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公开(公告)号：KR100834415B1
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：KR1020060033214
申请日：2006-04-12
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H04N3/08 , H04N5/7458 , H04N9/3152
Abstract: 본 발명은 마이크로미러 또는 화상표시소자를 이용한 디스플레이 장치에서 화소 구분이나 블랙매트릭스 등의 사용에 의해 발생하는 어두운 영역을 제거하고, 빛의 이용 효율을 높여 고품질의 영상을 표시할 뿐만 아니라 소비전력을 개선시키기 위한 것으로, 일 실시예로, 광원과, 광원으로부터 입사되는 입사광을 반사시키도록 복수 개의 마이크로미러들이 배열된 마이크로미러 어레이, 및 광원과 마이크로미러 어레이 사이에 복수 개의 마이크로렌즈들이 배열되어 광원으로부터 입사되는 입사광을 하나의 마이크로미러로 집속시키고, 마이크로미러 어레이로부터 반사되는 반사광을 평행광으로 출사시켜 상기 반사광의 진행경로를 보정하는 마이크로렌즈 어레이를 포함한 디스플레이 장치를 제공한다.
마이크로렌즈, 마이크로미러, 디스플레이 장치-
公开(公告)号：KR1020080013168A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：KR1020060074304
申请日：2006-08-07
Applicant: 삼성디스플레이 주식회사 , 한국과학기술원
IPC: G02F1/1335 , G02F1/1339
CPC classification number: B29D11/00365 , G02B5/201 , G02B26/02 , G09F9/372
Abstract: A display device and a manufacturing method thereof are provided to display images by adjusting light transmittance according as a micro shutter electrode is opened by electrostatic force, and remove the necessity for forming a special spacer by performing a function of the spacer by using a fixed electrode. A display device comprises an upper substrate(210), a black matrix(220), a color filter(230), a lower substrate(110), a micro shutter electrode(190) and a fixed electrode(270). The black matrix is formed in the upper substrate. The color filter is formed between the black matrixes. The micro shutter electrode is formed on the lower substrate, and has a re-closable structure. The fixed electrode is vertically formed.
Abstract translation: 提供一种显示装置及其制造方法，通过利用静电力打开微型快门电极，通过调整透光率来显示图像，并且通过使用固定电极来执行间隔物的功能而消除形成特殊间隔物的必要性 。 显示装置包括上基板（210），黑矩阵（220），滤色器（230），下基板（110），微快门电极（190）和固定电极（270）。 黑色矩阵形成在上基板中。 滤色器形成在黑色矩阵之间。 微型快门电极形成在下基板上，并且具有可重新闭合的结构。 固定电极是垂直形成的。
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公开(公告)号：KR100797778B1
公开(公告)日：2008-01-24
申请号：KR1020060073854
申请日：2006-08-04
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02B3/00
CPC classification number: G02B3/0056 , G02B5/0263 , G02B5/0866 , G02B5/201 , G02B5/305 , G02B6/4204
Abstract: A method for forming polymer patterns, a metal stamper, and a micro lens array is provided to form the micro lens array having a section shaped like a secondary parabola and various aspect ratios. A method for forming polymer patterns, a metal stamper, and a micro lens array comprises steps for irradiating the light progressing in a predetermined direction, to a positive-type photoresist polymer film; removing a mask(120) and irradiating the light progressing in parallel, to the positive-type photoresist polymer film; forming the polymer pattern by developing the positive-type photoresist polymer film; forming a metal mold on the polymer pattern; separating the metal mold and the polymer pattern; and forming metal materials on the separated metal mold.
