公开(公告)号：KR100620255B1

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：KR1020040021693

申请日：2004-03-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 신상훈 ,  이재찬 ,  박준식 ,  박효덕 ,  박광범 ,  신규식

IPC: G01N27/00

Abstract: 본 발명은 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 멤스 공정 기술을 이용한 초소형 화학 센서 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제조 방법은 실리콘 기판 상부에 형성된 실리콘 질화막 칸티레버; 상기 실리콘 질화막 칸티레버 상부에 형성된 실리콘 산화막; 상기 실리콘 산화막 상부에 소정의 크기로 형성된 하부 전극; 상기 하부 전극 상부에 압전 구동을 위해 형성된 압전 구동층; 상기 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동층 일부 영역 상부에 상하부 전극간 절연을 위해 형성된 절연층; 상기 절연층의 상부 및 상기 압전 구동층의 상부에 형성된 상부 전극 및 상기 상부 전극과 하부 전극에 소자의 구동을 위해 전계를 인가하기 위해 형성된 전극 라인으로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법은 외부로부터 극소량의 ppb 또는 ppt 수준의 산업 환경유해 물질의 농도에 신속하게 반응하여 공진주파수의 변화를 통해 즉시 감지가 가능하여 빠른 응답 속도와 높은 감도 낮은 전력 손실이 가능한 장점이 있고, 시스템의 소형화로 인한 휴대형화, 실리콘 반도체 가공기술로 대량생산에 따른 제조원가 절감 및 집적의 용이함, 다양한 감지 대상 물질을 감지할 수 있도록 어레이 형태로 제작이 가능하며, 생명공학, 의학 및 환경관련 분야에 활용이 가능한 효과가 있다.
멤스, 마이크로 칸티레버

公开(公告)号：KR100574781B1

公开(公告)日：2006-04-28

申请号：KR1020040111217

申请日：2004-12-23

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박준식 ,  신규식 ,  박효덕

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/05

Abstract: 본 발명은 용액 성분 분석을 위한 소자에 관한 것으로, 반응채널에서 분기된 압력 해제 채널과 압력 해제구를 형성함으로써, 반응이 느린 시료들을 측정채널에 가두워 놓고, 반응시킨 후 또는 장시간 시료가 반응되는 것을 측정할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 측정채널과 대응된 끝단으로부터 일정간격 이격된 영역의 폭이 나머지 영역의 폭보다 큰 광섬유 삽입홈을 형성함으로써, 광섬유를 광섬유 삽입홈에 본딩을 위한 에폭시는 모세관 현상에 의해 광섬유 삽입홈의 끝단에는 침투하지 않아 광섬유가 에폭시에 오염되지 않게되어 광특성이 좋아져, 측정 특성을 우수하게 할 수 있는 효과 있다.
미세 분석 소자, 혼합기, 반응기, 미세 채널

Abstract translation: 本发明涉及一种用于成分分析的溶液的装置，由形成所述压力释放通道和释压，得到在反应通道的分支，该反应左关战争测量较慢的采样信道，一个反应，或很长一段时间后的试样进行反应 有一个可以测量的效果。

公开(公告)号：KR1020060008496A

公开(公告)日：2006-01-27

申请号：KR1020040056783

申请日：2004-07-21

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박효덕 ,  박준식 ,  신규식

IPC: G01N27/14

CPC classification number: G01N27/16 ,  G01N27/31 ,  G01N27/333

Abstract: 본 발명은 미세 다공성 구조물을 갖는 가스센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 실리콘 기판과; 상기 실리콘 기판의 중앙 영역 상부에서 내부로 형성된 미세 다공성 실리콘 산화 구조물과; 상기 미세 다공성 실리콘 산화 구조물을 포함하여 실리콘 기판 전면 상부에 형성된 멤브레인(Membrane)막과; 상기 미세 다공성 실리콘 산화 구조물이 존재하는 영역의 멤브레인막 상부에 형성된 가열 전극 패턴과; 상기 가열 전극 패턴 양측의 멤브레인막 상부에 형성된 감지 전극 패턴과; 상기 감지 전극 패턴을 제외하고 가열 전극 패턴을 감싸며, 상기 멤브레인막 상부에 형성된 절연막과; 상기 가열 전극 패턴을 감싸는 절연막을 내장시키며, 상기 감지 전극 패턴을 감싸는 감지막으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 미세 다공성 실리콘 산화 구조물 상에 가스센서를 제조함으로써, 열 손실을 최소화할 수 있고, 외부 진동 및 충격과 가열부의 열에 의해 발생하는 열 응력에 의한 맴브레인의 파손을 최소화 할 수 있어 소자의 내구성을 높일 수 있는 효과가 있다.
다공, 가스센서, 멤브레인, 전기화학, 진공, 열, 손실

