公开(公告)号：TWI616394B

公开(公告)日：2018-03-01

申请号：TW101104794

申请日：2012-02-14

Applicant: 奇奧尼公司 ,  KIONIX, INC.

Inventor： 布萊克摩爾 查理斯W ,  BLACKMER, CHARLES W. ,  亞當斯 史考特G ,  ADAMS, SCOTT G. ,  霍金 安德魯S ,  HOCKING, ANDREW S. ,  林奇 克里斯汀J ,  LYNCH, KRISTIN J. ,  沙 雅許思A ,  SHAH, ASHISH A.

IPC: B81B7/02 ,  H01L21/70

CPC classification number: B81C1/00698 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/033 ,  H01L21/76232

公开(公告)号：TW201706568A

公开(公告)日：2017-02-16

申请号：TW105114735

申请日：2016-05-12

Applicant: 嘉速力微機電股份有限公司 ,  KIONIX, INC.

Inventor： 迪沃爾 約拿 ,  DEWALL, JONAH

IPC: G01C19/5776 ,  G01C19/5712

CPC classification number: G01C19/5684 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5776

Abstract: 一迴轉儀包括一共振器、一轉換器、及一比較器。該比較器係經設計來自該轉換器接收一輸入信號及將該輸入信號與一參考信號作比較來產生一輸出信號。該輸出信號的上升及下降邊緣過渡係與該共振器沿該轉換器的一感測軸的一運動實質上同步。

Abstract in simplified Chinese: 一掉头仪包括一共振器、一转换器、及一比较器。该比较器系经设计来自该转换器接收一输入信号及将该输入信号与一参考信号作比较来产生一输出信号。该输出信号的上升及下降边缘过渡系与该共振器沿该转换器的一传感轴的一运动实质上同步。

公开(公告)号：TW201703200A

公开(公告)日：2017-01-16

申请号：TW105120933

申请日：2016-07-01

Applicant: 嘉速力微機電股份有限公司 ,  KIONIX, INC.

Inventor： 亞當斯 史考特G ,  ADAMS, SCOTT G. ,  布萊克默 查爾斯W ,  BLACKMER, CHARLES W.

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/52 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B7/007 ,  B81B2207/096 ,  B81C1/00301 ,  B81C2201/013 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/76898 ,  H01L23/481 ,  H01L23/5329

Abstract: 本案揭露用於具有貫穿基體互連體及MEMS裝置之電子系統的系統、方法及電腦程式產品。一互連體形成在具有一第一表面及一第二表面的基體中，此互連體包括：一塊體區域；從該第一表面延伸至該第二表面的一通孔；延伸穿過該第一表面進入該基體且界定圍繞該通孔之一封閉迴圈的一絕緣結構，其中該絕緣結構包含由至少一堅固部分隔開的一接縫部分；及從該絕緣結構朝向該第二表面延伸的一絕緣區域，該絕緣區域將該通孔與該塊體區域分隔，其中該絕緣結構及該絕緣區域共同在該通孔與該塊體區域之間提供電氣隔離。

Abstract in simplified Chinese: 本案揭露用于具有贯穿基体互连体及MEMS设备之电子系统的系统、方法及电脑进程产品。一互连体形成在具有一第一表面及一第二表面的基体中，此互连体包括：一块体区域；从该第一表面延伸至该第二表面的一通孔；延伸穿过该第一表面进入该基体且界定围绕该通孔之一封闭循环的一绝缘结构，其中该绝缘结构包含由至少一坚固部分隔开的一接缝部分；及从该绝缘结构朝向该第二表面延伸的一绝缘区域，该绝缘区域将该通孔与该块体区域分隔，其中该绝缘结构及该绝缘区域共同在该通孔与该块体区域之间提供电气隔离。

公开(公告)号：TW201621289A

公开(公告)日：2016-06-16

申请号：TW104127033

申请日：2015-08-19

Applicant: 凱歐尼克斯公司 ,  KIONIX, INC.

Inventor： 亞當斯史考特G ,  ADAMS, SCOTT G. ,  布萊克莫查爾斯W ,  BLACKMER, CHARLES W. ,  林奇克里斯汀J ,  LYNCH, KRISTIN J.