Abstract translation: 提供形成聚合物图案的方法，金属压模和微透镜阵列以形成具有类似次级抛物线的截面和各种纵横比的微透镜阵列。 用于形成聚合物图案的方法，金属压模和微透镜阵列包括将预定方向前进的光照射到正型光致抗蚀剂聚合物膜的步骤; 去除掩模（120）并将平行进行的光照射到正型光致抗蚀剂聚合物膜; 通过显影正型光致抗蚀剂聚合物膜形成聚合物图案; 在聚合物图案上形成金属模具; 分离金属模和聚合物图案; 并在分离的金属模具上形成金属材料。
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公开(公告)号：KR1020060100174A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020050021895
申请日：2005-03-16
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L31/0224
CPC classification number: H01L31/0445 , H01L31/022441 , H01L31/022466 , H01L31/02366 , H01L31/18 , H01L31/1884
Abstract: 본 발명은 박막 태양전지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조 공정시 발생되는 태양전지의 손실을 최소화하고 저가의 공정으로도 가능한 박막 태양전지 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 제조 방법은 (a) 투명기판 상에 인접하고 있는 상호간 소정의 간격으로 이격되도록 패터닝된 투명전극을 형성하는 단계; (b) 투명전극 위에 태양전지(반도체)층을 형성하는 단계; (c) 태양전지(반도체)층 위에 금속을 비스듬히 증착하여 1차 금속이면전극을 형성하는 단계; (d) 1차 금속이면전극을 마스크로 사용하여 태양전지(반도체)층을 식각하는 단계; 및 (e) 1차 금속이면전극 및 태양전지(반도체)층이 식각된 부분 위에 금속을 비스듬히 증착하여 투명전극과 연결되도록 2차 금속이면전극을 형성하는 단계;를 포함하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 따르면 태양전지의 단위 소자간 절연 간격을 기존의 레이저 스크라이빙 및 플라즈마 화학 기상 가공법에 비해 수십배 이상 줄일 수 있어 유효 면적을 극대화할 수 있으며, 이에 따라 태양전지 모듈의 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
박막 태양전지, 모듈화, 열증발, 투명전극, 인쇄법, 경사면, 식각-
公开(公告)号：KR1020060100108A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020050021771
申请日：2005-03-16
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/0445 , H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 본 발명은 집적형 박막 태양전지의 단위셀간 절연 간격을 최소화하여 유효면적을 넓히고 제조단가를 절감할 수 있는 집적형 박막 태양전지용 투명전극의 가공 방법과 그 구조, 및 그 투명전극이 형성된 투명기판에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명에 따른 투명전극의 가공 방법은, 집적형 박막 태양전지 단위셀의 투명전극을 가공하는 방법에 있어서, (a) 기판 상에 박막으로 투명전극층을 형성하는 단계; (b) 투명전극층 위에 인쇄법을 이용하여 일정 거리 이격되게 포토레지스터(photoresister; PR) 또는 폴리머 띠를 도포하여 패턴을 이루는 단계; (c) 도포된 포토레지스터 또는 폴리머 패턴을 마스크로 사용하여 상기 투명전극을 에칭하는 단계; 및 (d) 포토레지스터 또는 폴리머를 제거하는 단계;를 포함한다.
따라서, 상술한 바에 의하면 집적형 박막 태양전지 단위셀간 간격을 최소화함으로써 기존보다 태양전지의 유효면적을 넓히고, 이에 따라 태양전지의 유효면적 손실을 최소화할 뿐만 아니라 고효율을 실현하는 효과가 있다. 나아가, 투명전극의 가공시 레이저나 정밀위치제어시스템 등의 고가 장비를 사용하지 않고 인쇄법 또는 사진식각법을 이용하여 에칭하기 때문에 제조 단가를 절감할 수 있으며, 고밀도 패턴이 가능한 효과가 있다.
집적형 박막 태양전지, 투명전극, 투명기판, 인쇄법, 폴리머, 마스크-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100621827B1
公开(公告)日：2006-09-11
申请号：KR1020050072475
申请日：2005-08-08
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 비휘발성 미케니컬 메모리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 메모리에 전압을 인가하면 정전 구동(electrostatic actuation) 방식에 의해 이동전극이 이동하면서 캐패시터에 전하가 저장되거나 방출되는 원리를 응용한 비휘발성 미케니컬 메모리에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 종래의 휘발성 메모리인 DRAM과 비슷한 간단한 구조를 가지면서도, 누설전류가 발생하지 않아서 리프레시가 필요없는 비휘발성 플래시 메모리를 제작할 수 있는 효과가 있다.