公开(公告)号：KR100508189B1

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：KR1020020065397

申请日：2002-10-25

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박효덕 ,  박준식

IPC: G01N27/407

Abstract: 본 발명은 마이크로 가스센서 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 하부기판과;
상기 하부기판의 상부에 형성되며, 상호 비접촉되어 배열된 감지전극 패턴 및 히터전극 패턴과; 개구가 형성되어 있고, 상기 개구에 의해 상기 감지전극 패턴 및 히터전극 패턴의 일부를 노출시키며 상기 하부기판의 상부에 본딩되는 상부기판과; 상기 개구에 충진되는 가스 감지물질로 구성함으로써, 가스 감지물질의 접착력을 우수히 하고, 감도를 증대시킬 수 있는 소자의 열특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
더불어, 구조가 간단하여 소자의 사이즈를 초소형으로 형성할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020050067894A

公开(公告)日：2005-07-05

申请号：KR1020030098927

申请日：2003-12-29

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박준식 ,  신규식 ,  박효덕

IPC: G01N21/01

CPC classification number: B01F5/0646 ,  B01F5/0647 ,  B01F13/0059 ,  B01L3/502707 ,  B01L2300/0654 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/1827 ,  G01N2201/08

Abstract: 본 발명은 용액 성분 분석을 위한 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 혼합채널, 반응채널과 측정채널을 연속적인 미세한 홈으로 하나의 기판에 형성시켜 용액 성분 분석을 위한 소자를 구현함으로써, 소형화시킬 수 있으며, 이동하여 신속히 시료를 분석할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 용액 성분 분석을 위한 소자의 측정채널과 광섬유 사이에 투명한 실리콘 산화막을 형성함으로써, 광섬유 삽입이 용이하게 되어 시료 분석을 위한 광학계 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020040095062A

公开(公告)日：2004-11-12

申请号：KR1020030028659

申请日：2003-05-06

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박준식 ,  박광범 ,  박효덕 ,  윤대원 ,  나경환 ,  이낙규 ,  강성군

IPC: H01L41/22

Abstract: PURPOSE: A sample, an apparatus, and a method for measuring a piezoelectric transverse coefficient of a PZT piezoelectric layer are provided to measure accurately the piezoelectric transverse coefficient and obtain comparative data about various piezoelectric materials by providing an improved structure of the sample. CONSTITUTION: A sample for measuring a piezoelectric transverse coefficient of a PZT piezoelectric layer includes a lower electrode deposited on a substrate, a piezoelectric layer having a lower electrode opening formed on the lower electrode, and an upper electrode(60) and a fixing part formed on the piezoelectric layer. The upper electrode is formed on the fixing part without using a connection part.

Abstract translation: 目的：提供用于测量PZT压电层的压电横向系数的样品，装置和方法，以通过提供改进的样品结构来精确地测量压电横向系数并获得关于各种压电材料的比较数据。 构成：用于测量PZT压电层的压电横向系数的样本包括沉积在基底上的下电极，形成在下电极上的具有下电极开口的压电层，以及形成的上电极（60）和固定部 在压电层上。 上部电极形成在固定部分上，而不使用连接部分。

公开(公告)号：KR1020040036387A

公开(公告)日：2004-04-30

申请号：KR1020020065396

申请日：2002-10-25

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박준식 ,  신규식 ,  박효덕

IPC: B01F13/00

Abstract: PURPOSE: A micro mixer is provided to inhibit flow of reagent and sample flow by comprising a structure to change laminar flow into turbulence flow in micro channel, to increase interface area between the reagent and the sample. CONSTITUTION: The micro mixer comprises a lower base(100); a first and a second inlets(110,120) spaced each other on the lower base(100); an auxiliary micro channel(130) formed on top portion of the lower base(100); a main micro channel(140) having grooves formed on top portion of the lower base(100) and a structure formed on surface of the groove; and an outlet(150) having grooves connected at the other side of the micro channel(140) formed on top portion of the micro channel(140).

Abstract translation: 目的：提供一种微型混合器，通过包括将层流转化为微通道中的湍流的结构来抑制试剂和样品流的流动，增加试剂与样品之间的界面面积。 构成：微型混合器包括下部基座（100）; 在下基座（100）上彼此间隔开的第一和第二入口（110,120）; 形成在下基座（100）的顶部上的辅助微通道（130）; 具有形成在所述下基座（100）的顶部上的槽和形成在所述槽的表面上的结构的主微通道（140） 以及在微通道（140）的另一侧连接有形成在微通道（140）的顶部上的凹槽的出口（150）。

公开(公告)号：KR100407377B1

公开(公告)日：2003-11-28

申请号：KR1020010066985

申请日：2001-10-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박준식 ,  박순섭 ,  정석원 ,  조진우

