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公开(公告)号：CN104051203B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201410253929.5
申请日：2014-06-09
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开一种BN离子门及其制作方法，该方法包括：S1、提供绝缘基板和金属丝；S2、提供逐渐变小的预紧力作用于金属丝以使金属丝绕制到绝缘基板上，以在绝缘基板的同一面形成相互平行且等间距排列的多根金属丝段，并且多根金属丝段形成交替排列且相互绝缘的第一金属丝组和第二金属丝组，且各金属丝段具有相同的内部张紧力；其中，提供渐变预紧力使得欲绕制的第i根金属丝段受其对应的预紧力而伸长后的长度等于绝缘基板受已绕制的i-1根金属丝段压迫后的长度，且已绕制的金属丝段受张紧力而伸长后的长度等于绝缘基板受已绕制的金属丝段压迫后的长度，其中i为正整数。本发明的方法制作的BN离子门径向电场均匀、稳定。
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公开(公告)号：CN1630926A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN02828993.5
申请日：2002-03-21
Applicant: 汉民微测科技股份有限公司
Inventor： Z·-W·陈
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/141 , H01J2237/04756 , H01J2237/1035
Abstract: 一种回转减速浸没式物简系统及方法，它提供具有大束电流的低电压电子束，相当高的空间分辨率，相当大的扫描范围，和高的信号收集效率。该物镜包括用于在样品附近产生磁场的磁透镜，以把粒子束的粒子聚焦到样品上；具有用于在靠近样品处提供减速场到粒子束的电位的电极，当该束与样品碰撞时来减少粒子束的能量；包括沿该束轴设置的多个偏转单元的偏转系统，用于偏转该粒子束以使在具有大区域的样品上扫描成为可能，偏转单元中的至少一个放在该束的减速场中，其余的偏转单元放在磁透镜的中央腔内；以及具有相当小的孔径的环形探测单元，放在限定主束的孔径下面，以俘获二次电子(SE)和背散衬电子(BSE)。
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公开(公告)号：CN114303223A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202080059386.7
申请日：2020-09-04
Applicant: 日商光电魂股份有限公司
Inventor： 饭岛北斗
Abstract: 本发明要解决的问题在于提供可确认从光电阴极射出的电子束是否从设计射出中心轴偏移的电子枪。通过本发明的电子枪可解决上述问题，该电子枪包含：光源；光电阴极，依据来自光源的受光而射出电子束；以及阳极；该电子枪包含：中间电极，配置于光电阴极与阳极之间；电子束遮蔽部件，可遮蔽电子束的一部分；测量部，测量经由电子束遮蔽部件遮蔽的电子束的强度；以及电子束射出方向偏向装置，配置于阳极与电子束遮蔽部件之间，且使通过阳极的电子束到达电子束遮蔽部件时的位置变化；中间电极具有供从光电阴极射出的电子束通过的电子束通过孔；在电子束通过孔中形成在借助于电压的施加而在光电阴极与阳极之间形成有电场时可忽略电场的影响的漂移空间。
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公开(公告)号：CN1236180A
公开(公告)日：1999-11-24
申请号：CN99106702.9
申请日：1999-05-14
Applicant: 松下电子工业株式会社
Inventor： 木村正通
CPC classification number: H01J29/701
Abstract: 本发明的彩色阴极射线管装置包括玻璃外壳(8),玻璃外壳(8)由面板部分(3)、锥体部分(4)以及管颈部分(7)构成,带有多个开孔(9)的荫罩(10),设置在所述锥体部分(4)和所述管颈部分(7)外周上的偏转系统(13),和电子束移动装置(15)。由于按印刷方法形成荧光体(2),所以可以低成本化。此外,通过配置电子束移动装置(15),可保证彩色再现。
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公开(公告)号：CN1119334A
公开(公告)日：1996-03-27
申请号：CN95109507.2
申请日：1995-08-02
Applicant: 汤姆森消费电子有限公司
Inventor： D·F·格里彭特洛
IPC: H01J3/26
CPC classification number: H04N3/32