비휘발성 메모리, 플래시 메모리, 미케니컬 메모리, 반도체 트랜지스터, MEMS 스위치Abstract translation: 本发明是非易失性的机械涉及的存储器，并且更具体地，当电压被施加的原则，即当电荷由静电驱动器存储或排出到电容器移动电极移动施加到存储器比（静电致动）方法 易挥发的机械记忆。
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公开(公告)号：KR1020050079037A
公开(公告)日：2005-08-09
申请号：KR1020040007126
申请日：2004-02-04
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y40/00 , G03F7/0017
Abstract: 본 발명은 리소그래피 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마이크로미터에서 나노미터 수준의 패턴까지 형성할 수 있는 나노 트랜스퍼 몰드 또는 마스터 기판을 이용하여 패턴을 전이하는 리소그래피 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 리소그래피 방법은, (a) 나노미터 수준의 패턴이 형성되어 있는 나노 몰드 위에 마스크층을 스핀 코팅하여 마스크층의 표면을 균일하게 하는 단계; (b) 상기 (a)단계를 통해 마스크층이 균일하게 도포된 나노 몰드를 박막이 증착되어 있는 기판 위에 붙이는 단계; (c) 상기 나노 몰드를 제거하고 상기 기판 위의 박막이 나타날 때까지 마스크층을 식각하는 단계; 및 (d) 상기 (c)단계를 통해 식각되지 않은 마스크층 패턴을 마스크로 하여 박막을 식각하고 상기 마스크층패턴을 제거하는 단계;를 포함하여 이루어진다.-
公开(公告)号：KR1020030091479A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：KR1020020029546
申请日：2002-05-28
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: PURPOSE: A micro mirror driver is provided to raise a micro mirror up to the desired height and to reduce an area of its structure. CONSTITUTION: An insulator layer is formed on a substrate(10), and two bottom pillars(110,120) are formed on the insulator layer separately each other. The first twisted bar(200) is formed to be laid over each top plane of the bottom pillars. The second twisted bar(300) is formed to be orthogonal with the first twisted bar. Four electrodes(410,420,430,440) are formed on the insulator layer to be located in the inside of an area formed by the crossing of the first and the second twisted bar. Two top pillars(510,520) are formed on a top plane of the second twisted bar so that each top plane of the top pillars is located higher than the top planes of the electrodes. And a micro mirror(600) is fixed and supported by the above top pillars.
Abstract translation: 目的：提供微镜驱动器以将微镜升高到所需的高度并减小其结构的面积。 构成：在基板（10）上形成绝缘体层，并且在绝缘体层上彼此分开形成两个底部柱（110,120）。 第一扭杆（200）被形成为放置在底柱的每个顶平面上。 第二扭杆（300）形成为与第一扭转杆成正交。 四个电极（410,420,430,440）形成在绝缘体层上，以位于通过第一和第二扭杆的交叉形成的区域的内部。 两个顶部柱（510,520）形成在第二扭转杆的顶部平面上，使得顶部柱的每个顶部平面位于比电极的顶部平面高的位置。 并且微反射镜（600）固定并由上述顶部支柱支撑。
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公开(公告)号：KR100398310B1
公开(公告)日：2003-09-19
申请号：KR1020010056449
申请日：2001-09-13
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0051 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , Y10S359/904
Abstract: Disclosed are a micromirror device made in a simple structure using interdigitated cantilevers and having two stable rotational states, and applications thereof. The micromirror device comprises: (a) a substrate; (b) at least two protruded support posts arranged protrudedly in two columns of left and right sides on the substrate and apart by a predetermined interval from each other; (c) multiple cantilevers formed in parallel with the substrate, each having one end attached at the upper end portion of the respective protruded support posts and made in a thin strip having an elastic restoring force, wherein the cantilevers adjacent to each other are arranged to be parallel and interdigitated; (d) mirror support posts coupled to upper portions of the other ends of the cantilevers; (e) a mirror attached on upper portions of the whole mirror support posts and supported by the mirror support posts; and (f) two electrodes formed at left and right sides on the substrate, for providing an electrostatic force to the mirror, wherein the micromirror device reflects light incident into the mirror in different directions from each other by using an electrostatic force due to a voltage applied between the electrodes and the mirror, and the elastic restoring force of the cantilevers. The micromirror device can drive the mirror in two directions and adjust a rotational angle of the mirror using the electrostatic force due to a potential difference between the electrodes and the mirror for reflecting incident light, and the elastic restoring force of the cantilevers.
