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公开(公告)号:DE112020000571T5
公开(公告)日:2021-10-28
申请号:DE112020000571
申请日:2020-03-18
Applicant: IBM
Inventor: ARVIN CHARLES LEON , SINGH BHUPENDER , INDYK RICHARD FRANCIS , OSTRANDER STEVEN PAUL , WEISS THOMAS , KAPFHAMMER MARK WILLIAMS
IPC: H01L23/538 , H01L21/58 , H01L21/60 , H01L23/492
Abstract: Eine integrierte Schaltungseinheit mit mehreren Chips und ein Verfahren zum Fertigen der integrierten Schaltungseinheit mit mehreren Chips beziehen ein Substrat ein. Zwei oder mehr Chips enthalten Komponenten, die die Funktionalität der integrierten Schaltung mit mehreren Chips implementieren. Zu den Komponenten zählen Logikgatter. Die integrierte Schaltungseinheit mit mehreren Chips enthält darüber hinaus ein Abstandselement, das zwischen dem Substrat und jedem der zwei oder mehr Chips angeordnet ist. Jeder der zwei oder mehr Chips stellt einen direkten elektrischen Kontakt mit dem Substrat durch Löcher in dem Abstandselement her, ohne einen direkten elektrischen Kontakt mit dem Abstandselement herzustellen.
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公开(公告)号:DE112020000571B4
公开(公告)日:2022-03-17
申请号:DE112020000571
申请日:2020-03-18
Applicant: IBM
Inventor: ARVIN CHARLES LEON , SINGH BHUPENDER , INDYK RICHARD FRANCIS , OSTRANDER STEVEN PAUL , WEISS THOMAS , KAPFHAMMER MARK WILLIAMS
IPC: H01L23/538 , H01L21/58 , H01L21/60 , H01L23/492
Abstract: Integrierte Schaltungseinheit (100) mit mehreren Chips (130), die aufweist:ein Substrat (120);zwei oder mehr Chips (130), die Komponenten (135) aufweisen, die die Funktionalität der integrierten Schaltungseinheit (100) mit mehreren Chips (130) implementieren, wobei zu den Komponenten (135) Logikgatter zählen; undein Abstandselement (110), das zwischen dem Substrat (120) und jedem der zwei oder mehr Chips (130) angeordnet ist, wobei jeder der zwei oder mehr Chips (130) einen direkten elektrischen Kontakt mit dem Substrat (120) durch Löcher (117) in dem Abstandselement (110) herstellt, wobei jeder der zwei oder mehr Chips (130) innerhalb der Löcher (117) keinen direkten elektrischen Kontakt mit dem Abstandselement (110) herstellt und das Abstandselement (110) einen direkten Kontakt mit dem Substrat (120) herstellt, wobei das Abstandselement (110) einen zweiten Satz von Löchern (117) enthält und eine polymere Substanz (410) in den zweiten Satz von Löchern (117) eingelassen ist.
