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公开(公告)号：KR102233677B1
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020190134059A
申请日：2019-10-25
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 두께 측정 광학 장치는 적외선 대역에서 분광 간섭계를 구성하고 가시광 대역에서 분광 반사계를 일체형으로 구현하여 동시에 박막 및 후막의 두께를 나노미터에서 미터까지의 광범위 멀티스케일 측정 범위에서 자동 시편 조절 기능과 함께 측정할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2011162566A2
公开(公告)日：2011-12-29
申请号：PCT/KR2011/004616
申请日：2011-06-24
CPC classification number: G01B11/22 , G01B9/02008 , G01B11/12 , G01B2210/56 , G01N21/9501 , G01N2021/95653
Abstract: 본 발명은 웨이퍼를 손상시키지 않고 비아홀의 깊이를 정확하게 측정할 수 있는 실리콘 웨이퍼의 비아홀 측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 광 투과 특성이 우수한 실리콘 웨이퍼에 광대역 적외선 광을 조사하여 웨이퍼의 각 경계면으로부터 반사되는 빛과 기준광의 간섭 신호로부터 비아홀의 깊이를 측정할 수 있게 한 실리콘 웨이퍼의 비아홀 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 비아홀 측정 장치는 광대역의 적외선 광을 생성하는 광원부와 상기 광원부로부터 생성된 광을 실리콘 웨이퍼에 조사하여 상기 실리콘 웨이퍼로부터 반사된 빛의 간섭 신호의 스펙트럼 주기로부터 웨이퍼에 형성된 비아홀의 깊이를 측정하는 간섭계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及用于测量硅晶片的通孔的装置和方法，其中可以精确地测量通孔的深度而不损坏晶片。 宽带红外光被照射到具有优异的透光性的硅晶片，从而可以从从晶片的每个边界面反射的光和参考光的干涉信号测量通孔的深度。 根据本发明的通孔测量装置包括：用于产生宽带红外光的光源单元; 以及干涉仪，用于将从光源单元产生的光发射到硅晶片，以便根据光的干涉信号的光谱周期来测量形成在晶片上的通孔的深度，该距离从 硅晶片。
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公开(公告)号：WO2013172561A2
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：PCT/KR2013/003469
申请日：2013-04-23
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01D5/34707 , G01D5/2455 , G01D5/34746 , G01D5/34776 , G01D5/34792
Abstract: 본 발명은 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일을 제공한다. 이 스케일은 제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol), 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된 스케일 패턴을 포함한다. 제1 심볼은 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 제2 심볼은 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재한다.
Abstract translation: 本发明提供绝对位置测量方法，绝对位置测量装置和刻度。 缩放比例包括通过使用具有第一宽度并表示第一状态的第一符号和具有第一宽度的第二符号代替重复排列的伪随机码与N级线性反馈转换电阻序列而形成的比例模式， 第二个状态 第一符号被划分为两个或更多个第一符号区域，第二符号被划分为两个或更多个第二符号区域，并且由于第一符号和第二符号的重叠而存在具有相同结构的至少一个重叠区域 。
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公开(公告)号：WO2018174392A1
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：PCT/KR2018/000494
申请日：2018-01-10
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 반사면 프로파일 측정 장치 및 방법을 제공한다. 이 반사면 프로파일 측정 장치는, Twyman-Green 간섭계(120); 상기 Twyman-Green 간섭계의 측정 경로에 배치된 반사 광학 소자(12)를 이동시키는 스캐닝 스테이지(110); 상기 스캐닝 스테이지(110)에 장착되어 이동하는 스테이지 미러(112); 상기 스테이지 미러에서 반사되는 빔을 이용하여 상기 스캐닝 스테이지(110)의 위치와 회전 운동 오차를 측정하는 선형/각도 간섭계(linear/angular interferometer, 150); 및 신호 처리부(130)를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2017209352A1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：PCT/KR2016/010612
