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公开(公告)号：KR100548017B1
公开(公告)日：2006-01-31
申请号：KR1020030032514
申请日：2003-05-22
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 기판(substrate) 상에 유기분자 박막을 형성시킨 다음, 열처리에 의해 유기분자들의 자기조립(self-assembly)을 유도하고, 이에 따라 형성된 일정한 구조에 선택적으로 금속을 화학흡착(stanning)시킨 후, 에칭(etching)하는 단계를 포함하는 나노미터 또는 그 이하 사이즈의 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 나노패턴은 기록소자, 탄소나노튜브 제조용 주형(template), 새로운 나노패턴의 형성을 위한 마스크, 분리용 막의 소재 개발 등에 유용하게 활용될 수 있다.
나노패턴, 유기분자, 자기조립, 화학흡착, 에칭Abstract translation: 被形成在基板（衬底）上的有机分子的薄膜本发明中，然后，通过加热处理，导致有机分子的自组装（自组装），由此在形成于根据该化学吸附具有一定结构的任选金属（stanning） 随后蚀刻以形成尺寸为纳米或更小的图案。 根据本发明的纳米图案可以有效地使用，例如打印元件，所述碳纳米管制造模板（模板），为的新纳米图案分离膜材料的发展形成的掩模。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050095742A
公开(公告)日：2005-09-30
申请号：KR1020040021031
申请日：2004-03-27
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B82Y40/00 , B82Y30/00 , C01B32/168
Abstract: 본 발명은 아민기가 노출된 기질 위에 카르복실기가 노출된 CNT를 아미드 결합을 통해 반복적으로 고정하여 CNT 다층막 필름을 형성한 다음, 상기 CNT 다층막 필름으로부터 포토리쏘그래법과 드라이 에칭기술을 이용하여 CNT 다층막 패턴을 형성하는 방법 및 상기 CNT 다층막 패턴을 열처리하여 표면에 결함부위(defect site)가 없는 CNT 다층막 패턴을 수득한 다음, 상기 결함부위가 없는 CNT 다층막 패턴에, 계면활성제류 또는 파이-스태킹 (π-stacking)이 가능한 부위를 가지고 있는 화학물질을 물리적으로 고정시켜 다양한 화학적 작용기가 노출되어 있는 CNT 다층막 패턴을 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 선택되지 않은 영역에서도 CNT가 일부 고정되는 종래기술의 문제점을 해결하여, 선택된 영역에서만 CNT가 고정되어 있는 선명한 CNT 다층막 패턴을 형성하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명에 따른 화학적 작용기가 물리적으로 고정되어 표면에 노출된 CNT 다층막 패턴은 바이오센서 제작에 유용하다.-
公开(公告)号：KR1020050095577A
公开(公告)日：2005-09-29
申请号：KR1020050085928
申请日：2005-09-14
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 아민기가 노출된 기질 상에 탄소나노튜브(CNT)를 화학적 결합으로 적층하여 수득되는 고밀도의 CNT 필름 표면에 노출된 화학적 작용기를 이용하여 바이오 리셉터를 결합시킨 CNT-바이오칩에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 기질에 고밀도로 고정된 CNT 필름에 노출된 카르복실기를 다양한 화학적 작용기로 개질한 다음, 상기 화학적 작용기에 결합하는 작용기를 가진 다양한 바이오 리셉터를 화학적 또는 물리화학적으로 결합시켜 CNT-바이오칩을 제작하는 것이 가능하다.-
104.发明公开유기초분자의 나노패턴을 이용한 탄소나노튜브 어레이의제작방법 失效使用自组装有机SUPRAMOLECULE和UV蚀刻获得的纳米图案的碳纳米管阵列的制备方法，以及使用碳纳米管阵列的碳纳米管生物纳米粒子的制备方法
公开(公告)号：KR1020040107000A
公开(公告)日：2004-12-20
申请号：KR1020030037753
申请日：2003-06-12
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A method for preparing a carbon nanotube (CNT) array, a method for preparing a CNT bio-nanoarray, and a method for detecting the reaction of a biomaterial and a bio-receptor by using the CNT bio-nanoarray are provided, to allow a nano-sized pattern to be formed by simple several steps of process and to allow the orientation of microstructure to be controlled easily. CONSTITUTION: A carbon nanotube array is prepared by forming a thin film of a self-assembling organic supramolecule on a substrate; annealing it to form a cylindrical regular structure by the self-assembly of the organic supramolecule; irradiating a UV ray to the structure to decompose the center part where a carbon chain is concentrated to form a nano-pattern of an organic supramolecule; etching it by using the nano-pattern as a mask to form a nano-pattern on a substrate; and arraying a carbon nanotube on the nano-pattern. Preferably the organic supramolecule is a disk-type or dendrimer fan-shaped organic supramolecule. Preferably the organic supramolecule is represented by the formula 6 or 7. A CNT bio-nanoarray is prepared by adhering a biomaterial or a bio-receptor to the CNT array obtained by the method.
