公开(公告)号：CN103424187B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201310359016.7

申请日：2008-06-05

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  H·泰希曼 ,  能野隆文 ,  铃木智史 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 分光模块（1）中，由于本体部（2）为板状，因而能够通过本体部（2）的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部（2）为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块（1）。即，通过对作为多个本体部（2）的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部（3）、衍射层（4）、反射层（6）以及光检测元件（7）设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块（1）。如此，能够容易地大量生产分光模块（1）。

公开(公告)号：CN102971823B

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201180033884.5

申请日：2011-07-08

Applicant: FEI公司

Inventor： C.鲁 ,  D.克劳利 ,  E.阿戈里奥

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244

CPC classification number: G01J3/0262 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0278 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/95684 ,  G01N2021/8825 ,  G01N2021/95653 ,  H01J37/226 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种用于处理衬底的带电粒子束系统被公开，其包括：带电粒子镜筒；组合红外辐射和可见光照射与成像子系统；真空中的光学器件；以及精密镜台，所述精密镜台用于支撑所述衬底并且将所述衬底交替地定位在所述带电粒子镜筒和所述成像系统下面。所述带电粒子镜筒和成像系统的轴被偏移，以实现对于成像和射束处理两者而言与在单个集成组件中将是可能的工作距离相比近得多的工作距离。一种用于极准确地校准所述镜筒与成像系统之间的偏移的方法被公开，实现了在所述衬底上的精确确定的位置处的射束处理。所述成像系统能够定位所述衬底上的不能够使用所述带电粒子束看见的子表面特征。两个照射模式被公开，实现了采用红外辐射和可见光的明场成像和暗场成像两者。

公开(公告)号：CN105277490A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510340652.4

申请日：2015-06-18

Applicant: 大塚电子株式会社 ,  国立大学法人东京农工大学

Inventor： 泉谷悠介 ,  岩井俊昭

IPC: G01N21/25

CPC classification number: G01N21/51 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/18 ,  G01J3/4412 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0223 ,  G01N15/0211 ,  G01N21/0303 ,  G01N21/45 ,  G01N2015/0222 ,  G01N2021/0389 ,  G01N2021/4709 ,  G01N2201/062

Abstract: 提供一种不易受到振动等外来干扰的影响、不需要进行参照光和试样光的光路差调整的动态光散射测定装置等。动态光散射测定装置(1)包含：照射部：其将来自低相干光源(10)的光照射到包含颗粒(42)的试样(40)；光谱强度取得部，其使来自参照面的反射光和透射过参照面的来自试样(40)的散射光分光，取得反射光和散射光的干涉光的光谱强度，所述参照面配置于照射到试样(40)的光的光路上；以及测定部，其基于取得的光谱强度测定试样(40)的动态光散射。

公开(公告)号：CN103180699B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201180051362.8

申请日：2011-07-26

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 原吉宏

IPC: G01J3/45

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/4535 ,  G02B26/0858

Abstract: 在分光测定前的粗调工序中，使移动镜移动（＃11），将由4分割传感器接收到移动镜的反射光与固定镜的反射光的干涉光时的各分割元件的输出相加，来检测干涉光的对比度的变化（＃12），并且基于该对比度的变化，检测两反射光的相对倾斜量（＃13），对初始倾斜误差进行修正（＃14）。另一方面，在分光测定前的微调工序中，基于由4分割传感器接收到两反射光的干涉光时的各分割元件的输出的相位差，检测两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向，对初始倾斜误差进行修正。

公开(公告)号：CN102628711B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201210091508.8

申请日：2008-06-10

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  能野隆文 ,  铃木智史 ,  H·泰希曼 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0291

Abstract: 在与衍射层(8)一体地形成的周缘部(11)的平面(11a)形成有对准标记(12a、12b、12c、12d)，在将透镜部(7)安装于基板(2)时，通过相对于基板(2)对这些对准标记(12a、12b、12c、12d)进行对位，从而能够相对于光检测元件(4)的光检出部(4a)正确地对准衍射层(8)，不受例如透镜部(7)的曲率半径的误差等的影响。尤其是，通过在平面(11a)形成对准标记(12a、12b、12c、12d)，从而能够通过图像识别来正确地检测该对准标记(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能够进行正确的对准。

公开(公告)号：CN102466518B

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201110048587.X

申请日：2011-03-01

Applicant: 中国医药大学

Inventor： 邱俊诚 ,  蔡铭修 ,  欧阳盟 ,  吴顺德 ,  谢耀方 ,  黄庭纬 ,  林永峻

IPC: G01J3/28 ,  G02B21/36 ,  G02B13/00

CPC classification number: G02B21/002 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/12 ,  G01J3/2823 ,  G02B21/367