申请日：2016-09-23
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 절대거리 측정 장치를 제공한다. 이 절대거리 측정 장치는 모드 잠금 광빗 레이저; 상기 모드 잠금 광빗 레이저의 출력광을 제공받아 기준 경로와 측정 경로로 빔을 분할하는 제1 광 분할기; 상기 기준 경로의 기준 빔을 제공받아 제1 기준 거울와 제2 기준거울로 빔을 분할하는 제2 광 분할기; 상기 제1 광분할기로부터 상기 측정 경로의 측정 빔을 제공받아 반사시키는 측정 대상; 상기 측정 대상으로부터 반사된 빔을 상기 측정 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받고, 상기 제1 기준 거울로부터 반사된 빔, 그리고 상기 제2 기준 거울로부터 반사된 빔을 상기 기준 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받아 파장에 따른 스펙트럼을 측정하는 광 스펙트럼 분석기; 및 상기 광 스펙트럼 분석기의 측정 결과를 분석하여 상기 측정 대상의 절대거리를 추출하는 연산부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种绝对距离测量装置。 绝对距离测量装置包括锁模光纤激光器; 第一分光器，用于接收所述锁模光梳激光器的输出光并将所述光束分成参考路径和测量路径; 第二分光器，用于接收参考路径的参考光束并将光束分成第一参考反射镜和第二参考反射镜; 测量目标，用于接收并反射来自第一分光器的测量路径的测量光束; 从待测量物体反射的光束沿测量路径通过第一分束器，从第一参考反射镜反射的光束以及从第二参考反射镜反射的光束， 一种光谱分析仪，通过第一分光器提供并根据波长测量光谱; 以及操作单元，用于分析光谱分析仪的测量结果并提取测量对象的绝对距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101792632B1
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：KR1020160068129
申请日：2016-06-01
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B9/02 , G01B11/02 , G02B27/14 , H01S3/11 , G01B9/02043 , G02B27/141 , H01S3/1106
Abstract: 본발명은절대거리측정장치를제공한다. 이절대거리측정장치는모드잠금광빗레이저; 상기모드잠금광빗레이저의출력광을제공받아기준경로와측정경로로빔을분할하는제1 광분할기; 상기기준경로의기준빔을제공받아제1 기준거울와제2 기준거울로빔을분할하는제2 광분할기; 상기제1 광분할기로부터상기측정경로의측정빔을제공받아반사시키는측정대상; 상기측정대상으로부터반사된빔을상기측정경로를따라상기제1 광분할기를통하여제공받고, 상기제1 기준거울로부터반사된빔, 그리고상기제2 기준거울로부터반사된빔을상기기준경로를따라상기제1 광분할기를통하여제공받아파장에따른스펙트럼을측정하는광 스펙트럼분석기; 및상기광 스펙트럼분석기의측정결과를분석하여상기측정대상의절대거리를추출하는연산부를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种绝对距离测量装置。 绝对距离测量装置包括锁模光纤激光器; 第一分光器，用于接收所述锁模光梳激光器的输出光并将所述光束分成参考路径和测量路径; 第二分光器，用于接收参考路径的参考光束并将光束分成第一参考反射镜和第二参考反射镜; 测量目标，用于接收并反射来自第一分光器的测量路径的测量光束; 从待测量物体反射的光束沿着测量路径通过第一分束器提供，并且从第一参考反射镜反射的光束和从第二参考反射镜反射的光束沿着参考路径反射 光谱分析仪，通过第一分光器提供并根据波长测量光谱; 还有一个运算单元，用于分析光谱分析仪的测量结果并提取测量对象的绝对距离。
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公开(公告)号：KR1020170032700A
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：KR1020150130372
申请日：2015-09-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은두께측정장치를제공한다. 이두께측정장치는광대역광원; 상기광대역광원의출력광을전달하는제1 광섬유; 상기제1 광섬유를통하여전달된광을기준경로로진행하는기준빔과측정경로로진행하는측정빔으로분할하는제1 빔분할기; 상기기준빔을반사시키는기준경로거울; 상기측정빔을반사시키는측정경로거울; 상기기준경로거울에서반사된상기기준빔과상기측정빔을중첩하여간섭신호를생성하는제2 빔분할기; 상기간섭신호를전달하는제2 광섬유; 상기제2 광섬유를통하여전달된간섭신호를파장에따라측정하는스펙트럼분석기; 및상기스펙트럼분석기의출력신호를처리하여상기측정경로에삽입된측정대상의두께를산출하는처리부를포함한다. 상기기준경로와상기측정경로는사각형을형성하도록배치된다.