IPC: G01L9/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01L9/003 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/0264 ,  B81C1/00 ,  B81C1/00666 ,  B81C2201/0167 ,  G01L9/0027 ,  G01L9/0055 ,  G01L9/0073 ,  G01L9/008 ,  G01L9/0082 ,  G01L13/00 ,  G01L13/02 ,  G01P15/006 ,  G01P15/08 ,  H01L21/00

Abstract: 本文中描述的技術使用包括可變形壓力容器的壓力感測器進行壓力感測。壓力容器是具有界定空隙的橫截面的物體。可變形壓力容器是具有至少一個彎曲部分的壓力容器，該至少一個彎曲部分設以基於空腔中的空腔壓力與壓力容器中的容器壓力之間的壓力差而在結構上變形(例如彎曲、切變、伸長等)，該壓力容器之至少一部分被懸置在該空腔中。

Abstract in simplified Chinese: 本文中描述的技术使用包括可变形压力容器的压力传感器进行压力传感。压力容器是具有界定空隙的横截面的物体。可变形压力容器是具有至少一个弯曲部分的压力容器，该至少一个弯曲部分设以基于空腔中的空腔压力与压力容器中的容器压力之间的压力差而在结构上变形(例如弯曲、切变、伸长等)，该压力容器之至少一部分被悬置在该空腔中。

公开(公告)号：TW200630161A

公开(公告)日：2006-09-01

申请号：TW094132563

申请日：2005-09-20

Applicant: 奇奧尼公司 KIONIX, INC.

Inventor： 周朋 ZHOU, PENG ,  林肯C. 永 YOUNG, LINCOLN C.

IPC: B01L

CPC classification number: B29C66/54 ,  B01L3/502707 ,  B01L2200/0689 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0887 ,  B29C65/4815 ,  B29C65/483 ,  B29C65/4895 ,  B29C66/543 ,  B29C66/71 ,  B29L2031/756 ,  B29K2069/00 ,  B29K2033/08 ,  B29K2025/06

Abstract: 本發明提供一種製造聚合微流構造之方法，其中該微流構造之兩個或兩個以上元件(層)係以弱溶劑鍵合劑，尤其以乙或乙與醇之混合物固定地連結或層壓。在一態樣中，可用乙作為弱溶劑鍵合劑來封閉一製造於諸如聚苯乙烯、聚碳酸酯、丙烯酸或其它線性聚合物之非彈性體聚合物中或其上的微構造，以形成三維微流網路。該方法包括下述步驟：在一既定較低溫度範圍內，以該弱溶劑鍵合劑濕潤該聚合基板元件之相對表面中之至少一者；使該等相對表面鄰接；及在比該較低溫度範圍更高之溫度下，將該鍵合劑熱活化一段既定時間。亦可在熱活化作用前，使該等相接觸之聚合基板定位，及在熱活化作用過程對其進行壓縮。本發明亦揭示一種層壓聚合微流構造。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种制造聚合微流构造之方法，其中该微流构造之两个或两个以上组件(层)系以弱溶剂键合剂，尤其以乙或乙与醇之混合物固定地链接或层压。在一态样中，可用乙作为弱溶剂键合剂来封闭一制造于诸如聚苯乙烯、聚碳酸酯、丙烯酸或其它线性聚合物之非弹性体聚合物中或其上的微构造，以形成三维微流网络。该方法包括下述步骤：在一既定较低温度范围内，以该弱溶剂键合剂湿润该聚合基板组件之相对表面中之至少一者；使该等相对表面邻接；及在比该较低温度范围更高之温度下，将该键合剂热活化一段既定时间。亦可在热活化作用前，使该等相接触之聚合基板定位，及在热活化作用过程对其进行压缩。本发明亦揭示一种层压聚合微流构造。

公开(公告)号：WO2020097117A3

公开(公告)日：2020-05-14

申请号：PCT/US2019/059922

申请日：2019-11-05

Applicant: ROHM CO., LTD. ,  KIONIX, INC.

Inventor： SAMUELSON, Brian Thomas ,  DEKEN, Richard Alan ,  YAMASHIRO, Yo

IPC: G01P3/483 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: Accelerometers are described herein that have RMS outputs. For instance, an example accelerometer may include a MEMS device and an ASIC. The MEMS device includes a structure having an attribute that changes in response to acceleration of an object. The ASIC determines acceleration of the object based at least in part on changes in the attribute. The ASIC includes analog circuitry, an ADC, and firmware. The analog circuitry measures the changes in the attribute and generates analog signals that represent the changes. The ADC converts the analog signals to digital signals. The firmware includes RMS firmware. The RMS firmware performs an RMS calculation on a representation of the digital signals to provide an RMS value that represents an amount of the acceleration of the object.

