公开(公告)号：KR1020060065456A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：KR1020050044036

申请日：2005-05-25

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이대식 ,  정광효 ,  박세호 ,  표현봉 ,  최창억

IPC: G01N35/00 ,  C12Q1/68

CPC classification number: G01N15/1484 ,  B01L3/502715 ,  B01L2200/10 ,  B01L2300/1805 ,  G01N15/1459 ,  G01N15/1463 ,  C12Q1/6876

Abstract: 본 발명은 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 플라스틱 기판을 이용한 미소 가열기는, 플라스틱 기판, 상기 플라스틱 기판 상에 형성된 히터, 상기 히터에 전원을 공급하기 위하여 상기 플라스틱 기판 상에 형성된 전극들, 상기 히터와 인접된 부분의 상기 플라스틱 기판 상에 형성된 온도센서, 상기 전극, 히터 및 온도센서를 포함하는 전체 상부면에 위치하며, 상기 전극들의 일부분이 노출되도록 형성된 절연막을 포함하는 것을 특징으로 한다.
플라스틱 기판, CMP, 평탄도, 열질량, 지지기판, 미소 가열기

公开(公告)号：KR1020050063355A

公开(公告)日：2005-06-28

申请号：KR1020030094749

申请日：2003-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B2006/12109

Abstract: 본 발명은 파브리-페로 형태의 파장가변 필터에 관한 것으로, 하부 반사경, 하부 반사경 상부에 광축이 일치되도록 위치된 상부 반사경, 하부 반사경 상부에 위치되며 양측 종단부가 스페이서를 통해 하부 반사경에 고정된 구동체, 구동체의 양측 종단부에 각각 형성된 전극들, 구동체의 중앙부와 상부 반사경을 연결하는 막대구조체, 막대구조체 양측의 하부 반사경에 스페이서를 통해 각각 고정된 고정수단들, 막대구조체와 고정수단들을 연결하며 회전축 역할을 하는 탄성체들을 포함한다. 열팽창이나 전자기력, 혹은 외부의 힘에 의해 구동체의 휨이 발생되면, 탄성체를 회전축으로 지렛대 역할을 하는 막대구조체의 반대편에 연결된 반사경이 구동된다. 따라서 파장가변 범위가 기존보다 넓고 낮은 전력으로 구동할 수 있다. 또한, 두 반사경이 가까워지는 방향과 멀어지는 방향으로 양방향 구동이 가능하며, 구동체와 반사경이 분리되어 있어 전류에 의한 빛의 흡수 및 굴절률 변화가 최소화된다.

公开(公告)号：KR1020050046030A

公开(公告)日：2005-05-18

申请号：KR1020030079987

申请日：2003-11-13

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  최창억 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B6/29358 ,  G02B6/29395

Abstract: 본 발명은 미소기전집적시스템(MEMS: Micro-Electro-Mechanical System) 형태의 파장가변 필터에 관한 것으로, 광축이 정렬된 두 개의 광섬유 혹은 광 도파로, 상기 광섬유 혹은 광 도파로 앞단에서 빛을 모아주는 두 개의 렌즈, 하나의 기판에 형성된 두 개 혹은 그 이상의 반사경, 적어도 하나의 상기 반사경을 지지하는 열구동체를 포함하며, 전류의 흐름에 따른 열구동체의 열팽창에 의해 상기 반사경이 구동된다. 반사경들이 하나의 기판에 모두 형성되므로 서로 다른 기판에 형성된 반사경을 조립하는 구조에 비하여 제작 과정이 간단하고 초기 공진 파장을 정밀하게 조절할 수 있으며, 열구동체에 직접 전류를 흘려 열팽창시키므로 적은 소모 전력으로 구동이 가능하다. 또한, 반사경을 움직이는 데 정전력을 이용하지 않으므로 반사경들 사이의 고착 현상이 일어나지 않아 정전구동에 의한 파장가변 필터에 비하여 더 넓은 범위의 파장가변이 가능하며, 평면 형태의 반사경이 서로 평행하게 배열되므로 광정렬이 쉽고 선폭이 일정하며 삽입 손실이 적다.

