Abstract:
적층된 트랜지스터들을 구비하는 반도체 장치의 형성 방법 및 그에 의해 형성된 반도체 장치를 제공한다. 이 방법은 복수층의 층간절연막들과 반도체 단결정층을 패터닝하여 형성되는 공통 콘택홀의 위치가, 반도체 기판으로부터 에피택시얼막이 성장되는 영역의 위치와 다르게 형성되는 것을 특징으로 한다. 이로써 공통 콘택홀을 형성할 때 반도체 기판 상의 식각 저지막을 이용할 수 있어, 반도체 기판의 손상 없이 공통 콘택홀을 정확하게 형성할 수 있다. 따라서 상기 방법으로 형성된 반도체 장치에서는 공통 콘택의 저항이 증가되거나 반도체 기판으로 누설전류가 증가하지 않는다. 적층 트랜지스터
Abstract:
1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야 본 발명은 실시간 서비스와 비실시간 서비스를 동시에 제공할 수 있는 동기화 이더넷에 관한 것으로, 특히 물리 계층에서의 데이터 처리 방법에 관한 것임. 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 본 발명은 동기화 프레임과 비동기화 프레임의 구분이 물리 계층에서 이루어지도록 하여 불필요한 오버헤드에 따른 전송 효율의 저하를 막고, 다양한 동기화 데이터에 대한 처리가 가능하도록 하는 동기화 이더넷에서의 데이터 구성 방법 및 그에 따른 데이터 처리 방법을 제공하는데 그 목적이 있음. 3. 발명의 해결 방법의 요지 본 발명은, 동기화 이더넷에서 각각의 이더넷 장치가 전송을 위한 데이터 프레임을 구성하는 방법에 있어서, 상기 각각의 이더넷 장치가, 상기 전송을 위한 데이터를 입력받아 동기화 여부를 확인하는 제 1 단계; 상기 입력된 데이터가 동기화 데이터인 경우, 프레임의 프리앰블에 동기화 프레임임을 표시하고, 상기 데이터를 MAC(Media Access Control) 헤더를 포함하지 않는 프레임의 데이터부에 포함시켜 동기화 프레임을 구성하는 제 2 단계; 및 상기 입력된 데이터가 비동기화 데이터인 경우, 프레임의 프리앰블에 비동기화 프레임임을 표시하고, 상기 데이터를 MAC 헤더를 포함하는 프레임의 데이터부에 포함시켜 비동기화 프레임을 구성하는 제 3 단계를 포함함. 4. 발명의 중요한 용도 본 발명은 동기화 이더넷 등에 이용됨. 동기화 이더넷, 물리 계층, MAC
Abstract:
1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야 본 발명은 동기화 이더넷에 관한 것으로, 특히 동기화 이더넷에서의 비동기 데이터의 전송 방법에 관한 것임. 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 본 발명은 동기화 이더넷(Synchronous Ethernet)에서 주어진 하나의 전송 사이클을 최대한 활용하기 위해 비동기 데이터를 분할하여 전송하도록 하는 동기화 이더넷에서의 비동기 데이터의 분할 전송 방법 및 그 방법에 사용되는 데이터 구조를 제공하는데 그 목적이 있음. 3. 발명의 해결 방법의 요지 본 발명은, 동기화 이더넷(Synchronous Ethernet)에서 비동기(Asynchronous) 데이터를 전송하는 방법에 있어서, 전송하고자하는 비동기 데이터의 크기(L2)와 비동기 프레임부의 비어있는 전송 공간의 크기(L1)를 비교하는 제 1 단계; 상기 비교 결과, 상기 비동기 데이터의 크기(L2)가 상기 비동기 프레임부의 비어있는 전송 공간의 크기(L1)보다 작거나 같은 경우, 상기 비동기 데이터를 해당 비동기 프레임부의 비어있는 전송 공간에 삽입하는 제 2 단계; 및 상기 비교 결과, 상기 비동기 데이터의 크기(L2)가 상기 비동기 프레임부의 비어있는 전송 공간의 크기(L1)보다 큰 경우, 상기 비동기 데이터를 비동기 프레임부의 비어있는 전송 공간의 크기(L1)에 맞게 분할하여 삽입하고 분할된 나머지 비동기 데이터는 다음 사이클에 삽입하여 전송하는 제 3 단계를 포함함. 4. 발명의 중요한 용도 본 발명은 동기화 이더넷 등에 이용됨. 동기화 이더넷, 분할 전송, More 플래그, 비동기 프레임
Abstract:
