 우수한 실리콘 웨이퍼에 광대역 적외선 광을 조사하여 웨이퍼의 각 경계면으로부터 반사되는 빛과 기준광의 간섭 신호로부터 비아홀의 깊이를 측정할 수 있게 한 실리콘 웨이퍼의 비아홀 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 비아홀 측정 장치는 광대역의 적외선 광을 생성하는 광원부와 상기 광원부로부터 생성된 광을 실리콘 웨이퍼에 조사하여 상기 실리콘 웨이퍼로부터 반사된 빛의 간섭 신호의 스펙트럼 주기로부터 웨이퍼에 형성된 비아홀의 깊이를 측정하는 간섭계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及用于测量硅晶片的通孔的装置和方法，其中可以精确地测量通孔的深度而不损坏晶片。 宽带红外光被照射到具有优异的透光性的硅晶片，从而可以从从晶片的每个边界面反射的光和参考光的干涉信号测量通孔的深度。 根据本发明的通孔测量装置包括：用于产生宽带红外光的光源单元; 以及干涉仪，用于将从光源单元产生的光发射到硅晶片，以便根据光的干涉信号的光谱周期来测量形成在晶片上的通孔的深度，该距离从 硅晶片。
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公开(公告)号：WO2017146385A1
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：PCT/KR2017/000937
申请日：2017-01-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 레이저 세정 질량 분석 장치 및 그 세정 방법에 관한 것이다. 이 레이저 세정 질량 분석 장치는 2차원 스캐닝을 하는 이송 스테이지; 상기 이송 스테이지에 장착된 반사 광학 부품; 상기 반사 광학 부품에 레이저 클리닝 빔을 조사하는 레이저 광원; 및 그 중심에 중심 개구부 및 상기 레이저 클리닝 빔이 진행하는 레이저 빔 접근 개구부를 구비하고 상기 반사 광학 부품에서 반사된 레이저 클리닝 빔에 의하여 조사되는 이온 추출 전극 격판를 포함한다. 상기 레이저 클리닝 빔은 오염된 이온 추출 전극 격판에 형성된 레이저 빔 접근 개구부를 통과하여 상기 반사 광학 부품에 제공되고, 상기 반사된 레이저 클리닝 빔은 상기 이온 추출 전극 격판를 조사하여 세정한다.
Abstract translation: 激光清洁质谱仪及其清洁方法技术领域本发明涉及一种激光清洁质谱仪及其清洁方法。 该激光清洁质谱仪包括用于二维扫描的转印台; 安装在传输台上的反射光学部件; 用激光清洁光束照射反射光学部件的激光光源; 在中心具有中心开口的离子引出电极膜片和激光束通过开口，激光清洁束通过该激光束进入开口传播并且被从反射光学组件反射的激光清洁束照射。 激光清洁束通过形成在污染离子提取电极隔板中的激光束进入开口提供给反射光学组件，并且反射激光清洁束照射并清洁离子引出电极隔壁。
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公开(公告)号：WO2013172561A2
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：PCT/KR2013/003469
申请日：2013-04-23
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01D5/34707 , G01D5/2455 , G01D5/34746 , G01D5/34776 , G01D5/34792
Abstract: 본 발명은 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일을 제공한다. 이 스케일은 제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol), 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된 스케일 패턴을 포함한다. 제1 심볼은 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 제2 심볼은 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재한다.
Abstract translation: 本发明提供绝对位置测量方法，绝对位置测量装置和刻度。 缩放比例包括通过使用具有第一宽度并表示第一状态的第一符号和具有第一宽度的第二符号代替重复排列的伪随机码与N级线性反馈转换电阻序列而形成的比例模式， 第二个状态 第一符号被划分为两个或更多个第一符号区域，第二符号被划分为两个或更多个第二符号区域，并且由于第一符号和第二符号的重叠而存在具有相同结构的至少一个重叠区域 。
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公开(公告)号：KR101774779B1
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：KR1020160114037
申请日：2016-09-05
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01C11/06 , G06T7/55 , G06T7/70 , H04N5/232 , H04N5/23212
Abstract: 본발명은거리측정장치에관한것이다. 본발명의거리측정장치는이미지센서및 이미지센서구동부를포함한다. 이미지센서는포토다이오드, 제1 커패시터및 제2 커패시터, 그리고포토다이오드의출력을제1 커패시터및 제2 커패시터로각각전달하는제1 전송게이트및 제2 전송게이트를포함한다. 이미지센서구동부는제1 전송게이트및 제2 전송게이트를상보적으로구동한다.
Abstract translation: 距离测量装置本发明涉及一种距离测量装置。 本发明的距离测量装置包括图像传感器和图像传感器驱动器。 图像传感器包括光电二极管，第一电容器和第二电容器以及用于将光电二极管的输出分别转移到第一电容器和第二电容器的第一传输门和第二传输门。 图像传感器驱动单元互补地驱动第一传输门和第二传输门。
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