公开(公告)号：WO2019033036A1

公开(公告)日：2019-02-14

申请号：PCT/US2018/046324

申请日：2018-08-10

Applicant: KIONIX, INC.

Inventor： HELLER, Martin

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00047 ,  B81C1/00095 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/0115 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0171 ,  B81C2201/0178

Abstract: A method of processing a semiconductor substrate having a first conductivity type includes, in part, forming a first implant region of a second conductivity type in the semiconductor substrate where the first implant region is characterized by a first depth, forming a second implant region of the first conductivity type in the semiconductor substrate where the second implant region is characterized by a second depth smaller than the first depth, forming a porous layer within the semiconductor substrate where the porous layer is adjacent the first implant region, and growing an epitaxial layer on the semiconductor substrate thereby causing the porous layer to collapse and form a cavity.

公开(公告)号：WO2016182993A2

公开(公告)日：2016-11-17

申请号：PCT/US2016/031443

申请日：2016-05-09

Applicant: KIONIX, INC.

Inventor： DEWALL, Jonah

IPC: G01C19/5712

CPC classification number: G01C19/5684 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5776

Abstract: A gyroscope includes a resonator, a transducer, and a comparator. The comparator is designed to receive an input signal from the transducer and compare the input signal with a reference signal to produce an output signal. Rising and falling edge transitions of the output signal are substantially synchronized with a motion of the resonator along a sense-axis of the transducer.

Abstract translation: 陀螺仪包括一个谐振器，一个换能器和一个比较器。 比较器被设计为从换能器接收输入信号并将输入信号与参考信号进行比较以产生输出信号。 输出信号的上升沿和下降沿跃迁基本上与谐振器沿换能器的感测轴的运动同步。

公开(公告)号：WO2014107176A1

公开(公告)日：2014-07-10

申请号：PCT/US2013/025149

申请日：2013-02-07

Applicant: KIONIX, INC.

Inventor： ANDERSON, Erik

IPC: G01P15/00

CPC classification number: G01P3/44 ,  G06F17/00

Abstract: A system and method for estimating angular velocity are provided. The system and method use an accelerometer and magnetometer to estimate an angular velocity in place of a gyroscope in 9-axis sensor fusion to estimate angular orientation. The final angular velocity estimate is constructed from two partially independent angular velocity estimates, one using only magnetometer measurements and the other using only accelerometer measurements. The unobservable portion of each partial angular velocity estimate is provided by a projection from a third complete estimate that uses both accelerometer and magnetometer data.

Abstract translation: 提供了一种用于估计角速度的系统和方法。 该系统和方法使用加速度计和磁力计估计9轴传感器融合中的陀螺仪的角速度来估计角度定向。 最终角速度估计由两个部分独立的角速度估计构成，一个仅使用磁强计测量，另一个仅使用加速度计测量。 每个部分角速度估计的不可观察部分由来自使用加速度计和磁力计数据的第三完整估计的投影提供。

公开(公告)号：WO2012112395A3

公开(公告)日：2012-08-23

申请号：PCT/US2012/024672

申请日：2012-02-10

Applicant: KIONIX, INC. ,  ADAMS, Scott, G. ,  MINNICK, Andrew, J. ,  BLACKMER, Charles, W. ,  BRENNAN, Kenneth, D. ,  DEVOE, Mollie, K.

Inventor： ADAMS, Scott, G. ,  MINNICK, Andrew, J. ,  BLACKMER, Charles, W. ,  BRENNAN, Kenneth, D. ,  DEVOE, Mollie, K.

IPC: B81B3/00

Abstract: A micro-electromechanical system (MEMS) device includes a substrate, a first beam, a second beam, and a third beam. The first beam includes first and second portions separated by an isolation joint. The first and second portions each comprise a semiconductor and a first dielectric layer. An electrically conductive trace is mechanically coupled to the first beam and electrically coupled to the second portion's semiconductor but not the first portion's semiconductor. The second beam includes a second dielectric layer. The profile of each of the first, second, and third beams has been formed by a dry etch. A cavity separates a surface of the substrate from the first, second, and third beams. The cavity has been formed by a dry etch. A side wall of each of the first, second, and third beams has substantially no dielectric layer disposed thereon, and the dielectric layer has been removed by a vapor-phase etch.