반도체 장치 내 적어도 하나의 금속 게이트 패턴의 형성방법들을 제공한다. 이 형성방법들은 반도체 제조공정의 영향으로부터 트랜지스터의 문턱전압의 변화를 최소화시킬 수 있는 방안을 제시해준다. 이를 위해서, 반도체 기판의 활성영역을 가로질러서 달리는 적어도 하나의 정렬 패턴 및 그 패턴의 측벽들을 덮는 스페이서들을 차례로 형성하는 것을 포함한다. 상기 정렬 패턴은 도전막 패턴 및 정렬 캐핑막 패턴을 차례로 적층해서 형성한다. 상기 정렬 패턴 및 스페이서들을 덮는 매립 층간절연막을 형성한다. 상기 도전막 패턴을 노출시키도록 매립 층간절연막, 정렬 패턴 및 스페이서들에 평탄화 공정을 수행해서 스페이서 패턴들을 형성한다. 상기 스페이서 패턴들은 매립 층간절연막 및 도전막 패턴 사이에 개재되도록 형성한다. 상기 스페이서 패턴들 및 매립 층간절연막을 마스크로 사용해서 도전막 패턴의 일부분에 디스포저불(Disposable) 금속 실리사이드 막을 형성한다. 상기 디스포저불 금속 실리사이드 막을 반도체 기판으로부터 제거한다. 상기 스페이서 패턴들 및 매립 층간절연막을 마스크로 사용해서 도전막 패턴의 나머지 부분에 구속된(Confined) 금속 실리사이드 막을 연이어 형성한다. 상기 스페이서 패턴들 및 매립 층간절연막을 식각 버퍼막으로 사용해서 구속된 금속 실리사이드 막에 식각 공정을 수행하여 금속 게이트 패턴을 형성한다. 트랜지스터, 문턱전압, 정렬패턴, 스페이서 패턴, 층간절연막, 금속 실리사이드 막.
Abstract:
코발트 샐리사이드막을 포함하는 반도체 장치의 제조방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 의한 반도체 장치의 제조방법은 게이트 라인에는 CVD 코발트 샐리사이드막을 형성하며, 소오스/드레인 영역에는 PVD 코발트 샐리사이드막을 형성한다. 그리고, CVD 코발트 샐리사이드막과 PVD 코발트 샐리사이드막을 형성하는 순서는 서로 바뀔 수 있다. 반도체, 코발트, 샐리사이드, 덩어리화, PVD 코발트, CVD 코발트
Abstract:
박막 제조 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법에 있어, 실리콘 기판 상에 제1 금속막을 형성한 후, 상기 제1 금속막 상에 제2 금속막을 형성한다. 이때, 상기 제1 금속막 중에서 상기 실리콘 기판의 표면에 면접하고 있는 제1 금속막은 상기 실리콘 기판과 반응하여 금속 실리사이드막으로 전환되고, 상기 제1 금속막 내에 함유된 불순물은 상기 제2 금속막으로 포집된다. 그리고, 상기 제2 금속막과 상기 금속 실리사이드막으로 전환되지 않은 제1 금속막을 제거하여 상기 실리콘 기판 상에 상기 금속 실리사이드막으로 이루어지는 오믹막을 형성한 후, 상기 오믹막을 포함하는 결과물 상에 금속 배선을 형성한다.
Abstract:
PURPOSE: A data transmission method and apparatus in a giga bit Ethernet PON(Passive Optical Network) are provided to ensure smooth data transmission by perceiving an abnormal data and cutting off the transmission of the abnormal data. CONSTITUTION: A physical layer(400), having a PCS(Physical Coding Sub-layer), a PMA(Physical Medium Attachment) layer and a PMD(Physical Medium Dependent) layer, includes a transmission control function block(310) for sensing data with an error transmitted from an upper layer and cutting it off. The transmission control function block(310) can be positioned at an arbitrary portion of the physical layer(400) when data is transmitted and received.