ECR을 이용한 도전성 고분자수지의 제조방법
    92.
    发明授权
    ECR을 이용한 도전성 고분자수지의 제조방법 失效
    ECR提供了一种有效的方式来实现高性能的数据传输

    公开(公告)号:KR100415977B1

    公开(公告)日:2004-01-24

    申请号:KR1020010006233

    申请日:2001-02-08

    Abstract: PURPOSE: Provided is a method for producing a conductive high polymeric resin using ECR which can chemically vapor deposit a thin film three-dimensionally and easily control a physical property of the thin film according to the condition of vapor deposition. CONSTITUTION: The method comprises the steps of (i) forming an inert gas into high density plasma ion by ECR, (ii) accelerating the plasma ion and colliding the plasma on surface of the resin so as to infuse the plasma ion into the surface. The inert gas is argon and/or nitrogen gas. Alternatively, the method comprises the steps of (i) forming an inert gas into high density plasma ion by ECR, (ii) colliding a liquefied or gaseous organic metal precursor to form an ion of corresponding organic metal; and (iii) vapor depositing the ion on surface of the resin.

    Abstract translation: 目的:提供一种使用ECR制造导电高分子树脂的方法,其能够根据蒸镀条件以三维方式化学气相沉积薄膜并容易地控制薄膜的物理性质。 构成:该方法包括以下步骤:(i)通过ECR将惰性气体形成高密度等离子体离子,(ii)加速等离子体离子并使等离子体在树脂表面上碰撞,以便将等离子体离子注入到表面中。 惰性气体是氩气和/或氮气。 或者,该方法包括以下步骤:(i)通过ECR将惰性气体形成高密度等离子体离子,(ii)使液化或气态有机金属前体碰撞以形成相应有机金属的离子; 和(iii)将气相沉积在树脂表面上。

    상온 화학 증착 시스템 및 이를 이용한 복합 금속막 제조 방법
    93.
    发明授权
    상온 화학 증착 시스템 및 이를 이용한 복합 금속막 제조 방법 失效
    상온화학증착시스템및이를이용한복합금속막제조방

    公开(公告)号:KR100399019B1

    公开(公告)日:2003-09-19

    申请号:KR1020010021711

    申请日:2001-04-23

    Abstract: A system for chemical vapor deposition at ambient temperature using electron cyclotron resonance (ECR) comprising: an ECR system; a sputtering system for providing the ECR system with metal ion; an organic material supply system for providing organic material of gas or liquid phase; and a DC bias system for inducing the metal ion and the radical ion on a substrate is provided, and a method for fabricating metal composite film comprising: a step of providing a process chamber with the gas as plasma form using the ECR; a step of providing the chamber with the metal ion and the organic material; a step of generating organic material ion and radical ion by reacting the metal ion and the organic material with the plasma; and a step of chemically compounding the organic material ion and the radical ion after inducing them on a surface of a specimen is also provided.

    Abstract translation: 一种使用电子回旋共振(ECR)在环境温度下化学气相沉积的系统,包括:ECR系统; 用于为ECR系统提供金属离子的溅射系统; 用于提供气相或液相的有机材料的有机材料供应系统; 以及用于在基板上诱导金属离子和自由基离子的DC偏压系统以及用于制造金属复合膜的方法,包括:使用ECR向处理室提供等离子体形式的气体的步骤; 向腔室提供金属离子和有机材料的步骤; 通过使金属离子和有机材料与等离子体反应产生有机材料离子和自由基离子的步骤; 还提供了在有机材料离子和自由基离子在样品表面上诱导后化学混合的步骤。

    리튬 이차 전지용 금속산화물 전극 재료 분말의 표면 개질방법, 이 방법으로 제조된 표면 개질 분말
    94.
    发明授权
    리튬 이차 전지용 금속산화물 전극 재료 분말의 표면 개질방법, 이 방법으로 제조된 표면 개질 분말 失效
    리튬이차전지용금속산화물전극재료분말의표면개질방법,이방법으로제조된표면개질분말

    公开(公告)号:KR100374010B1

    公开(公告)日:2003-02-26

    申请号:KR1020000040021

    申请日:2000-07-12

    Abstract: 본 발명은, 진공오븐에서 전처리한 전극용 금속산화물 입자를 유동층 화학증착 반응기에 장입하는 단계, 비활성 가스를 상기 반응기에 공급하여 상기 입자를 유동화시키는 단계, 및 상기 입자에 유기금속전구체를 전구체 동반가스에 의해 상기 반응기내로 공급하거나 또는 유기 금속이 용해된 용액을 분사시켜, 열분해 및 화학증착반응에 의해 상기 입자위에 금속 또는 금속산화물을 1∼300 nm 두께로 코팅하는 단계를 포함하는 금속산화물 전극재료 분말의 표면 개질 방법이 제공된다. 본 발명에 의해 전극의 전도성이 향상되어 고율충방전특성, 싸이클특성 및 전극용량의 증가가 있던 것에 더하여 전극의 성형성이 우수하였으며, 전류 집전체와의 결합력이 우수하였고 또한 전극 활물질간의 결합력이 우수한, 리튬이차전지의 양극용 금속산화물을 얻을 수 있다. 또한 본 발명은 각종 소형 전자기기, 통신기기 및 전기자동차의 전원용등 다양한 산업분야에 응용할 수 있는 고성능 리튬전지용 전극의 제조방법을 제공할 수 있으므로, 각종 기기의 국산화, 수입대체 및 수출증대 효과를 가질 수 있다.