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C99/0085 ,  C04B2235/6022 ,  C04B2235/94 ,  C04B2235/95

Abstract: The present invention relates to a method of fabricating a micro device, comprising the steps of pressing an upper mold formed with a plurality of recesses for molding a plurality of rods and a lower mold formed with a seat recess for molding a plate supporting the plurality of rods against each other; injecting ceramic material mixed with a polymer into the mold; releasing a resultant ceramic molding mixed with the polymer from the molds; removing the polymer from the ceramic molding by burning out or melting away the polymer; sintering the ceramic molding; filling a polymer into spaces between the plurality of rods of the sintered ceramic molding so that the top surfaces of the plurality of rods are exposed to the outside; and removing the plate through a polishing process so that bottom surfaces of the plurality of rods are exposed to the outside.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造微型器件的方法，该方法包括以下步骤：对形成有多个用于模制多个杆的凹槽的上模进行压制;以及对形成有用于模制支撑多个 棒相互对立; 将与聚合物混合的陶瓷材料注入模具中; 从模具中释放与聚合物混合的所得陶瓷模制品; 通过燃烧或熔化聚合物从陶瓷模制品中除去聚合物; 烧结陶瓷成型体; 将聚合物填充到烧结陶瓷模制品的多个杆之间的空间中，使得多个杆的顶表面暴露于外部; 以及通过抛光工艺去除该板，使得该多个杆的底部表面暴露于外部。

公开(公告)号：KR1020030083929A

公开(公告)日：2003-11-01

申请号：KR1020020022331

申请日：2002-04-23

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박준식 ,  박효덕 ,  전성진 ,  이재찬

IPC: G02B26/08

Abstract: PURPOSE: A micro optical switch using a micro piezoelectric actuator is provided, which enables to obtain information as to driving range of a driving actuator with a sensing actuator, and control a mirror accurately with the above information, and perform a repetitive driving. CONSTITUTION: The micro optical switch comprises a supporting part(10), and a supporting plate(48) floated by being connected to the above supporting part. The first - fourth actuator(101,102,103,104) are formed on the supporting plate respectively, and includes a piezoelectric capacitor respectively. And a mirror(50) is formed on the upper part of the supporting plate, and has a movement displacement by driving at least a pair of actuators among the above four actuators.

Abstract translation: 目的：提供一种使用微型压电致动器的微型光学开关，其能够获得关于具有感测致动器的驱动致动器的驱动范围的信息，并且利用上述信息准确地控制镜子，并且执行重复驱动。 构成：微型光学开关包括支撑部分（10）和通过连接到上述支撑部分而浮动的支撑板（48）。 第一 - 第四致动器（101,102,103,104）分别形成在支撑板上，并且分别包括压电电容器。 并且在支撑板的上部形成有反射镜（50），并且通过在上述四个致动器中驱动至少一对致动器而具有移动位移。

公开(公告)号：KR1020020078037A

公开(公告)日：2002-10-18

申请号：KR1020010017874

申请日：2001-04-04

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박효덕 ,  박준식

IPC: G02B26/00

Abstract: PURPOSE: A 1 x N optical switch is provided to have a very simple structure by using a refraction of a light beam. CONSTITUTION: A 1 x N optical switch includes an input port for receiving an incident light beam(1), N number of output ports for outputting a transmitted light beam(3) and an optical refraction plate, placed between the input port and the output ports, for allowing an optical path of the transmitted light beam(3) to translate in parallel by refracting the incident light beam(1). The optical refraction plate includes a transparent plate(2), a pair of antireflection layers(8) attached both sides of the transparent plate(2) for preventing the incident light beam(1) from reflecting and a rotating axis(9) formed at the center portion of one of the antireflection layers(8). The optical refraction plate, located at an incident plane of the incident light beam(1), is capable of selecting an output port to output the transmitted light beam(3) among the N number of output ports by rotating with respect to a straight line passing through an incident point of the incident light beam(1).

Abstract translation: 目的：通过使用光束的折射，提供1 x N的光开关以具有非常简单的结构。 构成：1×N光开关包括用于接收入射光束（1）的输入端口，N个用于输出透射光束（3）的输出端口和放置在输入端口和输出端之间的光学折射板 端口，用于允许透射光束（3）的光路通过折射入射光束（1）平行平移。 光学折射板包括透明板（2），安装在透明板（2）的两侧的一对防反射层（8），用于防止入射光束（1）反射，以及旋转轴线（9）形成在 一个防反射层（8）的中心部分。 位于入射光束（1）的入射面的光折射板能够通过相对于直线旋转而选择输出端口以输出N个输出端口中的透射光束（3） 通过入射光束（1）的入射点。