用于测量流体浓度的传感器装置和该传感器装置的应用

    公开(公告)号:CN107835939A

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:CN201680040504.3

    申请日:2016-05-25

    Abstract: 本发明涉及一种传感器装置,具有:处于至少部分闭合的试样空间(400)中的吸收段(408),用于接收待分析的流体;处于所述吸收段(408)的一端部上的辐射源(405),用于将红外线辐射发射到所述吸收段(408)中;其中,发射到所述吸收段(408)中的所述红外线辐射能够指向处于所述吸收段(408)的另一端部上的传感器单元(409)的上侧(409a);其中,所述传感器单元(409)具有:分别具有至少一个像素的多个像素组件(102、103),所述像素组件布置在处于所述传感器单元的下侧(409b)上的衬底(101)的衬底上侧(101a)上,布置在所述衬底上侧(101a)上的罩(104),该罩覆盖所述像素组件(102、103),其中,在所述衬底上侧(101a)与所述罩(104)之间形成空腔(105);多个过滤器(106、107),所述过滤器对于至少部分不同的波长范围而言是能穿透的,其中,每个过滤器(106、107)配属有刚好一个像素组件(102、103),并且其中,所述过滤器(106、107)如此布置在所述罩(104)上,使得经过所述吸收段(408)和所述传感器单元的所述上侧(409a)传播的红外线辐射能够穿过相应的过滤器(106、107)被配属于相应的过滤器(106、107)的所述像素组件(102、103)探测;并且其中,在所述罩(104)的未被所述过滤器(106、107)覆盖的部分上至少区段式地构造有由吸收光的和/或反射光的材料构成的涂层(201;301)。

    分光传感器
    96.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103842783B

    公开(公告)日:2018-02-09

    申请号:CN201280049208.1

    申请日:2012-09-10

    Abstract: 分光传感器(1)具备:具有空腔层(21)以及经由空腔层(21)而相对的第1以及第2镜层(22,23)并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部(20)、被配置于第1镜层(22)侧并且使入射到干涉滤光部(20)的光透过的光透过基板(3)、被配置于第2镜层(23)侧并且检测透过了干涉滤光部(20)的光的光检测基板(4)、被配置于干涉滤光部(20)与光透过基板(3)之间的第1耦合层(11)。空腔层(21)以及第1耦合层(11)是硅氧化膜。

    分光测定装置及分光测定方法

    公开(公告)号:CN107003183A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201580065427.2

    申请日:2015-11-19

    Abstract: 分光测定装置(1)具备光源(10)、积分器(20)、第1分光检测器(41)、第2分光检测器(42)及解析部(50)。积分器(20)包含:内部空间(21),其配置有测定对象物;光输入部(22),其将光输入到内部空间(21);光输出部(23),其将光自内部空间(21)输出;及试样安装部(24),其安装测定对象物。第1分光检测器(41)接收自积分器(20)输出的光,对该光中的第1波段的光进行分光而取得第1光谱数据。第2分光检测器(42)接收自积分器(20)输出的光,对该光中的第2波段的光进行分光而取得第2光谱数据。第1波段与第2波段包含一部分重叠的波段。由此,实现了可分光测定更宽的波段的被测定光的分光测定装置及分光测定方法。

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