公开(公告)号：DE68908480T2

公开(公告)日：1994-03-17

申请号：DE68908480

申请日：1989-04-15

Applicant: IBM

Inventor： GALLAGHER WILLIAM JOSEPH ,  GIESS EDWARD AUGUST ,  GUPTA ARUNAVA ,  LAIBOWITZ ROBERT BENJAMIN ,  O'SULLIVAN EUGENE JOHN M ,  SANDSTROM ROBERT LEE

IPC: C01G3/00 ,  C01B13/14 ,  C01G1/00 ,  C04B41/89 ,  C30B23/02 ,  C30B25/18 ,  C30B29/22 ,  H01B12/06 ,  H01B13/00 ,  H01L39/14 ,  H01L39/22 ,  H01L39/24 ,  H01P3/08

公开(公告)号：DE68908480D1

公开(公告)日：1993-09-23

申请号：DE68908480

申请日：1989-04-15

Applicant: IBM

Inventor： GALLAGHER WILLIAM JOSEPH ,  GIESS EDWARD AUGUST ,  GUPTA ARUNAVA ,  LAIBOWITZ ROBERT BENJAMIN ,  O'SULLIVAN EUGENE JOHN M ,  SANDSTROM ROBERT LEE

IPC: C01G3/00 ,  C01B13/14 ,  C01G1/00 ,  C04B41/89 ,  C30B23/02 ,  C30B25/18 ,  C30B29/22 ,  H01B12/06 ,  H01B13/00 ,  H01L39/14 ,  H01L39/22 ,  H01L39/24 ,  H01P3/08