公开(公告)号：WO2010072044A1

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：PCT/CN2009/001163

申请日：2009-10-20

Applicant: 北京大学 ,  陈兢 ,  舒琼 ,  张轶铭

Inventor： 陈兢 ,  舒琼 ,  张轶铭

IPC: H01H49/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B2201/018 ,  B81C1/00547

公开(公告)号：WO2009045915A2

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：PCT/US2008077922

申请日：2008-09-26

Applicant: UNIV BRIGHAM YOUNG ,  DAVIS ROBERT C ,  VANFLEET RICHARD R ,  HUTCHISON DAVID N

Inventor： DAVIS ROBERT C ,  VANFLEET RICHARD R ,  HUTCHISON DAVID N

IPC: B82B1/00 ,  C01B31/02

CPC classification number: H01J5/18 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0109 ,  B81C1/00031 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/16 ,  C01B32/168 ,  C01B2202/20 ,  C01B2202/34 ,  C01B2202/36

Abstract: A carbon nanotube assembly comprises a plurality of carbon nanotubes arranged into a patterned frame (10) and extending from a base (33) of the patterned frame to a face (31) of the patterned frame, the patterned frame having a height of at least about 10 µm or greater. At least one passage (14) extends through or is defined in the patterned frame, the at least one passage extending from the base of the patterned frame to the face of the patterned frame. An interstitial material at least partially fills interstices between at least some of the carbon nanotubes.

Abstract translation: 碳纳米管组件包括布置成图案化框架（10）并从图案化框架的基部（33）延伸到图案化框架的表面（31）的多个碳纳米管，所述图案化框架具有至少的高度 约10μm以上。 至少一个通道（14）延伸穿过或者被限定在图案化框架中，该至少一个通道从图案化框架的底部延伸到图案化框架的表面。 间隙材料至少部分填充至少一些碳纳米管之间的间隙。

公开(公告)号：WO2007109203A2

公开(公告)日：2007-09-27

申请号：PCT/US2007/006752

申请日：2007-03-19

Applicant: INNOVATIVE MICRO TECHNOLOGY ,  PARANJPYE, Alok ,  SUMMERS, Jeffery, F.

Inventor： PARANJPYE, Alok ,  SUMMERS, Jeffery, F.

IPC: H01H1/00 ,  H01H11/00

CPC classification number: B81B3/0024 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/0278 ,  H01H2037/008 ,  H01H2061/008 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T29/49147 ,  Y10T29/49204 ,  Y10T29/53248

Abstract: A MEMS thermal switch is disclosed which couples a hot, expanding beam to a cool flexor beam using a slideably engaged tether, and bends the cool, flexor beam by the expansion of the hot beam. A rigidly engaged tether ties the distal ends of the hot, expanding beam and the cool, flexor beam together, whereas the slideably engaged tether allows the hot, expanding beam to elongate with respect to the cool, flexor beam, without loading the slideably engaged tether with a large shear force. As a result, the material of the tether can be made stiffer, and therefore transmit the bending force of the hot, expanding beam more efficiently to the cool, flexor beam.

Abstract translation: 公开了一种MEMS热开关，其使用可滑动接合的系绳将热膨胀梁耦合到冷弯头梁，并且通过热梁的膨胀来弯曲冷弯曲梁。 刚性接合的系绳将热的，扩张的梁和冷的弯曲梁的远端连接在一起，而可滑动地接合的系绳允许热的，膨胀的梁相对于冷的屈肌梁而伸长，而不加载可滑动地接合的系绳 具有很大的剪切力。 结果，系链的材料可以变得更硬，并且因此将热膨胀梁的弯曲力更有效地传递到凉爽的弯曲梁。

公开(公告)号：WO2006105898A1

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：PCT/EP2006/002815

申请日：2006-03-28

Applicant: AUSTRIAMICROSYSTEMS AG ,  LÖFFLER, Bernhard ,  SCHRANK, Franz

Inventor： LÖFFLER, Bernhard ,  SCHRANK, Franz

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B7/0012 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0109

Abstract: Es wird ein in einem integrierten Dünnschichtverfahren herstellbares mikromechanisches Bauelement vorgeschlagen, welches auf der Oberfläche eines Substrats als Mehrschichtaufbau erzeugt und strukturiert werden kann. Für den Mehrschichtaufbau werden zumindest zwei Metallschichten vorgesehen, die vom Substrat und gegeneinander durch Zwischenschichten getrennt sind. Elektrisch leitende Verbindungsstrukturen sorgen für einen elektrischen Kontakt der Metallschichten untereinander und mit einer im Substrat angeordneten Schaltungsanordnung. Die für einen Trägheitssensor, ein Mikrofon oder einen elektrostatischen Schalter einsetzbare freischwingende Membran kann zur Verbesserung ihrer mechanischen Eigenschaften auf allen Oberflächen mit Anpass- und Passivierungsschichten versehen werden, die beim Schichterzeugungsprozess beziehungsweise beim Aufbau des Mehrschichtaufbaus mit abgeschieden und strukturiert werden. Vorteilhaft werden dafür Titannitrid-Schichten eingesetzt.

