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公开(公告)号：CN101827662B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN200880111705.3
申请日：2008-09-03
Applicant: 比利时电子分拣技术股份有限公司
Inventor： P·博格曼斯
CPC classification number: B07C5/342 , G01N21/85 , G01N21/8901 , G01N2021/8592 , G01N2201/1042
Abstract: 本发明涉及包括宽带光学光源和分拣装置的系统，具体说，是涉及激光器分拣装置。本发明的目的是提供一种包括分拣装置的系统，该分拣装置有提供用于分拣处理的所有波长的光源。这是通过使用一种全光纤超连续光谱光源解决的。
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公开(公告)号：CN101063663B
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN200710101110.7
申请日：2007-04-26
Applicant: 西门子公司
IPC: G01N21/958 , G01N21/88 , G01M11/02
CPC classification number: G01N21/896 , G01N21/8901 , G01N21/958 , G01N33/386 , G01N2021/4716 , G01N2021/4735 , G01N2021/8905 , G01N2201/0642 , G01N2201/1042
Abstract: 采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器，所述光学传感器包含：a)远心激光扫描仪(12)，具有：激光器(1)，用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4)，用于引导照射光束和检测光束；b)探测单元(11)，具有：检测光学系统(8)、中心光阑(9)，所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6)，用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光，、前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品：光学检查表面的检验设备。
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公开(公告)号：CN101827662A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200880111705.3
申请日：2008-09-03
Applicant: 比利时电子分拣技术股份有限公司
Inventor： P·博格曼斯
CPC classification number: B07C5/342 , G01N21/85 , G01N21/8901 , G01N2021/8592 , G01N2201/1042
Abstract: 本发明涉及包括宽带光学光源和分拣装置的系统，具体说，是涉及激光器分拣装置。本发明的目的是提供一种包括分拣装置的系统，该分拣装置有提供用于分拣处理的所有波长的光源。这是通过使用一种全光纤超连续光谱光源解决的。
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公开(公告)号：CN101507256A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200680045923.2
申请日：2006-12-04
Applicant: 生物辐射实验室股份有限公司
Inventor： D·Y·楚
CPC classification number: G01N21/253 , G01N2201/0446 , G01N2201/1042
Abstract: 微阵列的扫描是通过能够曝光微阵列上的多个但不是所有位置的掩模来实现的，并且掩模可相对于微阵列移动或者微阵列可相对于掩模移动，或者两者兼之。掩模作为在扫描头的行进处于待机、目标速度时限制对能够照明的微阵列上的微阵列位置的照明的部件是十分有用的，它能够在扫描头轨迹中的一些扫描头加速或者减速的点上阻止光在扫描头和微阵列之间的通过。通过防止光泄漏到与正在扫描的位置相邻的位置上，掩模可以十分有效地减小在微阵列成像中的背景噪声。
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公开(公告)号：CN101063663A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200710101110.7
申请日：2007-04-26
Applicant: 西门子公司
IPC: G01N21/958 , G01N21/88 , G01M11/02
CPC classification number: G01N21/896 , G01N21/8901 , G01N21/958 , G01N33/386 , G01N2021/4716 , G01N2021/4735 , G01N2021/8905 , G01N2201/0642 , G01N2201/1042
Abstract: 采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器，所述光学传感器包含：a)远心激光扫描仪(12)，具有：激光器(1)，用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4)，用于引导照射光束和检测光束；b)探测单元(11)，具有：检测光学系统(8)、中心光阑(9)，所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6)，用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光，前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品：光学检查表面的检验设备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106323477A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610510354.X
申请日：2016-06-30
Applicant: 安捷伦科技有限公司
IPC: G01J5/08
CPC classification number: G01J3/0297 , G01J3/10 , G01J3/108 , G01J3/2823 , G01J3/42 , G01N21/274 , G01N21/276 , G01N21/3563 , G01N21/4785 , G01N21/55 , G01N2201/101 , G01N2201/1042 , G01N2201/127 , G01J5/0806 , G01J5/0803
Abstract: 公开了用于在无需移除正成像的样本的情况下在生成中红外(MIR)图像期间获得基准样本的方法和装置。可调谐MIR激光器生成汇聚到在第一方向上移动标本的标本级上的标本上的光束。光学组件包括：扫描组件，其具有聚焦透镜；以及镜，其相对于级在与第一方向不同的第二方向上移动，使得聚焦透镜在聚焦透镜与标本级之间保持固定距离。光检测器测量离开标本上的点的光的强度。控制器从所测量的强度形成图像。基准级定位为使得镜响应于命令在基准级上移动，使得控制器也可以进行基准测量。
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7.发明公开
公开(公告)号：EP3343205A1
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：EP16382678.7
申请日：2016-12-30
Applicant: Lenz Instruments S.L.
Inventor： Philippet, Laurent , Romero López, David , Williams, Mark , Rodríguez Ventura, Juan Manuel , Álvarez García, Jacobo
CPC classification number: G01N21/718 , B07C5/342 , G01J3/021 , G01J3/443 , G01N2021/8455 , G01N2201/1042 , G01N2201/1047
Abstract: 1.- A system (1) for analysing the chemical composition of a target material (100) comprising: [a] a laser system (2) [b] at least one scanner assembly for directing said laser beam (4) onto said target material (100) to produce luminous plasma on said target material (100) and to collect the light emitted thereafter, and [c] a spectral analyser (10). The scanner assembly further comprises at least [d] first light redirecting means (12) being configured such as to let the light pass therethrough when the light falls on one first side (14) of said first light redirecting means (12) and to redirect at least part of the light when the light falls on a second opposite side (16) opposite. Said first light redirecting means (12) are arranged in the system (1) to gather said light emitted by said plasma, collinearly with the laser beam directed onto said target material (100) and to redirect said light emitted by said plasma onto said first focusing means (6).