Abstract translation: 本发明提供了一种厚度测量装置。 厚度测量装置包括宽带光源; 用于传输宽带光源的输出光的第一光纤; 第一分束器，用于将通过第一光纤传输的光分成在参考路径上行进的参考光束和在测量路径上行进的测量光束; 用于反射参考光束的参考路径镜; 测量路径反射镜，用于反射测量光束; 第二分束器，用于通过叠加从参考路径镜反射的参考光束和测量光束来产生干涉信号; 用于传输干扰信号的第二光纤; 频谱分析器，用于根据波长来测量通过第二光纤传输的干扰信号; 以及处理器，用于处理频谱分析仪的输出信号以计算插入测量路径中的测量对象的厚度。 参考路径和测量路径排列成一个正方形。
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公开(公告)号：KR1020150116332A
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：KR1020140041462
申请日：2014-04-07
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/02 , G01N21/45 , G01N2021/456
Abstract: 본발명은두께측정장치및 두께측정방법을제공한다. 이두께측정광학장치는복수의파장에서발진하는광대역레이저광원; 상기광대역레이저광원의출력광을제1 포트로제공받아제2 포트로제공하고제2 포트로제공받은광을제3 포트로출력하는광서큘레이터; 상기광서큘레이터의제2 포트로부터출력되는광의일부를투과시키고나머지를반사시키는광분할기; 및상기광분할기로부터제공된광을반사시키는미러를포함한다. 측정대상은상기광분할기와상기미러사이에배치되고, 상기측정대상은상기광분할기를투과한광의일부를반사시키고나머지를투과시키어상기미러에제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种厚度测量装置和厚度测量方法。 厚度测量光学装置包括以多个波长振荡的宽带激光光源; 在第一端口中接收宽带激光光源的光的循环器，将光提供给第二端口，并通过第三端口输出在第二端口中接收的光; 光分路器，其透过通过光循环器的第二端口输出的一些光，并反射其余的光; 以及反射从分光器供应的光的镜子。 在光分路器和反射镜之间设置测量对象。 测量对象反映了通过光分路器传输的一些光，透过其余的光，然后将光提供给镜子。
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公开(公告)号：KR101533994B1
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130128738
申请日：2013-10-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은광학장치및 표면형상측정장치를제공한다. 이장치는광대역의가간섭광을조사하는광원부; 입력단으로상기광원부의입사광을제공받아제1 출력단및 제2 출력단으로상기제1 입사광및 제2 입사광을분기하는제1 광섬유커플러; 상기제1 광섬유커플러의제2 출력단으로부터제2 입사광을제공받는제1 단자, 상기제1 단자로부터제공받은상기제1 입사광을샘플에제공하는제2 단자, 및상기샘플에서반사된반사광을상기제2 단자로제공받아출력하는제3 단자를포함하는광 서큘레이터; 상기제1 광섬유커플러의제1 출력단으로부터제1 입사광을제공받는제1 입력단, 상기반사광을제공받는제2 입력단, 및상기제2 입사광과상기반사광을결합하여출력하는출력단을포함하는제2 광섬유커플러; 및상기제2 광섬유커플러의출력광을제공받아파장에따라간섭광의세기를측정하는스펙트럼분석기를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020150005794A
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：KR1020130078753
申请日：2013-07-05
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/06 , H01L21/67253
Abstract: 본 발명은 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공하는 것이다. 이 두께 측정 장치는 제1 파장 및 제2 파장의 레이저 빔을 순차적으로 투명 기판의 제1 위치에 조사하는 파장 가변 레이저; 상기 투명 기판을 투과한 투과 빔을 검출하는 광 검출기;및 제1 파장의 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리자주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 처리부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种厚度测量装置和厚度测量方法。 厚度测量装置包括：波长可变激光单元，其在透明基板上将第一波长和第二波长的激光束连续地发射到第一位置; 光检测器，其检测穿透透明基板的光束; 以及处理单元，其使用具有第一波长的第一穿透激光束的强度和具有第二波长的第二穿透激光束的强度从利萨如图提取旋转角度，相邻射线之间的光程长度差 通过在第一位置处的透明基板的内部反射，或通过透明基板在第一位置处的内部反射而使相邻光线的相位差。
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