Abstract translation: 有人提出了一种集成薄膜工艺微机械部件，其可在衬底上作为多层结构和图案化的表面上产生的生产。 对于两个金属层的多层结构在该从衬底并且彼此通过中间层分开的至少被提供。 导电连接结构提供的金属层的相互的电接触并具有设置在衬底中的电路。 可用一个惯性传感器，麦克风或静电开关自由地振动膜可以被提供以改进与在膜形成过程中或在多层结构的构造沉积并图案化拟合和钝化膜的所有表面上它们的机械性能。 氮化钛层有利地用于此目的。

公开(公告)号：WO2006099945A1

公开(公告)日：2006-09-28

申请号：PCT/EP2006/002076

申请日：2006-03-07

Applicant: MILLET, Olivier

Inventor： MILLET, Olivier

IPC: H01H1/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/018 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0063

Abstract: The RF MEMS switch comprising micromechanical switching means that are carried by a substrate (1) and that can be actuated between two positions: a first position (off-state/ figure 1) and a second position (on- state), and actuation means for actuating the position of the switching means. The micromechanical switching means comprise a flexible membrane (6) which is freely supported by support means (3), which is bendable under the action of the actuation means (7), and which can freely slide relatively to the support means (3) during its bending movement.

Abstract translation: RF MEMS开关包括微机械切换装置，其由衬底（1）承载并且可以在两个位置之间被致动：第一位置（关闭状态/图1）和第二位置（在线状态），以及致动装置 用于致动切换装置的位置。 微机械切换装置包括柔性膜（6），其由支撑装置（3）自由地支撑，支撑装置（3）可在致动装置（7）的作用下弯曲，并且可在相对于支撑装置（3） 它的弯曲运动。

公开(公告)号：WO2003040338A2

公开(公告)日：2003-05-15

申请号：PCT/US2002/035988

申请日：2002-11-08

Applicant: COVENTOR, INCORPORATED ,  SETT, Subham ,  CUNNINGHAM, Shawn, J.

Inventor： SETT, Subham ,  CUNNINGHAM, Shawn, J.

IPC: C12N

CPC classification number: B81B3/0024 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/014 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/04 ,  B81B2207/07 ,  B81C1/0015 ,  B81C2201/0107 ,  B81C2201/0108 ,  B81C2201/0109 ,  H01H1/04 ,  H01H1/504 ,  H01H59/0009 ,  H01H61/04 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0063 ,  H01H2001/0089 ,  H01H2059/0072 ,  H01H2061/006 ,  H01L23/3735 ,  H01L23/522 ,  H01L27/1203 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H02N1/006 ,  H02N10/00 ,  Y10T29/49222 ,  H01L2924/00

Abstract: A micro-scale interconnect device with internal heat spreader and method for fabricating same. The device includes first and second arrays of generally coplanar electrical communication lines. The first array is disposed generally along a first plane, and the second array is disposed generally along a second plane spaced from the first plane. The arrays are electrically isolated from each other. Embedded within the interconnect device is a heat spreader element. The heat spreader element comprises a dielectric material disposed in thermal contact with at least one of the arrays and a layer of thermally conductive material embedded in the dielectric material. The device is fabricated by forming layers of electrically conductive, dielectric, and thermally conductive materials on a substrate. The layers are arranged to enable heat energy given off by current-carrying communciation lines to be transferred away from the communciation lines.

Abstract translation: 具有内部散热器的微尺寸互连装置及其制造方法。 该装置包括大致共面电通信线路的第一和第二阵列。 第一阵列大致沿着第一平面布置，并且第二阵列通常沿着与第一平面间隔开的第二平面设置。 阵列彼此电隔离。 嵌入在互连装置内的是散热器元件。 散热器元件包括设置成与阵列中的至少一个热交换的介电材料和嵌入电介质材料中的导热材料层。 该器件通过在衬底上形成导电的，介电的和导热的材料层来制造。 这些层被布置成使得由载流通信线发出的热能被转移离开通信线。

公开(公告)号：WO2016121214A1

公开(公告)日：2016-08-04

申请号：PCT/JP2015/083447

申请日：2015-11-27

Applicant: ソニー株式会社

Inventor： 盛田　伸也 ,  池田　浩一

IPC: H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B3/0013 ,  B81B3/0016 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/051 ,  H01H59/00 ,  H01H59/0009 ,  H02N1/00