    Abstract translation: 目的:提供一种改性用于锂二次电池的阳极的金属氧化物电极材料粉末的表面的方法和通过该方法制备的表面改性的电极材料粉末,以提高电极的导电性和可成形性。 构成:该方法包括以下步骤:将用于在真空烘箱中预处理的电极的金属氧化物颗粒加载到流化床化学气化反应器中; 向反应器中供应惰性气体以流化颗粒; 并通过使用伴随气体将有机金属前体提供给颗粒,或者将有机金属化合物溶解的溶液喷射到颗粒中,通过热解和化学汽化涂覆颗粒,由此形成厚度为1μm的金属或金属氧化物涂层, 300纳米。 优选涂覆的金属或金属氧化物选自Li,Al,Sn,Bi,Si,Sb,Ni,Cu,Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ag,Zr,Mo,Au, Ru,Pd,In,Pt,Ir,它们的合金以及它们的金属氧化物。

    화학 증착 시스템에서 배출되는 미반응 유독가스의 정화 장치및 방법
    95.
    发明公开
    화학 증착 시스템에서 배출되는 미반응 유독가스의 정화 장치및 방법 失效
    用于纯化从化学气相沉积系统排放的未反应有毒气体的设备和方法

    公开(公告)号:KR1019990065376A

    公开(公告)日:1999-08-05

    申请号:KR1019980000641

    申请日:1998-01-13

    Abstract: 화학 증착 시스템에서 배출되는 미반응 유독가스의 정화 장치에 있어서, 유기 화합물의 연소를 위한 니크롬선이 내장된 열분해 시스템과, 용해성 가스를 제거할 수 있는 향류 접촉식 물세척 시스템으로 이루어지며, 상기 열분해 시스템과 상기 물세척 시스템은 상호 연결되어 있는, 소형 화학 증착 시스템의 배기가스 처리에 적합한 다단식 배기가스 정화 장치, 및 이러한 장치를 사용한 배기가스 정화 방법이 개시되어 있다. 본 발명에 따라 특별한 구동 장치 없이도 복합 성분으로 이루어진 유기 화합물을 고효율로 처리하는 것이 가능하며, 열분해 시스템의 구성이 극히 간단하여 스위치의 개폐에 의해서도 장치의 작동이 가능하고, 장치가 소형이고 간단하므로 유지비가 저렴하다.

    유류 오염 토양 복원을 위한 가열관이 내삽된 간접 가열식 유동상 장치
    96.
    发明授权
    유류 오염 토양 복원을 위한 가열관이 내삽된 간접 가열식 유동상 장치 失效
    用于修复石油污染土壤的间接热管的间接加热流化床装置

    公开(公告)号:KR100195687B1

    公开(公告)日:1999-06-15

    申请号:KR1019970008670

    申请日:1997-03-14

    Abstract: 유류 오염 토양 복원용 가열식 장치에 있어서, (1) 유류 오염 토양의 유류를 탈착시키기 위한 유동상 열탈착 시스템, (2) 상기 유동상 열탈착 시스템에서 탈착된 유류분을 연소시키기 위한 산화 촉매가 장착된 저온 열파괴 시스템, (3) 상기 유동상 열탈착 시스템과 상기 저온 열파괴 시스템 사이에 위치하여 이들 시스템 (1, 2)와 함께 다단식 구조를 형성하며, 상기 열파괴 시스템내에서 발생된 상기 탈착된 유류분의 연소열을 상기 유동상 열탈착 시스템의 열원으로 제공하기 위한 가열관 시스템, 및 (4) 상기 시스템들 (1, 2, 3) 내외의 기체들이 서로 유기적으로 순환되도록 하기 위한 순환 시스템으로 이루어지는, 유류 오염 토양 복원을 위한 가열관이 내삽된 간접 가열식 유동상 장치 및 이 장치를 사용하여 유류로 오염된 토양을 복원하는 방법이 개시되어 있다.
    본 발명에 따른 간접 가열식 유동상 장치를 사용함으로써 에너지 이용을 극대화시켜 유류로 오염된 토양을 고효율로 복원시킬 수 있다.

