公开(公告)号：WO2005095997A1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：PCT/EP2004/014570

申请日：2004-12-22

Applicant: ETH ZÜRICH ,  HIEROLD, Christofer ,  JUNGEN, Alain ,  STAMPFER, Christoph

Inventor： HIEROLD, Christofer ,  JUNGEN, Alain ,  STAMPFER, Christoph

IPC: G01P15/08

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/025 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  G01L1/005 ,  G01P15/123 ,  Y10S977/724 ,  Y10S977/953 ,  Y10S977/956

Abstract: The resolution and the signal-to-noise ration of known force sensors as e.g. capacitive force sensors decrease when scaling them down. To solve this problem there is a solution presented by the usage of a nanostructure as e.g. a carbo nanotube, which is mechanically deformed by a force to be measured. The proposed force sensors comprises a support with two arms carrying the carbon nanotube. The main advantage of this force sensor is a very high sensitivity as the conductance of carbon nanotubes changes several orders of magnitude when a mechanical deformation arises.

Abstract translation: 已知的力传感器的分辨率和信噪比例如例如 电容式力传感器在缩小时会降低。 为了解决这个问题，存在通过使用纳米结构作为例如， 碳纳米管，其被测量的力机械变形。 所提出的力传感器包括具有携带碳纳米管的两个臂的支撑件。 这种力传感器的主要优点是非常高的灵敏度，因为当机械变形出现时，碳纳米管的电导变化几个数量级。

公开(公告)号：WO02057729A1

公开(公告)日：2002-07-25

申请号：PCT/DE2002/000055

申请日：2002-01-10

IPC: E04C5/08 ,  G01L1/00 ,  G01M5/00 ,  G01N33/38 ,  G01L5/10

CPC classification number: G01M5/0033 ,  E04C5/08 ,  G01L1/005 ,  G01M5/0025 ,  G01M5/0091 ,  G01N33/383

Abstract: The invention relates to a method for identifying the state (point of rupture 2) of electrically conductive oblong tensioning elements (1) involving the following steps: launching an electromagnetic measurement signal into a tensioning element (1a); changing the frequency; measuring the reflection spectrum, and; identifying the state of the tensioning element (1a) according to the resonance frequencies. Said signal is launched on the fore-part or on the periphery. In the event of coupled tensioning elements (1), a scattering matrix system of equations is iteratively devised. The invention is used in the construction industry for prestressed concrete structures and rear anchored systems.

Abstract translation: 一种用于识别状态的导电伸长夹紧构件（1）的（断点2）方法具有以下步骤： - 一个电磁测量信号耦合入一个夹紧构件（1a）中，改变频率，测定反射光谱，检测所述锁定件（1a）的状态的函数 从谐振频率。 它被耦合到所述端面或圆周。 具有耦合张力构件（1）被迭代地建立一个散射矩阵方程系统。 对于预应力混凝土结构和施工回锚定系统。

公开(公告)号：WO2001077694A1

公开(公告)日：2001-10-18

申请号：PCT/US2001/011460

申请日：2001-04-05

Applicant: THE UNIVERSITY OF CHICAGO ,  KRAUSS, Julie, R. ,  GRUEN, Dieter, M. ,  PELLIN, Michael, J. ,  AUCIELLO, Orlando

Inventor： GRUEN, Dieter, M. ,  PELLIN, Michael, J. ,  AUCIELLO, Orlando

IPC: G01P15/08

CPC classification number: G01H9/00 ,  B82Y35/00 ,  G01D5/30 ,  G01H11/06 ,  G01L1/005 ,  G01L1/044 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/0894 ,  G01P15/093 ,  Y10S977/732 ,  Y10S977/932