公开(公告)号：KR100469644B1

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：KR1020020010426

申请日：2002-02-27

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 장원익 ,  최창억 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: B81C1/00

Abstract: PURPOSE: A micro pump and a manufacturing method thereof are provided to allow for a mass production and reduction of manufacturing costs, while permitting silicon semiconductor elements to be integrated on a single chip. CONSTITUTION: A micro pump comprises a lower substrate(100); a heat generating layer formed into a predetermined pattern on the lower substrate so as to generate a heat and control the pressure of the fluid; a cavity(170) formed on the heat generating layer; membranes(140,150,160) formed on the cavity in such a manner that the membranes expand by the heat generated from the heat generating layer; a fluid transfer path(230) including the membranes and an upper substrate as a boundary; and the upper substrate which is patterned to form the boundary of the fluid transfer path. The membranes expands by heating a certain part of the heat generating layer formed beneath a fluid outlet port(310), and the fluid is transferred by using expansions of the membranes.

Abstract translation: 目的：提供一种微型泵及其制造方法，以允许批量生产和降低制造成本，同时允许硅半导体元件集成在单个芯片上。 构成：微型泵包括下基板（100）; 在下基板上形成预定图案的发热层，以产生热量并控制流体的压力; 形成在发热层上的空腔（170） 以这样的方式在腔上形成膜（140,150,160），使得膜通过发热层产生的热量而膨胀; 包括膜和上基板作为边界的流体传输路径（230） 以及被图案化以形成流体传输路径的边界的上基板。 通过加热形成在流体出口端口（310）下方的发热层的特定部分来使膜膨胀，并且通过使用膨胀的膜来转移流体。

公开(公告)号：KR100455691B1

公开(公告)日：2004-11-06

申请号：KR1020020081472

申请日：2002-12-18

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정문연 ,  전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/042 ,  Y10S359/904

Abstract: A multi-step landing micro-mirror, a method for manufacturing the same, and a multi-step landing micro-mirror array are disclosed. The multi-step landing micro-mirror comprises a trench formed in a substrate and having N-1 steps in one side wall thereof; N plates rotated in or on the trench; and 2N springs for connecting the plates to each other; wherein the N plates are composed of an outermost first plate, a second plate connected with the first plate by the spring and located in the first plate, . . . , and a N-th plate connected with a (N-1)-th plate by the spring and located in the (N-1)-th plate, wherein when voltages are applied to the N plates and the trench, respectively, the first plate is subjected to a first landing with a predetermined rotation angle on a first step of the trench due to the constant voltage, the second plate is subjected to a second landing with the predetermined rotation angle on a second step of the trench, . . . , the N-th plate is subjected to a N-th landing with the predetermined rotation angle on the other side wall of the trench. Accordingly, the low voltage driving can be performed by performing the multi-step driving during the electrostatic force is applied, the elastic force of the spring for supporting the mirror can be enhanced, therefore the reliability of the optical switch can be improved.

Abstract translation: 公开了多级落地微镜，其制造方法以及多级落地微镜阵列。 多级落地微镜包括：形成在衬底中并在其一个侧壁中具有N-1个台阶的沟槽; 在沟内或沟上旋转的N个板; 以及用于将这些板彼此连接的2N弹簧; 其中所述N个板由最外侧的第一板，通过所述弹簧与所述第一板连接且位于所述第一板中的第二板构成。 。 。 以及通过弹簧与第（N-1）板连接并且位于第（N-1）板中的第N板，其中当电压分别施加到N板和沟槽时， 由于所述恒定电压，所述第一板在所述沟槽的第一台阶上经受具有预定旋转角度的第一降落，所述第二板在所述沟槽的第二台阶上以所述预定旋转角度经受第二降落。 。 。 ，第N个板在沟槽的另一个侧壁上以预定旋转角度进行第N次着陆。 因此，通过在施加静电力期间执行多步驱动可以执行低电压驱动，可以增强用于支撑反射镜的弹簧的弹力，因此可以提高光开关的可靠性。