    다단 기체-고체 접촉장치
    97.
    发明授权
    다단 기체-고체 접촉장치 失效
    多气固体接触装置

    公开(公告)号:KR100162870B1

    公开(公告)日:1998-11-16

    申请号:KR1019950035388

    申请日:1995-10-13

    Abstract: 본 발명은 기체-고체 접촉장치에 관한 것이다. 종래에도 다양한 종류의 기체-고체 접촉장치가 안출되어 있으나, 이들은 기체-고체 접촉효율이 저하되거나 압력강하가 발생되고, 고체입자의 제류량분포의 제어가 어렵고, 고체입자의 크기 및 입자강도의 범위에 한계가 있었다. 본 발명은 수직으로 설치되는 통형의 접촉장치 본체에 상부로부터 고체입자를 투입하여 낙하시키면서 기체를 하부측에서 상부로 상향 유동시킴과 아울러 본체 내부에는 다단의 제어밸브를 설치하여 이 제어밸브의 상, 하부측 압력을 측정하여 그 차압에 따라 제어밸브의 개폐정도를 제어함으로써 기체-고체의 접촉효율이 향상되고 압력의 강하가 배제되며 고체입자의 크기와 입자강도의 범위에 한계가 없게 되며 고체입자의 체류량을 최적한 상태로 제어할 수 있도록 한 것이다.

    유류 오염 토양 복원을 위한 가열관이 내삽된 간접 가열식 유동상 장치
    98.
    发明公开
    유류 오염 토양 복원을 위한 가열관이 내삽된 간접 가열식 유동상 장치 失效
    间接加热式流化床设备,内置加热管,用于石油污染的土壤回收

    公开(公告)号:KR1019980073418A

    公开(公告)日:1998-11-05

    申请号:KR1019970008670

    申请日:1997-03-14

    Abstract: 유류 오염 토양 복원용 가열식 장치에 있어서, (1) 유류 오염 토양의 유류를 탈착시키기 위한 유동상 열탈착 시스템, (2) 상기 유동상 열탈착 시스템에서 탈착된 유류분을 연소시키기 위한 산화 촉매가 장착된 저온 열파괴 시스템, (3) 상기 유동상 열탈착 시스템과 상기 저온 열파괴 시스템 사이에 위치하여 이들 시스템 (1, 2)와 함께 다단식 구조를 형성하며, 상기 열파괴 시스템내에서 발생된 상기 탈착된 유류분의 연소열을 상기 유동상 열탈착 시스템의 열원으로 제공하기 위한 가열관 시스템, 및 (4) 상기 시스템들 (1, 2, 3) 내외의 기체들이 서로 유기적으로 순환되도록 하기 위한 순환 시스템으로 이루어지는, 유류 오염 토양 복원을 위한 가열관이 내삽된 간접 가열식 유동상 장치 및 이 장치를 사용하여 유류로 오염된 토양을 복원하는 방법이 개시되어 있다.
    본 발명에 따른 간접 가열식 유동상 장치를 사용함으로써 에너지 이용을 극대화시켜 유류로 오염된 토양을 고효율로 복원시킬 수 있다.

    질화규소막(Si_3N_4) 또는 산화규소막(SiO_2)으로 코팅된 고온용 흑연 실험 용기 및 그의 제작 방법
    99.
    发明公开
    질화규소막(Si_3N_4) 또는 산화규소막(SiO_2)으로 코팅된 고온용 흑연 실험 용기 및 그의 제작 방법 失效
    用氮化硅膜(Si_3N_4)或氧化硅膜(SiO_2)涂覆的高温石墨的实验容器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1019960003811A

    公开(公告)日:1996-02-23

    申请号:KR1019940017484

    申请日:1994-07-20

    Abstract: 본 발명은 흑연을 재질로 사용하고 그에 질화규소막 또는 산화규소막을 코팅한 흑연 실험 용기에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 a) 시판되는 흑연을 기계가공하여 원하는 모양으로 성형하는 단계, b) 성형된 흑연을 화학증착 반응기에서 먼저 규소막으로 증착시킨 후 열처리하여 반응물 확산 방지막을 형성함으로써 코팅시키는 단계, 및 c) 코팅 작업이 완결되면 기체 분위기를 막의 종류에 따라 질소 혹은 산소로 맞추고 약 1시간 동안 600-900℃에서 열처리하여 존재할 수 있는 핀 홀(pin hole)을 제거하는 단계로 이루어진 흑연 실험 용기의 제작 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의해 제작된 흑연 실험 용기는 급속 가열용 복사식 가열로를 사용하는 경우에 급속 가열의 효과를 최대한 살리기 위한 복사열 흡수능이 뛰어나며, 질화규소막이나 산화규소막을 화학증착범으로 코팅시켜 용기의 화학적 안정성을 높인 것으로, 그 성능면에 있어서나 가격면에 있어서 종래의 백금 용기 등과 비교하여 월등히 개선된 것이다.

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