公开(公告)号：WO2014195840A2

公开(公告)日：2014-12-11

申请号：PCT/IB2014061853

申请日：2014-05-30

Applicant: IBM ,  IBM CHINA LTD

Inventor： COONEY EDWARD C ,  DANG DINH ,  DEMUYNCK DAVID A ,  MC TAGGART SARAH A ,  MILO GARY L ,  ROMA MELISSA J ,  THOMPSON JEFFREY L ,  WEEKS THOMAS W

CPC classification number: H01L28/10 ,  H01L23/5227 ,  H01L23/5329 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A method including forming a first metal wire in a first dielectric layer, the first metal wire including a first vertical side opposite from a second vertical side; and forming a second metal wire in a second dielectric layer above the first dielectric layer, the second metal wire including a third vertical side opposite from a fourth vertical side, where the first vertical side is laterally offset from the third vertical side by a first predetermined distance, and the second vertical side is laterally offset from the fourth vertical side by a second predetermined distance, where the first metal wire and the second metal wire are in direct contact with one another.

Abstract translation: 一种包括在第一电介质层中形成第一金属线的方法，所述第一金属线包括与第二垂直侧相对的第一垂直侧; 以及在所述第一电介质层上方的第二电介质层中形成第二金属线，所述第二金属线包括与第四垂直侧相反的第三垂直侧，其中所述第一垂直侧从所述第三垂直侧横向偏移第一预定 距离，第二垂直侧与第四垂直侧横向偏移第二预定距离，其中第一金属线和第二金属线彼此直接接触。

公开(公告)号：DE112012003959T5

公开(公告)日：2014-07-03

申请号：DE112012003959

申请日：2012-09-11

Applicant: IBM

Inventor： COONEY EDWARD C ,  GAMBINO JEFFREY P ,  HE ZHONG-XLANG ,  LIU XIAO-HU ,  MILO GARY L ,  MURPHY WILLIAM J ,  MCDEVITT THOMAS L

IPC: H01L21/4763

Abstract: Eine Einheit, die einen Isolator und Schichten auf dem Isolator aufweist. Jede der Schichten beinhaltet einen ersten Metallleiter und einen zweiten Metallleiter, der benachbart zu dem ersten Metallleiter positioniert ist. Die ersten Metallleiter beinhalten eine erste vertikal gestapelte Struktur, und die zweiten Metallleiter beinhalten eine zweite vertikal gestapelt Struktur. Zumindest ein Luftspalt ist zwischen der ersten vertikal gestapelten Struktur und der zweiten vertikal gestapelten Struktur positioniert. Der Spalt kann eine Metallfüllung beinhalten.