Abstract: 本发明公开一种显微扫描系统及其方法，该显微扫描系统包含有一显微镜装置、一继光镜装置、一步进马达以及一超光谱仪装置。显微镜装置，用来撷取并放大一待测物的一影像以形成一放大影像，放大影像延一第一方向及一第二方向呈二维分布。继光镜装置，设置于显微镜装置之后，用来接收并传递显微镜装置所输出的放大影像。步进马达，电连接于继光镜装置，用来渐次地沿第二方向直线地于第一方向上往复移动继光镜装置。超光谱仪装置设置于继光镜装置之后，用来接收继光镜装置沿第二方向依序传递待测物于第一方向的部分放大影像，并将其转换成一相对应的光谱资讯。

公开(公告)号：CN104956193A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201380071639.2

申请日：2013-01-30

Applicant: 台湾超微光学股份有限公司

Inventor： 洪健翔 ,  叶展良

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01J3/0218 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 一种光感测模块、光谱仪的光机构及光谱仪。光感测模块包含一光感测元件(1)及一光纤。光感测元件具有至少一列的多数感光单元(11)。光纤由透光材料构成且具有一圆柱表面，并且圆柱表面的一侧相对多数感光单元设置，用以改变至少一部分感光单元所接收的入射光。该光感测模块，可增加光感测元件的集光量，适合改善微小化的装置或系统的整体光接收或光利用效率。

公开(公告)号：CN104718478A

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201380044684.9

申请日：2013-06-11

Applicant: 尼可·科伦斯

Inventor： 尼可·科伦斯 ,  H-J.多布沙尔

IPC: G02B6/293 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/12 ,  G01J2003/1208

Abstract: 本发明涉及光谱仪装置，在光传播方向中相接地包括：汇聚光学元件(3)，构造成用于捆扎并且定向进入的光到射入缝隙(4)上，以及具有至少一个色散元件的在射入缝隙(4)之后布置的投影系统，构造成用于投影进入的光束(2)的色散光谱到位置分解的检测设备上。根据本发明在这种光谱仪装置的情况下射入缝隙(4)实施成反射的，并且至少汇聚光学元件(3)，射入缝隙(4)和投影的光栅(5，13)综合在模块(1)中，其中它们作为组件集成在整体的基体(6)中，或作为光学起作用的形状或结构在整体的基体(6)上构造。

公开(公告)号：CN102822648B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201180015526.1

申请日：2011-03-08

Applicant: 柯尼卡美能达精密光学仪器株式会社

Inventor： 鹤谷克敏

IPC: G01J3/51 ,  G01M11/00

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/024 ,  G01J3/506 ,  G01J3/51 ,  G01J3/513 ,  G02B6/04 ,  G02B6/2804 ,  G02B27/10 ,  G02B27/1006 ,  G02F1/1309 ,  G02F2001/136254 ,  G02F2203/69

Abstract: 在本发明所涉及的测量探头（40）中，测量光被分支光学系统（12）分支为多个分支光，各分支光在经由作为滤色片的各干涉膜滤光片（13A、14A、15A）被各受光传感器（13B、14B、15B）接受时，经由形成近似两侧远心系统的各聚光透镜组（13C、14C、15C）向各干涉膜滤光片（13A、14A、15A）入射。而且，干涉膜滤光片（13A、14A、15A）形成为根据相对于向该干涉膜滤光片（13A、14A、15A）入射的入射光的入射角度的强度分布的条件，得到与测量参数对应的透过率特性。因此，本发明涉及的测量探头（40）能够在使用干涉膜滤光片（13A、14A、15A）的同时，减少因其入射角度引起的透过率特性的偏差的影响。

公开(公告)号：CN102472663B

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201080036948.2

申请日：2010-08-11

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  能野隆文

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/36 ,  G02B5/10 ,  G02B5/18 ,  H01L31/10

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/2803 ,  G02B5/1814 ,  G02B5/1852 ,  G02B5/1861

Abstract: 本发明的分光模块(1)中，边缘部(7)以比衍射层(6)厚的方式沿着衍射层(6)的周缘(6a)一体地形成。由此，使用母模形成衍射层(6)及边缘部(7)的情况的脱模时，可防止以沿着透镜部(3)的凸状曲面(3a)的方式形成的衍射层(6)维持于母模上而从曲面(3a)剥离。而且，以相对衍射层(6)的中心偏向规定侧的方式形成有衍射光栅图案(9)。由此，以相对于衍射层(6)的规定侧使其相反侧先进行的方式进行脱模，从而可防止衍射层(6)剥离、或衍射光栅图案(9)损坏。