Abstract: 一种电子束偏转装置包括具有扫描电子束的阴极射线管。用于辅助电子束偏转的线圈(L)安装在所述阴极射线管上。在电源和返回电路之间连接有一个放大器(Q5，Q6)，它的输入端与代表视频信号边缘过渡的信号相连，输出端与线圈(L)相连，用于产生脉冲电流(11，16)，根据该信号使电子束偏转。放大器(Q5，Q6)和线圈(L)的配置使得脉冲电流主要在线圈(L)和放大器(Q5，Q6)输出中循环，而在电源和返回电路中基本没有脉冲电流流动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113707513B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202110901033.3
申请日：2021-08-06
Applicant: 无锡日联科技股份有限公司
IPC: H01J3/26
Abstract: 本发明提供了一种电子束对中装置及对中方法，具体包括以下步骤：在真空状态下，产生电子束；对偏转线圈以一定步长施加偏转电流，并记录电流计的示数；计算机对扫描过程进行分析，得到电流计示数最小时所施加的偏转电流；重复上述步骤，得到电子束对中参数，解决了传统电子束对中装置结构复杂，调整起来费时费力的问题，通过扫描方式完成电子束的对中，大大提高了对中精度且可实现调整过程的智能化且对中装置结构简单，操作方便。
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公开(公告)号：CN104051203A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410253929.5
申请日：2014-06-09
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开一种BN离子门及其制作方法，该方法包括：S1、提供绝缘基板和金属丝；S2、提供逐渐变小的预紧力作用于金属丝以使金属丝绕制到绝缘基板上，以在绝缘基板的同一面形成相互平行且等间距排列的多根金属丝段，并且多根金属丝段形成交替排列且相互绝缘的第一金属丝组和第二金属丝组，且各金属丝段具有相同的内部张紧力；其中，提供渐变预紧力使得欲绕制的第i根金属丝段受其对应的预紧力而伸长后的长度等于绝缘基板受已绕制的i-1根金属丝段压迫后的长度，且已绕制的金属丝段受张紧力而伸长后的长度等于绝缘基板受已绕制的金属丝段压迫后的长度，其中i为正整数。本发明的方法制作的BN离子门径向电场均匀、稳定。
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公开(公告)号：CN1084041C
公开(公告)日：2002-05-01
申请号：CN94194857.9
申请日：1994-11-18
Applicant: 弗雷德里克·怀特·马丁
Inventor： 弗雷德里克·怀特·马丁
IPC: H01J3/26
Abstract: 一种粒子束柱，包括一诸如液态金属离子源之类的针型离子源(1)、一个或多个圆透镜(2)、以及多个交错的四极透镜(14、16)。另外，一种离子束柱，包括一液态合金离子源(1)、交错的四极透镜(14、16)以及一维恩速度滤器(22)。这种柱产生了比只以静电透镜为基础的柱更精细聚焦的束，并且可以增加透镜小孔和允许更大的束流。
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公开(公告)号：CN1142280A
公开(公告)日：1997-02-05
申请号：CN94194857.9
申请日：1994-11-18
Applicant: 弗雷德里克·怀特·马丁
Inventor： 弗雷德里克·怀特·马丁
IPC: H01J3/26
Abstract: 一种粒子束柱，包括一诸如液态金属离子源之类的针型离子源(1)、一个或多个圆透镜(2)、以及多个交错的四极透镜(14、16)。另外，一种离子束柱，包括一液态合金离子源(1)、交错的四极透镜(14、16)以及一维恩速度滤器(22)。这种柱产生了比只以静电透镜为基础的柱更精细聚焦的束，并且可以增加透镜小孔和允许更大的束流。
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公开(公告)号：CN103956311B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201410210102.6
申请日：2014-05-16
Applicant: 厦门大学
Inventor： 何坚
Abstract: 带电粒子束轨迹控制装置，涉及电子离子光学设备。设有电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列、下电极板阵列和分压电阻；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并镜向对称安装；在上绝缘板和下绝缘板上沿着带电粒子束飞行方向上电极板阵列和下电极板阵列构成2行电极板，每条电极板之间等距分布排列；上电极板阵列和下电极板阵列上的每条电极板通过分压电阻分压具有不同的电位。不受带电粒子束的位置影响，对距离电极板不同位置的带电粒子均以同一角度偏转；通过调节合适的电参数，就能使带电粒子按照预定的轨迹到达指定位置；从根本上解决了粒子束角发散的问题。
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