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公开(公告)号：KR101336259B1
公开(公告)日：2013-12-06
申请号：KR1020120105120
申请日：2012-09-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01M10/0585 , H01M10/0562 , H01M10/04
Abstract: 플라스틱 전지소자 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 전지소자가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플라스틱 전지소자 제조방법은 희생기판 상에 전지층을제조하는 단계; 상기 희생기판을 제거하는 단계; 및 전사층을 이용, 상기 전지층을 플라스틱 기판으로 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
92.发明授权
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公开(公告)号：KR101328006B1
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020130071321
申请日：2013-06-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 유연성 질화갈륨 발광다이오드 소자 제조방법 및 이에 따라 제조된 유연성 질화갈륨 발광다이오드 소자가 제공된다.
본 발명에 따른 유연성 질화갈륨 발광다이오드 소자 제조방법은 희생기판 상에 질화갈륨 발광다이오드 소자를 제조하는 단계; 상기 희생기판으로부터 상기 질화갈륨 발광다이오드 소자를 화학적으로 분리하는 단계를 포함하며, 여기에서 상기 화학적 분리는 상기 희생기판과 질화갈륨 발광다이오드 소자 사이의 희생층을 화학적으로 제거하는 방식으로 진행되는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 유연성의 GaN LED 소자는 구 형태의 두개골이나 두개골 뼈 바로 아래에 위치하는 주름진 대뇌피질(인지, 사고, 언어, 기억 등의 역할, 특히 파킨슨 병은 표면에 위치하는 신경세포에 의한 증상) 등과 같이 구불구불한 표면의 인체 내에 이식가능하다. 또한 복수 개로 구성되며, 각각이 독립적으로 온/오프되는 LED 어레이를 통해 여러 부위에 신경세포의 빛 온-오프 자극이 가능하므로 신경 회로의 규명이 용이해진다.-
公开(公告)号：KR101290003B1
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：KR1020110088045
申请日：2011-08-31
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/8247 , H01L27/115 , H01L21/8242
Abstract: 플렉서블 메모리 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 메모리 소자가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 방법은 플렉서블 기판에 고성능 다결정 또는 단결정 실리콘 스위칭 소자를 제조하는 단계; 및 상기 제조된 스위칭 소자를 포함하는 메모리 소자를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따르면, 고성능 실리콘 소자를 스위칭으로 활용하여, 플렉서블한 형태의 다양한 메모리 소자를 제조할 수 있다. 특히 본 발명에 따르면 하나의 스위칭 소자와 하나의 메모리 구조를 통하여 메모리 어레이를 플렉서블 기판 상에 구현시킬 수 있으며, 더 나아가 RRAM, PRAM, DRAM,의 경우, 고성능 플렉서블 실리콘 트랜지스터가 비정형 TiO
2 (α-TiO
2 ) 기반 쌍극자 저항 메모리, GST 상변화 메모리, ZrO
2 캐패시터 메모리 요소등과 집적되어, 메모리의 논리 상태를 제어할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101262476B1
公开(公告)日：2013-05-09
申请号：KR1020100131806
申请日：2010-12-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/327 , G01N27/403
Abstract: 플라스틱바이오센서및 그제조방법이제공된다. 본발명에따른플라스틱바이오센서는소정깊이의홈이구비되며, 상기홈의양 측면에각각금속라인이연결된플라스틱기판; 상기홈 내부로안착되며, 소스, 드레인전극및 상기소스및 드레인전극사이에노출된실리콘기판을포함하는바이오센서단위소자; 및상기바이오센서의상부에구비되며, 상기단위소자의실리콘기판및 플라스틱기판을지나며, 하부의실리콘기판및 플라스틱기판과수직으로유체연통하는미세채널이구비된상부기판을포함하는것을특징으로하며, 본발명에따른바이오센서는플렉서블한플라스틱기판상에구현되므로, 종래의실리콘기판상에구현된바이오센서가가지는기판의한계를효과적으로극복할수 있다. 또한, 본발명에따른바이오센서소자는고성능마이크로구조반도체를이용하여플라스틱기판에서바이오물질을검출하기때문에, 기존바이오센서보다우수한감응도를갖는다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101260606B1
公开(公告)日：2013-05-03
申请号：KR1020110062484
申请日：2011-06-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: C01B31/02 , B01J19/08 , C23C16/26 , H01L21/331
Abstract: 플래쉬램프를이용한그래핀제조방법, 제조장치및 이를이용하여제조된그래핀이제공된다. 본발명에따른그래핀그래핀이성장되어야하는기판이내부에구비되는챔버; 상기기판의일 측면으로반응가스가유입되는유입부; 상기챔버에진공을인가하는위한진공부; 및상기챔버상단에구비되어, 상기기판에빛을조사하기위한플래쉬램프를포함하며여기에서상기기판은롤투롤(roll to roll) 이송수단에의하여이동되는것을특징으로하며, 본발명에따른그래핀제조방법및 장치는대면적으로조사되는플래쉬램프의열을이용, 그래핀성장가스를반응시켜기판상에그래핀을성장시킨다. 또한롤투롤방식으로플렉서블기판을이송시켜, 그래핀을성장시키고, 또한반응가스만을달리구성하여, 그래핀의변형없이도그래핀반도체소자를대량으로제조할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020130008224A
公开(公告)日：2013-01-22
申请号：KR1020110068830
申请日：2011-07-12
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L33/12
CPC classification number: H01L33/0079 , A61N5/0622 , G01N33/4836 , H01L33/32 , H01L33/36