Abstract translation: 公开了一种使用交叉指型悬臂并且具有两个稳定的旋转状态的简单结构制造的微镜装置及其应用。 微镜装置包括：（a）基板; （b）至少两个突出的支柱，所述支柱突出地设置在所述基板上的左右两列中，并彼此隔开预定间隔; （c）与衬底平行形成的多个悬臂，每个悬臂的一端连接在各个突出的支柱的上端部分，并制成具有弹性恢复力的薄条，其中彼此相邻的悬臂设置成 平行交叉; （d）与悬臂另一端的上部连接的反射镜支柱; （e）安装在整个镜支撑柱的上部并由镜支撑柱支撑的镜子; 和（f）在基板的左右两侧形成的两个电极，用于向反射镜提供静电力，其中，微反射镜装置通过利用由于电压产生的静电力将入射到反射镜中的光以彼此不同的方向反射 施加在电极和镜子之间，以及悬臂的弹性恢复力。 微反射镜装置可以在两个方向上驱动反射镜，并且利用由于电极和用于反射入射光的反射镜之间的电势差以及悬臂的弹性恢复力所引起的静电力来调整反射镜的旋转角度。 ＆lt;图像＆GT;
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公开(公告)号：KR1020030008432A
公开(公告)日：2003-01-29
申请号：KR1020010043075
申请日：2001-07-18
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H02N1/00
Abstract: PURPOSE: An electrostatic actuator is provided to increase the electrostatic attraction by reducing a distance between deserted charges by positioning an auxiliary electrode of a plurality of layers between a main electrode and an actuation body, thereby keeping equal or larger actuation range with a lower driving voltage. CONSTITUTION: An electrostatic actuator includes an insulating substrate(110), a main electrode(120) mounted to a predetermined portion on a surface of the substrate to be applied with a positive or negative electric charge from the outside, an auxiliary actuation part(130) mounted on the substrate and having an auxiliary electrode(131) of which a bottom surface faces a top surface of the main electrode, so that a predetermined area of the auxiliary electrode moves toward the main electrode by electrostatic attraction between the main electrode and the auxiliary electrode as an electric charge of different polarity from the charge applied to the main electrode is applied to the auxiliary electrode, and a main actuation part(140) formed of a conductive material to be mounted on the substrate and having an actuation body(141) of which a bottom surface faces a top surface of the auxiliary electrode, so that a predetermined area of the actuation body moves toward the auxiliary electrode by electrostatic attraction between the main electrode and the auxiliary electrode as an electric charge of different polarity from the charge applied to the auxiliary electrode is applied to the actuation body from the outside.
Abstract translation: 目的：提供静电致动器以通过在主电极和致动体之间定位多层辅助电极来减小废弃电荷之间的距离来增加静电吸引力，由此在较低的驱动电压下保持相等或更大的驱动范围 。 构造：静电致动器包括绝缘基板（110），安装到基板表面上的预定部分以从外部施加正或负电荷的主电极（120），辅助致动部分（130） ），其具有底面与主电极的顶面相对的辅助电极（131），使得辅助电极的规定区域通过主电极和主电极之间的静电吸引向主电极移动 作为与施加到主电极的电荷不同极性的电荷的辅助电极被施加到辅助电极，以及主导电部件（140），其由导电材料形成以安装在基板上并具有致动体（141） ），其底表面面向辅助电极的顶表面，使得致动体的预定区域朝向辅助电极移动 主电极和辅助电极之间的静电引力作为与施加到辅助电极的电荷不同极性的电荷从外部施加到致动体。
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