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公开(公告)号:DE112020003866B4
公开(公告)日:2025-02-06
申请号:DE112020003866
申请日:2020-08-26
Applicant: IBM
Inventor: WEISS THOMAS , ARVIN CHARLES , POMERANTZ GLENN , OLSON RACHEL , KAPFHAMMER MARK , SINGH BHUPENDER
IPC: H01L23/544 , H01L21/50 , H01L21/60 , H01L23/538 , H10D80/30
Abstract: Aufbau, der aufweist:einen ersten Halbleiterchip (50L), der eine Mehrzahl von ersten Bond-Kontaktstellen (52L), die sich an einem peripheren Bereich des ersten Halbleiterchips befinden, erste Lotkugeln (54L), die sich in einem Zwischenverbindungsbereich mit einer geringen Dichte (einem LDI-Bereich) des ersten Halbleiterchips befinden, sowie erste Bond-Kontaktstellen (56L) aufweist, die sich in einem Zwischenverbindungsbereich mit einer hohen Dichte (einem HDI-Bereich) des ersten Halbleiterchips befinden;einen zweiten Halbleiterchip (50R), der sich lateral benachbart zu dem ersten Halbleiterchip befindet und eine Mehrzahl von zweiten Bond-Kontaktstellen (52R), die sich an einem peripheren Bereich des zweiten Halbleiterchips befinden, zweite Lotkugeln (54R), die sich in einem LDI-Bereich des zweiten Halbleiterchips befinden, sowie zweite Bond-Kontaktstellen (56R) aufweist, die sich in einem HDI-Bereich des zweiten Halbleiterchips befinden; undeinen Ausrichtungsträger (10), der ein Substrat und eine Mehrzahl von Lotkugeln aufweist, die sich auf dem Substrat befinden, wobei ein erster Satz der Lotkugeln (14X), der sich auf dem Substrat befindet, zu den ersten Bond-Kontaktstellen ausgerichtet ist und sich in Kontakt mit diesen befindet, die sich an dem peripheren Bereich des ersten Halbleiterchips befinden, und wobei ein zweiter Satz der Lotkugeln (14Y), der sich auf dem Substrat befindet, zu den zweiten Bond-Kontaktstellen ausgerichtet ist und sich in Kontakt mit diesen befindet, die sich an dem peripheren Bereich des zweiten Halbleiterchips befinden; und wobei die Lotkugeln des Ausrichtungsträgers eine Abmessung aufweist, die größer als jene der ersten Lotkugeln, die in dem ersten LDI-Bereich des ersten Halbleiterchips vorhanden sind, und als jene der zweiten Lotkugeln ist, die in dem zweiten LDI-Bereich des zweiten Halbleiterchips vorhanden sind.
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公开(公告)号:AU2021235527A1
公开(公告)日:2022-08-25
申请号:AU2021235527
申请日:2021-02-18
Applicant: IBM
Inventor: ARVIN CHARLES LEON , SINGH BHUPENDER , LI SHIDONG , MUZZY CHRIS , WASSICK THOMAS ANTHONY
IPC: H01L21/66 , H01L21/822
Abstract: A module includes a substrate having a plurality of contact regions, and a spacer-chip assembly. The spacer-chip assembly in turn includes at least first and second semiconductor dies, each having a plurality of electrical interconnect pillars and a plurality of contact pads, and a spacer wafer. The at least first and second semiconductor dies are secured to the spacer wafer, and the spacer wafer includes at least first and second semiconductor circuit features coupled to a first portion of the contact pads of the at least first and second semiconductor dies. The spacer wafer includes wiring electrically coupling the at least first and second semiconductor dies via a second portion of the contact pads. The spacer wafer has a plurality of holes formed therethrough. The plurality of electrical interconnect pillars extend through the holes and are secured to the contact regions on the substrate.
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公开(公告)号:DE112020003866T5
公开(公告)日:2022-05-05
申请号:DE112020003866
申请日:2020-08-26
Applicant: IBM
Inventor: WEISS THOMAS , ARVIN CHARLES , POMERANTZ GLENN , OLSON RACHEL , KAPFHAMMER MARK , SINGH BHUPENDER
IPC: H01L23/544 , H01L21/50 , H01L21/60 , H01L23/538 , H01L25/065
Abstract: Ausrichtungsträger, Aufbau und Verfahren, welche die präzise Ausrichtung und den Aufbau von zwei oder mehr Halbleiterchips unter Verwendung einer Zwischenverbindungsbrücke ermöglichen. Der Ausrichtungsträger weist ein Substrat auf, das aus einem Material besteht, das einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der im Wesentlichen mit jenem einer Zwischenverbindungsbrücke übereinstimmt. Der Ausrichtungsträger weist des Weiteren eine Mehrzahl von Lotkugeln auf, die sich auf dem Substrat befinden und für eine Ausrichtung von zwei oder mehr Halbleiterchips konfiguriert sind.
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