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a GaN LED device and a GaN LED device manufactured by the same are provided to easily verify a nerve circuit by using an LED array. CONSTITUTION: A gallium nitride light emitting diode element is formed on a sacrificial substrate(100). A gallium nitride light emitting diode element is chemically separated from the sacrificial substrate. A silicon oxide layer(200) is laminated on the sacrificial substrate. A patterning process is performed on the silicon oxide layer. A first gallium nitride film(201a) is grown up in a space between silicon oxide layers.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造由其制造的GaN LED器件和GaN LED器件的方法，以通过使用LED阵列容易地验证神经电路。 构成：在牺牲基板（100）上形成氮化镓发光二极管元件。 氮化镓发光二极管元件与牺牲衬底化学分离。 在牺牲基板上层叠氧化硅层（200）。 在氧化硅层上进行构图处理。 第一氮化镓膜（201a）在氧化硅层之间的空间中长大。
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公开(公告)号：KR1020130006944A
公开(公告)日：2013-01-18
申请号：KR1020110062484
申请日：2011-06-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: C01B31/02 , B01J19/08 , C23C16/26 , H01L21/331
CPC classification number: C01B32/184 , B01J19/08 , C23C16/26
Abstract: PURPOSE: A manufacturing apparatus and method for graphene using a flash lamp, and a graphene semiconductor device manufactured by using the same are provided to grow graphene by transferring a flexible substrate through a roll-to-roll method without metal catalyst. CONSTITUTION: A manufacturing apparatus of graphene comprises a chamber, an inlet(20), a vacuum part(30), and a flash lamp(40). The substrate for growing graphene is mounted in the chamber. A reaction gas flows into an inlet on the one side of the substrate. The vacuum part makes the chamber into a vacuum state. The flash lamp for irradiating the substrate with light is placed in the uppar part of the chamber. The substrate is transferred by a roll to roll unit. The graphene manufacturing apparatus additionally comprises a reflection unit. The light from the flash lamp is reflected from the front side of the reflection unit, which is placed in the upper part of the flash lamp.
Abstract translation: 目的：提供使用闪光灯的石墨烯的制造装置和方法，以及使用其制造的石墨烯半导体装置，通过不用金属催化剂的卷对卷方法转移柔性基板来生长石墨烯。 构成：石墨烯的制造装置包括腔室，入口（20），真空部件（30）和闪光灯（40）。 用于生长石墨烯的基底安装在腔室中。 反应气体流入基板一侧的入口。 真空部分使腔室成为真空状态。 将用于用光照射基板的闪光灯放置在室的最上部。 基板通过辊到辊单元传送。 石墨烯制造装置还包括反射单元。 来自闪光灯的光从反射单元的前侧反射，反射单元被放置在闪光灯的上部。
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公开(公告)号：KR101198447B1
公开(公告)日：2012-11-06
申请号：KR1020100099844
申请日：2010-10-13
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 플라스틱 기반 바이오 센서 및 그 제조방법이 제공된다.
본 발명에 따른 플라스틱 기반 바이오 센서는 플라스틱 기판에 구비된 홈; 및 상기 홈 내부에 안착되며, 바이오 검출 물질이 단결정 실리콘 게이트 채널에 고정된 단위 바이오 센서를 포함하며, 여기에서 상기 홈 외부 및 바이오 센서에는 소스 및 드레인 전극이 와이어 형태로 연결된 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 바이오센서는 플라스틱 기판상에 구현되므로, 종래의 실리콘 기판상에 구현된 바이오센서가 가지는 기판의 한계 효과적으로 극복할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101187632B1
公开(公告)日：2012-10-08
申请号：KR1020110012806
申请日：2011-02-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/8229 , H01L27/12 , H01L21/027
Abstract: ＬＣＰ를 이용한 플렉서블 전자소자 제조방법 및 이를 이용한 플렉서블 메모리 소자 제조방법이 제공된다.
본 발명에 따른 플렉서블 전자소자 제조방법은 희생기판 상에서 전자소자를 제조하는 단계; 상기 제조된 전자소자를 LCP 기판에 전사시키는 단계; 및 상기 전자소자 상에 LCP 코팅층을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며,본 발명에 따른 플렉서블 소자 제조방법 및 이를 이용한 플렉서블 메모리 소자 제조방법은 소자의 하부 기판 및 상부 코팅층으로 LCP를 사용한다. 따라서, 한 번의 고온 과정을 통하여 하부 기판과 상부 코팅층이 동시에 소자의 상, 하부와 접합되므로, 공정 경제적이다. 더 나아가, 코팅층으로 사용된 LCP의 우수한 방수성에 따라 본 발명에 따른 플렉서블 전자소자는 인체 내와 같은 용액 환경에서도 효과적으로 구동할 수 있다. 더 나아가 본 발명에 따라 제조된 플렉서블 소자는 높은 항복 전압 등의 우수한 전기적 특성을 나타낸다.
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