Abstract translation: 目的：制备碳纳米管（CNT）阵列的方法，制备CNT生物纳米阵列的方法，以及通过使用CNT生物纳米阵列检测生物材料和生物受体的反应的方法，提供给 允许通过简单的几个工艺步骤形成纳米尺寸图案，并允许容易地控制微结构的取向。 构成：通过在基板上形成自组装有机超分子的薄膜来制备碳纳米管阵列; 通过有机超分子的自组装将其退火以形成圆柱形规则结构; 向该结构照射紫外线以分解碳链浓缩的中心部分以形成有机超分子的纳米图案; 通过使用纳米图案作为掩模对其进行蚀刻，以在基板上形成纳米图案; 并在纳米图案上排列碳纳米管。 优选地，有机超分子是盘型或树枝状大分子扇形有机超分子。 优选地，有机超分子由式6或7表示。通过将生物材料或生物受体粘附到通过该方法获得的CNT阵列上来制备CNT生物纳米阵列。
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公开(公告)号：KR1020040105321A
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：KR1020030036532
申请日：2003-06-05
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: Provided is a method for wrapping carbon nanotubes with carbohydrate(cyclodextrin) by the reaction of enzyme having cyclodextrin-forming activity. Also, biosensors are produced by attaching a receptor, responding to specific biomaterials, to the carbon nanotubes wrapped with cyclodextrin. CONSTITUTION: The water-soluble carbon nanotubes wrapped with carbohydrate are produced by reacting solution containing carbohydrates and carbon nanotubes with alpha-amylase family enzyme such as cyclodextrin glucanotransferase, alpha-glucosidase, amylopullulanase, isopullulanase or neopullulanase, wherein the carbohydrate is polysaccharide, oligo-saccharide, di-saccharide or mono-saccharide. The biosensors are produced by attaching a receptor reacting with specific biomaterials to the carbon nanotubes wrapped with cyclodextrin, wherein the receptor is ligand, amino acid, peptide, protein, nucleic acid, lipid or carbohydrate, and the specific biomaterial is protein, nucleic acid, enzyme, antibody, carbohydrate or lipid. The biosensors selectively detect biomaterials bound to the receptor by using an electrochemical signal.
Abstract translation: 目的：提供通过具有环糊精形成活性的酶的反应用碳水化合物（环糊精）包裹碳纳米管的方法。 此外，生物传感器通过将受特定生物材料响应的受体连接到用环糊精包裹的碳纳米管来制备。 构成：用碳水化合物包裹的水溶性碳纳米管是通过将含有碳水化合物和碳纳米管的溶液与α-淀粉酶家族酶如环糊精葡聚糖转移酶，α-葡糖苷酶，淀粉样蛋白酶，异链烷醇酶或新型支链淀粉酶反应制备的，其中碳水化合物是多糖， 糖，二糖或单糖。 生物传感器通过将与特定生物材料反应的受体与由环糊精包裹的碳纳米管连接而产生，其中受体是配体，氨基酸，肽，蛋白质，核酸，脂质或碳水化合物，特异性生物材料是蛋白质，核酸， 酶，抗体，碳水化合物或脂质。 生物传感器通过使用电化学信号选择性地检测与受体结合的生物材料。
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公开(公告)号：KR1020040100239A
公开(公告)日：2004-12-02
申请号：KR1020030032514
申请日：2003-05-22
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B22F1/0044 , B05D1/005 , B82Y15/00 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: Provided is a method for forming fine patterns of nanometers(or less than nanometers) in size by using self assembly of organic molecules and selective staining of metals. The resultant nano-patterns are applied to recording elements, templates for carbon nanotube production, biological elements, etc. CONSTITUTION: The nanometer-sized pattern of organic molecules is formed by the following steps of: (i) forming a thin film of fan(or cone)-shaped organic molecules inducing self assembly on substrates such as Si and glass by spin-coating, rubbing or solution spreading process; (ii) elevating temperature above the liquid crystal phase transition temperature of organic molecules and then annealing an organic thin film-coated substrate to form a regular structure through self assembly of organic molecules; (iii) staining metals such as Ru and Os selectively on the regular structure formed by self assembly of organic molecules by using RuO4 and OsO4; (iv) etching a metal-stained thin film to remove parts on which the metal isn't stained, through ion milling in case of metal thin films, and reactive ion etching and ion milling in case of non-metal and organic thin films. The nanopattern of a magnetic metal thin film for recording materials is formed by forming a thin film of magnetic metal, such as Fe, Ni, Co, Cr or Pt, on substrates, forming a thin film of organic molecules inducing self assembly on the magnetic metal thin film, processing the steps(ii), (iii) and (iv), and etching magnetic metal thin film based on a mask of the nanopattern of organic molecules through ion milling.
Abstract translation: 目的：提供通过使用有机分子的自组装和金属的选择性染色来形成尺寸的纳米（或小于纳米）的精细图案的方法。 所得的纳米图案应用于记录元件，用于碳纳米管生产的模板，生物元素等。构成：有机分子的纳米尺寸图案通过以下步骤形成：（i）形成风扇薄膜 或锥形）有机分子通过旋涂，摩擦或溶液扩散过程在诸如Si和玻璃的衬底上引起自组装; （ii）将有机分子的液晶相转变温度升高到高于有机分子的液晶相转变温度，然后通过有机分子的自组装形成有机薄膜包覆基板以形成规则结构; （iii）通过使用RuO 4和OsO 4自组装有机分子形成的规则结构上选择性地染色诸如Ru和Os的金属; （iv）在非金属和有机薄膜的情况下，通过离子研磨在金属薄膜的情况下蚀刻金属染色的薄膜以除去金属未被染色的部分，以及反应离子蚀刻和离子研磨。 用于记录材料的磁性金属薄膜的纳米图案通过在基底上形成诸如Fe，Ni，Co，Cr或Pt的磁性金属的薄膜而形成，形成有机分子的薄膜，从而在磁性 金属薄膜，处理步骤（ii），（iii）和（iv），并通过离子研磨蚀刻基于有机分子的纳米图案的掩模的磁性金属薄膜。
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