公开(公告)号：WO1998009147A1

公开(公告)日：1998-03-05

申请号：PCT/SE1997001381

申请日：1997-08-22

Applicant: GETINGE SKÄRHAMN AB ,  AMBERNTSSON, Jan

Inventor： GETINGE SKÄRHAMN AB

IPC: G01M03/34

CPC classification number: B01J3/006 ,  B01J3/002 ,  G01M3/3236

Abstract: The invention concerns a method of performing an air leakage test in a low pressure chamber. The chamber is evacuated down to a predetermined low pressure level, at which level the evacuation is interrupted and the chamber closed entirely. Following a period of inactivity after attainment of the predetermined low pressure level, during which period the pressure is allowed to rise inside the chamber, the evacuation is again started. This is effected with the aid of an ejector having a higher capacity for pumping out vapour than air, and the evacuation is effected until the predetermined low pressure level is again attained.

Abstract translation: 本发明涉及在低压室中进行空气泄漏试验的方法。 将腔室排空到预定的低压水平，在该水平处，抽空被中断并且室完全关闭。 在达到预定的低压水平之后的一段时间不活动之后，在该期间允许压力在室内升高，再次开始排气。 这借助于具有比空气抽出蒸汽的更高容量的喷射器进行，并且进行排气直到再次达到预定的低压水平。

公开(公告)号：WO1997037056A1

公开(公告)日：1997-10-09

申请号：PCT/US1997006060

申请日：1997-03-28

Applicant: ATMI ECOSYS CORPORATION

Inventor： ATMI ECOSYS CORPORATION ,  LANE, Scott ,  SHAH, Dinesh ,  COLMAN, Ronald ,  HEADING, Liam, R. ,  SIMPSON, Eric

IPC: C23C16/00

CPC classification number: C23C16/4412 ,  B01D53/74 ,  B01J3/002

Abstract: A pressure stabilization system for damping pressure variations in a process (10) discharging an effluent gas stream, in which the process is pressure-sensitive and downstream pressure variations can adversely affect the upstream process, comprising a motive fluid driver (38) to receive the effluent gas stream, and means (3) for sensing a pressure characteristic of the effluent gas stream and adjusting the flow of the effluent gas stream to damp pressure fluctuations. The pressure stabilization system may further comprise: (i) a variable frequency drive (170) for operating the motive fluid driver at a variable rotational speed; (ii) a pressure transducer monitor (186) for monitoring the pressure characteristic of the effluent gas stream and generating a pressure transduced signal; and (iii) a proportional integral derivative controller (188) coupled with the pressure transducer monitor (186), and responsive to the pressure transduced signal to adjust the variable frequency drive to damp pressure fluctuations.

Abstract translation: 一种压力稳定系统，用于减轻排出流出气体流的过程（10）中的压力变化的压力变化，其中所述过程是压敏和下游压力变化可能不利地影响上游过程，包括运动流体驱动器（38） 流出气流，以及用于感测流出气流的压力特性并调节流出气流的流动以减轻压力波动的装置（3）。 压力稳定系统还可以包括：（i）用于以可变转速操作动力流体驱动器的变频驱动器（170）; （ii）压力传感器监测器（186），用于监测废气流的压力特性并产生压力转换信号; 和（iii）与压力传感器监视器（186）耦合的比例积分微分控制器（188），并且响应于压力传导信号来调节变频驱动器以减轻压力波动。

公开(公告)号：KR102225771B1

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：KR1020210004325A

申请日：2021-01-13

Applicant: 김원기

Inventor： 김원기

IPC: C23C16/44 ,  B01J3/00 ,  C23C14/56 ,  E05F15/622 ,  H01L21/67

CPC classification number: C23C16/4409 ,  B01J3/002 ,  C23C14/56 ,  E05F15/622 ,  H01L21/67126 ,  E05Y2201/702 ,  E05Y2201/704 ,  E05Y2900/60