Abstract: An ultrananocrystalline diamond (UNCD) element formed in a cantilever configuration is used in a highly sensitive, ultra-small sensor for measuring acceleration, shock, vibration and static pressure over a wide dynamic range. The cantilever UNCD element (16) may be used in combination with a single anode, with measurements made either optically (20) or by capacitance (34). In another embodiment, the cantilever UNCD element (78) is disposed between two anodes (80, 82), with DC voltages (V1, V2) applied to the two anodes. With a small AC modulated voltage (90) applied to the UNCD cantilever element and because of the symmetry of the applied voltage and the anode-cathode gap distance in the Fowler-Nordheim equation, any change in the anode voltage ratio V1/V2 required to maintain a specified current ratio precisely matches any displacement of the UNCD lever from equilibrium. By measuring changes in the anode voltage ratio required to maintain a specified current ratio, the deflection of the UNCD cantilever element can be precisely determined. By appropriately modulating the voltages applied between the UNCD cantilever and the two anodes, or limit electrodes, precise independent measurements of pressure, uniaxial acceleration, vibration and shock can be made.

Abstract translation: 在一个高灵敏度的超小型传感器中，采用悬臂结构形成的超微晶金刚石（UNCD）元件用于在宽动态范围内测量加速度，冲击，振动和静压力。 悬臂UNCD元件（16）可以与单个阳极组合使用，光学（20）或电容（34）进行测量。 在另一个实施例中，悬臂UNCD元件（78）设置在两个阳极（80,82）之间，其中DC电压（V1，V2）施加到两个阳极。 利用施加到UNCD悬臂元件的小的AC调制电压（90），并且由于Fowler-Nordheim方程中施加的电压和阳极 - 阴极间隙距离的对称性，所以要求的阳极电压比V1 / V2的任何变化 保持指定的电流比精确地匹配UNCD杠杆的任何位移与平衡。 通过测量维持指定电流比所需的阳极电压比的变化，可以精确地确定UNCD悬臂元件的偏转。 通过适当地调制在UNCD悬臂与两个阳极之间施加的电压或极限电极，可以精确地独立测量压力，单轴加速度，振动和冲击。

公开(公告)号：WO2015106183A1

公开(公告)日：2015-07-16

申请号：PCT/US2015/010969

申请日：2015-01-12

Applicant: APPLE INC.

Inventor： FILIZ, Sinan ,  PEDDER, James E. ,  OGATA, Charley T. ,  SMITH, John Stephen ,  PATEL, Dhaval Chandrakant ,  CHOI, Shin John ,  HUPPI, Brian Q. ,  BUTLER, Christopher J. ,  GRUNTHANER, Martin P.

IPC: G01L1/18 ,  G01L1/20

CPC classification number: G06F3/0414 ,  G01L1/005 ,  G01L1/16 ,  G01L1/18 ,  G01L1/20 ,  G01L1/205 ,  G06F3/0412 ,  G06F3/0416 ,  G06F3/044 ,  G06F3/045 ,  G06F2203/04103 ,  G06F2203/04105 ,  G06F2203/04111

Abstract: An optically transparent force sensor that may compensate for environmental effects, including, for example, variations in temperature of the device or the surroundings. In some examples, two force-sensitive layers are separated by a compliant layer. The relative electrical response of the two force-sensitive layers may be used to compute an estimate of the force of a touch that reduces the effect of variations in temperature. In some examples, piezoelectric films having anisotropic strain properties are used to reduce the effects of temperature.

Abstract translation: 可以补偿环境影响的光学透明的力传感器，包括例如装置或周围环境的温度变化。 在一些示例中，两个力敏感层由柔顺层分开。 可以使用两个力敏感层的相对电响应来计算降低温度变化影响的触摸力的估计。 在一些实例中，使用具有各向异性应变特性的压电膜来降低温度的影响。

公开(公告)号：WO2014049537A1

公开(公告)日：2014-04-03

申请号：PCT/IB2013/058852

申请日：2013-09-25

Applicant: STMICROELECTRONICS S.R.L.