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公开(公告)号：EP1494007A1
公开(公告)日：2005-01-05
申请号：EP04014796.9
申请日：2004-06-24
Applicant: Tecan Trading AG
Inventor： Erlbacher, Andreas , Niggl, Lutz , Krutzenbichler, Alois
CPC classification number: G01N21/6452 , B01L3/5085 , B01L2300/0654 , B01L2300/0829 , B01L2300/168 , G01N21/0303 , G01N21/253 , G01N21/59 , G01N2021/6463 , G01N2021/6491 , G01N2021/651 , G01N2201/0446 , G01N2201/1042 , Y10S436/809
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) und ein Verfahren zum Bestimmen von Parametern von fluidhaltigen Proben (2) in einem System (3) zum individuellen Bestrahlen der Proben (2) mit Licht (4) einer Lichtquelle (5) in einer im wesentlichen vertikalen Einstrahlungsrichtung (6). Dabei umfasst dieses System (3) einen Detektor (7) zum Messen des von einer einzelnen Probe kommenden Lichts (8) und dieser Detektor (7) weist eine Detektionsrichtung (9') auf, welche auf einer optischen Achse (9) liegt, die im wesentlichen parallel zur optischen Achse (6) der Lichtquelle (5) ist. Diese Vorrichtung (1) umfasst zumindest eine Spiegelfläche (10), mit welcher das im wesentlichen vertikal aus der Lichtquelle (5) ankommende Licht (4) in eine im wesentlichen horizontale Durchstrahlungsrichtung (11) zumindest teilweise ablenkbar ist. Die erfindungsgemässe Vorrichtung bzw. das erfindungsgemässe Verfahren sind dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionsrichtung (9') des Detektors (7) - zum Messen des individuellen, von einer einzelnen Probe (2) kommenden Lichts (8) - so in einem Winkel zu der optischen Achse des die Probe (2) durchstrahlenden Lichts (4) angeordnet ist, dass nur das von der einzelnen Probe (2) kommende Licht (8), nicht aber dieses Licht (4) in den Detektor (7) gelangt.
Abstract translation: 系统（3）具有测量单个样品（8）的光并且在用于光源（5）的光轴（9）上具有检测装置的检测器（7）。 镜面（10）使照射的水平方向（11）从源极垂直出射的光（4）偏转。 还包括以下独立权利要求：（a）确定含有流体的样品参数的系统; （b）和用于确定含有流体的样品参数的方法。
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公开(公告)号：US11936985B2
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：US17765396
申请日：2020-03-10
Applicant: OMRON Corporation
Inventor： Shingo Hayashi , Daisuke Konishi
IPC: H04N23/695 , G01B11/06 , G01N21/88 , G01N21/956
CPC classification number: H04N23/695 , G01B11/0608 , G01N21/956 , G01N2021/95646 , G01N2201/1042
Abstract: Provided is a technique capable of more accurately determining a solder protruding defect in an appearance inspection device that acquires an image of an inspection region of an inspection target and measures a height of a predetermined place in the inspection region with a height measurement device. The appearance inspection device includes: an imaging unit (3); a height measurement unit (20); a moving mechanism (5) that moves the imaging unit (3) and the height measurement unit (20). When a restricted region (M) in the inspection target is irradiated with the measurement light emitted from the height measurement unit (20), the determination unit restricts defect determination based on the information on the height of the predetermined place measured by the height measurement unit (20).
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公开(公告)号：US20150146193A1
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：US14091199
申请日：2013-11-26
Applicant: Nanometrics Incorporated
Inventor： Andrzej Buczkowski
CPC classification number: G01N21/6489 , G01B11/0625 , G01N21/47 , G01N21/55 , G01N21/6456 , G01N21/88 , G01N21/9501 , G01N2021/4735 , G01N2021/646 , G01N2021/8822 , G01N2201/06113 , G01N2201/1042 , G01N2201/1053 , H04N3/155
Abstract: An optical metrology device is capable of detection of any combination of photoluminescence light, specular reflection of broadband light, and scattered light from a line across the width of a sample. The metrology device includes a first light source that produces a first illumination line on the sample. A scanning system may be used to scan an illumination spot across the sample to form the illumination line. A detector spectrally images the photoluminescence light emitted along the illumination line. Additionally, a broadband illumination source may be used to produce a second illumination line on the sample, where the detector spectrally images specular reflection of the broadband illumination along the second illumination line. The detector may also image scattered light from the first illumination line. The illumination lines may be scanned across the sample so that all positions on the sample may be measured.
Abstract translation: 光学测量装置能够检测光致发光的任何组合，宽带光的镜面反射以及穿过样品宽度的线的散射光。 测量装置包括在样品上产生第一照明线的第一光源。 可以使用扫描系统扫描样品上的照明点以形成照明线。 检测器对沿着照明线发射的光致发光进行光谱成像。 另外，宽带照明源可以用于在样本上产生第二照明线，其中检测器对第二照明线的宽带照明进行光谱反射。 检测器还可以对来自第一照明线的散射光进行成像。 可以在样品上扫描照明线，使得可以测量样品上的所有位置。
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