公开(公告)号：KR100450756B1

公开(公告)日：2004-10-01

申请号：KR1020020033720

申请日：2002-06-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정문연 ,  전치훈 ,  최창억

IPC: G02B26/08

Abstract: PURPOSE: An optical signal switch array for optical communication is provided to drive easily a reflection mirror by arranging a digital switch type reflection mirror between an optical signal input part and an optical signal output part. CONSTITUTION: An optical signal switch array for optical communication includes an optical signal input part(100), a switching array part(200), and an optical signal output part(300). The optical signal input part(100) includes a plurality of optical signal transferring grooves having the predetermined stepped parts and a plurality of optical fibers located on the optical signal transferring grooves. A plurality of digital switch type reflection mirrors are arranged in matrix on a gradient surface of the switching array part(200) in order to control the optical signals by changing the direction of the optical signals of the optical signal input part(100). The optical signal output part(300) receives and outputs the reflected optical signals of the switching array part(200).

Abstract translation: 目的：提供一种用于光通信的光信号开关阵列，通过在光信号输入部分和光信号输出部分之间设置数字开关型反射镜，容易地驱动反射镜。 用于光通信的光信号开关阵列包括光信号输入部分（100），开关阵列部分（200）和光信号输出部分（300）。 光信号输入部分（100）包括具有预定阶梯部分的多个光信号传送槽和位于光信号传送槽上的多个光纤。 为了通过改变光信号输入部分（100）的光信号的方向来控制光信号，在开关阵列部分（200）的梯度表面上以矩阵形式布置多个数字开关型反射镜。 光信号输出部（300）接收并输出开关阵列部（200）的反射光信号。

公开(公告)号：KR1020040054434A

公开(公告)日：2004-06-25

申请号：KR1020020081472

申请日：2002-12-18

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정문연 ,  전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/042 ,  Y10S359/904

Abstract: PURPOSE: A multi-level landing type micro-mirror, a fabricating method thereof, and a multi-level landing type micro-mirror array are provided to improve the switching reliability by reinforcing a spring of the micro-mirror. CONSTITUTION: A trench is formed on a substrate. Stepped portions of N-1 number are formed on one side of the trench. Plates(20-23) of N number are rotated at a top part and an inner part of the trench. Springs(24-26) of 2N number are used for connecting the plates of N number to each other. The plates are formed with the first plate to the N-th plate. The plates are connected each other by the springs. The first plate is landed on the first stepped portion. The second plate is landed on the second stepped portion. The N-th plate is landed on the N-th stepped portion.

Abstract translation: 目的：提供多级着陆式微型镜，其制造方法和多级着陆型微镜阵列，以通过加强微镜的弹簧来提高切换的可靠性。 构成：在衬底上形成沟槽。 N-1号的阶梯部分形成在沟槽的一侧。 N号的板（20-23）在沟槽的顶部和内部部分旋转。 2N号的弹簧（24-26）用于将N号的盘相互连接。 板形成有第一板到第N个板。 板通过弹簧彼此连接。 第一板落在第一台阶上。 第二板落在第二台阶部分上。 第N台落在第N台阶上。

公开(公告)号：KR100381011B1

公开(公告)日：2003-04-26

申请号：KR1020000067065

申请日：2000-11-13

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 장원익 ,  최창억 ,  전치훈 ,  김윤태 ,  이명래 ,  김윤태

IPC: H01L21/205

CPC classification number: B81C1/00936 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/31116

Abstract: Disclosed is a a method of fabricating a MEMS device by means of surface micromachining without leaving any stiction or residues by etching silicon oxide of a sacrificial layer, which is an intermediate layer between a substrate and a microstructure, rather than by etching silicon oxide of a semiconductor device. The method according to the invention includes the steps of supplying alcohol vapor bubbled with anhydrous HF, maintaining a temperature of the supplying device and a moving path of the anhydrous HF and the alcohol to be higher than a boiling point of the alcohol, performing a vapor etching by controlling a temperature and a pressure to be within the vapor region of a phase equilibrium diagram of water, and removing silicon oxide of a sacrificial layer on a lower portion of the microstructure.