Inventor： PAGANI, Alberto ,  ZIGLIOLI, Federico Giovanni

IPC: H05K1/02

CPC classification number: G01L1/005 ,  G01N33/38 ,  H05K1/0239 ,  H05K1/0278 ,  H05K1/189 ,  H05K2201/09081 ,  H05K2201/10098 ,  H05K2201/10151 ,  Y10T156/1051

Abstract: A planar electric circuit board may include a planar support of a foldable material defining a base surface and wings coupled to the base surface along respective folding lines so that the wings, when folded along the folding lines, are erected with respect to the base surface and remain in that position. An auxiliary circuit is on the planar support and may include pairs of capacitive coupling plates defined on the wings and on the base surface, and electric communication lines coupled to corresponding ones of the pairs of capacitive coupling plates.

Abstract translation: 平面电路板可以包括限定基部表面的可折叠材料的平面支撑件和沿着各个折叠线连接到基座表面的翼片，使得当沿着折叠线折叠时的翼片相对于基部表面竖立，并且 保持在这个位置。 辅助电路在平面支撑件上，并且可以包括限定在翼部和基部表面上的成对的电容耦合板，以及耦合到成对的电容耦合板中的对应的电气通信线。

公开(公告)号：WO2012059266A1

公开(公告)日：2012-05-10

申请号：PCT/EP2011/066393

申请日：2011-09-21

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  FUCHS, Tino

Inventor： FUCHS, Tino

IPC: G01L1/00 ,  G01L7/08 ,  G01L9/00 ,  G01P15/08

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81C1/00023 ,  G01L1/00 ,  G01L1/005 ,  G01L7/082 ,  G01L9/0041 ,  G01P15/12

Abstract: Die Erfindung betrifft einen mikroelektromechanischen Sensor zur Messung einer Kraft, eines Drucks oder dergleichen. Er umfasst ein Substrat mit einem Messelement, wobei das Messelement zumindest zwei elektrisch leitende Bereiche umfasst, wobei zumindest einer der elektrisch leitenden Bereiche mit dem Substrat zumindest teilweise verbunden ist, und zumindest einen Wechselbereich, wobei der Wechselbereich zumindest teilweise zwischen den elektrisch leitenden Bereichen angeordnet ist, wobei der Wechselbereich in einem unbelasteten Zustand im Wesentlichen elektrisch isolierend ausgebildet ist und im belasteten Zustand im Wesentlichen elektrisch leitend ausgebildet ist. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein entsprechendes Verfahren sowie ein entsprechendes Verfahren zur Herstellen eines mikroelektromechanischen Sensors.

Abstract translation: 本发明涉及一种微机电传感器，用于测量力，压力或类似物。 它包括具有测量元件的基板，所述测量元件包括至少两个导电区域，其中，所述衬底的所述导电区域中的至少一个至少部分地连接，并且至少一个交流部分，所述交替区域被布置为至少部分导电区域之间 其中，所述切换部被电在无应力条件绝缘基本上并且基本上设计为在加载状态下具有导电性。 本发明还涉及一种相应的方法和一种用于制造微机电传感器的相应方法。

公开(公告)号：WO2010116061A1

公开(公告)日：2010-10-14

申请号：PCT/FR2010/000299

申请日：2010-04-09

Applicant: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  FAUCHER, Marc ,  THERON, Didier ,  GAQUIERE, Christophe

Inventor： FAUCHER, Marc ,  THERON, Didier ,  GAQUIERE, Christophe

IPC: H01L41/09 ,  B81B3/00 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0098 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/04 ,  G01L1/005 ,  H01L27/20 ,  H03H3/0073 ,  H03H9/02259 ,  H03H9/02409 ,  H03H2009/02511