Abstract: 　静電アクチュエータは、ベース部と、半導体を含んで構成されると共に、ベース部に対して第１の方向に沿って変位可能に支持された可動電極と、半導体を含んで構成されると共に、ベース部に対して固定され、第１の方向において離間した状態で可動電極と対向する固定電極とを備える。可動電極と固定電極との各対向面のうちの少なくとも一部に形成されると共に、その周囲の領域よりも不純物濃度の低い高抵抗領域を有するものである。

Abstract translation: 该静电致动器设置有：基部; 可动电极，其通过包括半导体构造并被支撑到所述基部，使得所述可动电极可以在所述第一方向上移位; 并且通过包括半导体构造的固定电极固定到所述基部，并且在与所述可动电极沿第一方向分离的状态下面对所述可动电极。 静电致动器具有高电阻区域，其形成为可动电极和/或固定电极的相对表面的一部分，并且其杂质浓度低于围绕高电阻区域的区域的杂质浓度。

公开(公告)号：WO2013033722A1

公开(公告)日：2013-03-07

申请号：PCT/US2012/053699

申请日：2012-09-04

Applicant: CAVENDISH KINETICS, INC ,  VAN KAMPEN, Robertus Petrus ,  UNAMUNO, Anartz ,  KNIPE, Richard L. ,  GADDI, Roberto ,  MAHAMEED, Rashed

Inventor： VAN KAMPEN, Robertus Petrus ,  UNAMUNO, Anartz ,  KNIPE, Richard L. ,  GADDI, Roberto ,  MAHAMEED, Rashed

IPC: H01L27/14

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/0097 ,  B81B7/04 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0172 ,  B81B2203/0307

Abstract: The present invention generally relates to a MEMS device having a plurality of cantilevers that are coupled together in an anchor region and/or by legs that are coupled in a center area of the cantilever. The legs ensure that each cantilever can move/release from above the RF electrode at the same voltage. The anchor region coupling matches the mechanical stiffness in all sections of the cantilever so that all of the cantilevers move together.

Abstract translation: 本发明一般涉及具有多个悬臂的MEMS装置，所述多个悬臂在锚定区域中耦合在一起，和/或通过腿连接在悬臂的中心区域中。 腿部确保每个悬臂可以在相同电压下从RF电极上方移动/释放。 锚定区域联接器匹配悬臂的所有部分中的机械刚度，使得所有悬臂移动在一起。

公开(公告)号：WO2011131249A1

公开(公告)日：2011-10-27

申请号：PCT/EP2010/055474

申请日：2010-04-23

Applicant: EPCOS AG ,  MORTENSEN, Dennis ,  GINNERUP, Morten

Inventor： MORTENSEN, Dennis ,  GINNERUP, Morten

IPC: B81C1/00 ,  H04R19/00

CPC classification number: B81C1/00142 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/0257

Abstract: A MEMS deviceis disclosed, comprising a micro-machined bulk body (BB) and a membrane (MM) fixed thereto. The membrane is cut preferably by laser from a flat sheet of metal and bonded to the bulk body.

Abstract translation: 公开了一种MEMS器件，其包括微加工体本体（BB）和固定于其上的膜（MM）。 膜优选地通过来自平坦金属片的激光切割并结合到本体。

公开(公告)号：WO2008140668A1

公开(公告)日：2008-11-20

申请号：PCT/US2008/005267

申请日：2008-04-24

Applicant: INNOVATIVE MICRO TECHNOLOGY ,  FOSTER, John, S. ,  TURNER, Kimberly, L.

Inventor： FOSTER, John, S. ,  TURNER, Kimberly, L.

IPC: H01F7/08

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B2201/018 ,  B81C1/00333 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T29/5317

Abstract: Systems and methods for forming an electrostatic MEMS plate switch include forming a deformable plate on a first substrate, forming the electrical contacts on a second substrate, and coupling the two substrates using a hermetic seal. The deformable plate may have at least one shunt bar located at a nodal line of a vibrational mode of the deformable plate, so that the shunt bar remains relatively stationary when the plate is vibrating in that vibrational mode. The hermetic seal may be a gold/indium alloy, formed by heating a layer of indium plated over a layer of gold. Electrical access to the electrostatic MEMS switch may be made by forming vias through the thickness of the second substrate.

Abstract translation: 用于形成静电MEMS板开关的系统和方法包括在第一衬底上形成可变形板，在第二衬底上形成电触点，并使用气密密封来连接两个衬底。 可变形板可以具有位于可变形板的振动模式的节点线处的至少一个分流杆，使得当板在该振动模式下振动时，分流棒保持相对静止。 气密密封可以是金/铟合金，通过加热镀在一层金上的铟层而形成。 可以通过形成穿过第二基板的厚度的通孔来进行对静电MEMS开关的电接入。