Abstract translation: 公开了一种通过表面微机械加工制造MEMS器件的方法，其通过蚀刻作为衬底和微结构之间的中间层的牺牲层的氧化硅而不留下任何静电或残留物，而不是通过蚀刻半导体的氧化硅 设备。 根据本发明的方法包括以下步骤：供应用无水HF鼓泡的醇蒸气，保持供应装置的温度和无水HF和醇的移动路径高于醇的沸点，进行蒸气 通过将温度和压力控制在水的相平衡图的蒸气区域内并且去除微结构下部的牺牲层的氧化硅来进行蚀刻。

公开(公告)号：KR1020030023145A

公开(公告)日：2003-03-19

申请号：KR1020010056159

申请日：2001-09-12

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 양해식 ,  전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: B81B7/04

CPC classification number: B01J19/0093 ,  B01J2219/00783 ,  B01J2219/00822 ,  B01J2219/00853 ,  B01J2219/00873 ,  G01N27/403

Abstract: PURPOSE: A microelectrode, a microelectrode array, and a method for manufacturing microelectrode are provided to improve thermal isolation between a microheater and a substrate and reduce power consumption in a solution. CONSTITUTION: A substrate(1001) has trenches in predetermined depth. A support film(1010) is formed on the substrate to form cavities in the trenches. A sealing film(1013) is formed on the support film to seal the cavities. A plurality of microheaters(1015) is formed of resistant substances generating heat on the sealing film. An insulating film(1017) is formed on the whole structure including the microheaters. A plurality of wires is formed on the insulating film and is connected with the microheaters through contact holes(1016). An electrode is formed on the insulating film and is indirectly heated by the microheaters. A protective film is formed on the whole structure including the electrode and the wires and is patterned to expose parts of the electrode and the wires.

Abstract translation: 目的：提供微电极，微电极阵列和微电极的制造方法，以改善微加热器和衬底之间的热隔离并降低溶液中的功率消耗。 构成：衬底（1001）具有预定深度的沟槽。 在衬底上形成支撑膜（1010）以在沟槽中形成空腔。 在支撑膜上形成密封膜（1013）以密封空腔。 多个微流体（1015）由在密封膜上产生热的抗性物质形成。 在包括微型加热器的整个结构上形成绝缘膜（1017）。 多个导线形成在绝缘膜上，并通过接触孔（1016）与微流体连接。 在绝缘膜上形成电极，并被微细加热器间接加热。 在包括电极和电线的整个结构上形成保护膜，并且被图案化以暴露电极和电线的部分。

公开(公告)号：KR100341853B1

公开(公告)日：2002-06-26

申请号：KR1019990025141

申请日：1999-06-29

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이종현 ,  이명래 ,  장원익 ,  최창억

IPC: G02B6/00

Abstract: 본발명은대용량(테라비트급) 정보교환을위한파장분할방식의광통신시스템에있어서광신호중의하나의파장을선택하기위한패브리-페롯형의광 필터의구조에관한것이다. 본발명은서로마주보는광 입력용광섬유및 광출력용광섬유과; 상기광섬유사이에장착된입사광용마이크로볼렌즈및 출력광용마이크로볼렌즈와; 서로마주보는상태로상기각 마이크로볼렌즈사이에장착되며, 각각은한 쌍의실리콘판으로이루어진두 개의실리콘거울과; 지지체와연결되어고정전극사이에위치하며, 어느한실리콘거울과연결되는액츄에이터를포함하여이루어지며, 필터제작에있어서부가적인증착이필요없게되어공정의단순화와제작의단가를낮출수 있고, 이와더불어우수한파장선택성과넓은영역의파장가변성을가진필터를구현할수 있는광 필터를개시한다.