Abstract: Dispositif microélectromécanique comportant : un substrat (SS); une première couche (Ci) d'un matériau piézoélectrique, déposée sur une surface dudit substrat; une deuxième couche (C2) d'un matériau semiconducteur, déposée sur ladite première couche; au moins un élément suspendu (ES), formé par des prolongements desdites couches s'étendant au- delà d'un bord (B) dudit substrat; et un transistor à effet de champ (FET) intégré à ladite deuxième couche et à sa prolongement, ayant au moins un canal s'étendant au moins en partie à l'intérieur dudit élément suspendu, comportant des électrodes (D, S1 G) connectées à des pistes conductrices (PCD) s'étendant au-dessus de ladite deuxième couche et dont au moins une passe par-dessous ledit bord du substrat; caractérisé en ce qu'au moins deux pistes conductrices connectées à deux électrodes respectives du transistor à effet de champ se chevauchent, sans contact électrique entre elles, de manière à former une structure d'interconnexion tridimensionnelle.

Abstract translation: 微机电装置，包括：基板（SS）; 沉积在所述衬底的表面上的压电材料的第一层（Ci）; 沉积在所述第一层上的半导体材料的第二层（C2）; 至少一个悬挂元件（ES），其由所述层的延伸部延伸超过所述基底的边缘（B）形成; 以及整合到所述第二层并进入其延伸部的场效应晶体管（FET），具有至少部分地在所述悬置元件内延伸的至少一个通道，包括连接到导电轨迹（PCD）的电极（D，S1，G） 其延伸在所述第二层的顶部上，并且其中的至少一个通过所述衬底的所述边缘下方; 其特征在于，连接到所述场效应晶体管的两个相应电极的至少两个导电迹线与其之间没有电接触重叠，以便形成三维互连结构。

公开(公告)号：WO2010042645A3

公开(公告)日：2010-08-19

申请号：PCT/US2009059881

申请日：2009-10-07

Applicant: HYSITRON INC ,  OH YUNJE ,  SHAN ZHIWEI ,  CYRANKOWSKI EDWARD J ,  ASIF SYED AMANULA SYED

Inventor： OH YUNJE ,  SHAN ZHIWEI ,  CYRANKOWSKI EDWARD J ,  ASIF SYED AMANULA SYED

IPC: B81B3/00 ,  B81C99/00 ,  G01N3/08

CPC classification number: G01L1/005 ,  B81C99/005 ,  G01N3/08 ,  G01N2203/0286 ,  G01N2203/0647

Abstract: A micromachined or microelectromechanical system (MEMS) based push-to-pull mechanical transformer for tensile testing of micro-to-nanometer scale material samples including a first structure and a second structure. The second structure is coupled to the first structure by at least one flexible element that enables the second structure to be moveable relative to the first structure, wherein the second structure is disposed relative to the first structure so as to form a pulling gap between the first and second structures such that when an external pushing force is applied to and pushes the second structure in a tensile extension direction a width of the pulling gap increases so as to apply a tensile force to a test sample mounted across the pulling gap between a first sample mounting area on the first structure and a second sample mounting area on the second structure.

Abstract translation: 一种基于微机械或微机电系统（MEMS）的推 - 拉机械变压器，用于包括第一结构和第二结构的微米至纳米级材料样品的拉伸测试。 第二结构通过至少一个柔性元件联接到第一结构，该柔性元件使得第二结构能够相对于第一结构移动，其中第二结构相对于第一结构设置，以便在第一结构和第二结构之间形成拉动缝隙 以及第二结构，使得当外部推力施加到第二结构上并沿拉伸延伸方向推动第二结构时，拉伸间隙的宽度增加，从而向跨第一样本之间的拉动间隙安装的测试样本施加张力 在第一结构上的安装区域和在第二结构上的第二样品安装区域。

公开(公告)号：WO2010042645A2

公开(公告)日：2010-04-15

申请号：PCT/US2009/059881

申请日：2009-10-07

Applicant: HYSITRON, INCORPORATED ,  OH, Yunje ,  SHAN, Zhiwei ,  CYRANKOWSKI, Edward J. ,  ASIF, Syed Amanula Syed

Inventor： OH, Yunje ,  SHAN, Zhiwei ,  CYRANKOWSKI, Edward J. ,  ASIF, Syed Amanula Syed

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G01L1/005 ,  B81C99/005 ,  G01N3/08 ,  G01N2203/0286 ,  G01N2203/0647

Abstract: A micromachined or microelectromechanical system (MEMS) based push-to-pull mechanical transformer for tensile testing of micro-to-nanometer scale material samples including a first structure and a second structure. The second structure is coupled to the first structure by at least one flexible element that enables the second structure to be moveable relative to the first structure, wherein the second structure is disposed relative to the first structure so as to form a pulling gap between the first and second structures such that when an external pushing force is applied to and pushes the second structure in a tensile extension direction a width of the pulling gap increases so as to apply a tensile force to a test sample mounted across the pulling gap between a first sample mounting area on the first structure and a second sample mounting area on the second structure.

Abstract translation: 一种用于对包括第一结构和第二结构的微米至纳米尺度材料样品的拉伸测试的基于微机械或微机电系统（MEMS）的推挽式机械变压器。 第二结构通过至少一个可使第二结构相对于第一结构运动的柔性元件耦合到第一结构，其中第二结构相对于第一结构设置，以便在第一结构之间形成牵引间隙 以及第二结构，使得当在拉伸延伸方向上施加外推力并推动所述第二结构时，所述牵引间隙的宽度增加，以便对安装在所述牵引间隙上的第一样品 第一结构上的安装区域和第二结构上的第二样品安装区域。

公开(公告)号：WO2007085035A2

公开(公告)日：2007-08-02

申请号：PCT/AT2007/000032

申请日：2007-01-25

Applicant: UNIVERSITÄT LINZ ,  BAUER, Siegfried ,  GRAZ, Ingrid ,  SCHWÖDIAUER, Reinhard ,  KEPLINGER, Christoph ,  KALTENBRUNNER, Martin ,  PERICHON LACOUR, Stéphanie ,  WAGNER, Sigurd

Inventor： BAUER, Siegfried ,  GRAZ, Ingrid ,  SCHWÖDIAUER, Reinhard ,  KEPLINGER, Christoph ,  KALTENBRUNNER, Martin ,  PERICHON LACOUR, Stéphanie ,  WAGNER, Sigurd

CPC classification number: H01L25/16 ,  G01L1/005 ,  H01L27/20 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: Es wird ein ferroisches Bauelement mit einer zwischen zwei Elektroden (12, 13) angeordneten ferroischen Schicht (10), mit einem Dünnschichtfeldeffekttransistor (4), dessen Gate-Elektrode (3) eine der beiden Elektroden (12, 13) der ferroischen Schicht (10) bildet, die mit der Gate-Elektrode (3) über eine Zwischenschicht (11) als Haftvermittler verbunden ist, und mit einem als Träger dienenden Substrat beschrieben. Um ein biegeweiches Bauelement zu erhalten, wird vorgeschlagen, daß auf dem als biegeweiche Kunststoffolie (1) ausgebildeten Substrat gegebenenfalls unter Zwischenlage einer Isolierschicht (2) einerseits der Dünnschichtfeldeffekttransistor (4) und anderseits die aus einem intern geladenen zellulären Polymer bestehende ferroische Schicht (10) aufgetragen sind.

Abstract translation:

这是与两个电极之间的ferroisches部件（12，13）布置成铁性层（10）中，具有d导航用途nnschichtfeldeffekttransistor（4），其栅极电极（3）的两个电极中的一个 （12，13）的铁性层（10），与所述栅电极（3）导航用途的;经由中间层（11）被连接作为粘合促进剂，并用为Tr BEAR描述GER服务衬底。 为了获得灵活的软件，建议？ 形成在作为弯曲软塑料薄膜（1）底物，任选地用绝缘层（2）的上d导航用途的一侧被绘制现有仁聚合物铁性层（10）的插入; nnschichtfeldeffekttransistor（4）和在由内部带电蜂窝＆AUML的另一方面。