Abstract: 본 발명은 웨이퍼 증착장비용 프로세스챔버 개폐장치에 관한 것이다. 이는, 챔버리드를 갖는 프로세스챔버의 챔버리드에 고정되는 상부링크브라켓과; 상부링크브라켓의 하부에 고정되는 하부링크브라켓과; 연결핀을 통해 하부링크브라켓에 링크되는 리드스크류와; 상부링크브라켓에 연결핀으로 연결되는 상부커넥터와; 상부커넥터에 고정된 상태로 리드스크류의 일부를 수용하는 리프팅파이프와; 리프팅파이프의 하단부에 고정되는 기어하우징과; 기어하우징의 밀폐공간내에 수용되는 워엄휠 및 워엄과; 기어하우징의 외측부에 설치되는 고정브라켓과; 고정브라켓에 고정되는 서보모터와; 서보모터의 회전력을 워엄으로 전달하는 커플러가 포함된다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 웨이퍼 증착장비용 프로세스챔버 개폐장치는, 챔버리드의 개방각도를 다단으로 조절할 수 있으며, 더 나아가 입력된 각도에 도달했을 때 자동으로 정지하는 구조를 가져, 사용이 매우 편리하다. 또한, 기어하우징에 밀폐된 워엄 및 워엄휠을 채용하므로 동작 정밀성이 뛰어나고, 모터의 부하가 작아 저소음 운용이 가능하며 쇳가루가 날릴 염려가 없다.

公开(公告)号：JPWO2014057536A1

公开(公告)日：2016-08-25

申请号：JP2014540653

申请日：2012-10-10

Applicant: 株式会社岡野製作所 ,  小川 倉一 ,  倉一 小川 ,  宏司 美馬 ,  宏司 美馬

Inventor： 岡野　夕紀子 ,  夕紀子 岡野 ,  修一 田尻 ,  修一 田尻 ,  隆司 青園 ,  隆司 青園 ,  小川　倉一 ,  倉一 小川 ,  宏司 美馬 ,  宏司 美馬

IPC: G01L21/12

CPC classification number: G01L21/12 ,  B01J3/002

Abstract: 本発明は、構造がシンプルかつ堅牢であり、かつ測定精度が高い小型の圧力センサ、および該圧力センサを備えた真空加工装置を提供することを課題とする。本発明に係る圧力センサ1は、空洞部4aが形成された基台部4、基台部4の表面に設けられた高分子膜5、高分子膜5の表面領域5bに設けられた第1薄膜センサ6、および高分子膜5の表面領域5cに設けられた第2薄膜センサ7を備えたセンサ部2と、第1薄膜センサ6の温度が予め定められた温度に維持されるように電力を第1薄膜センサ6に供給する第1駆動部、および第2薄膜センサ7の温度に影響を与えない程度の微小電流を第2薄膜センサ7に供給する第2駆動部を備えた制御部3とを備える。第1薄膜センサ6および第2薄膜センサ7は、温度に応じて抵抗値が変化するよう構成されている。

Abstract translation: 本发明中，该结构是简单且坚固的，并且测量精度高微型压力传感器，其目的是提供一种具有一个压力传感器的真空处理装置。 根据本发明的压力传感器1中，基体部腔4a上形成如图4所示，设置在基体部4的表面上的聚合物膜5，第一设置在聚合物膜5的表面区域5b 薄膜传感器6，以及具有在聚合物膜5的表面区域5c设置在第二薄膜传感器7的传感器单元2，功率，使得所述第一薄膜传感器6的温度维持在预定的温度 第一第一驱动器，用于提供所述薄膜传感器6和第二薄膜传感器7控制单元3，用于小电流将不影响与第二驱动器的温度，用于提供第二薄膜传感器7 设置有门。 第一薄膜传感器6和第二薄膜传感器7，根据温度的电阻值的变化构造成。

公开(公告)号：JP2011516814A

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：JP2011502871

申请日：2009-04-07

Applicant: セウォン セロンテック カンパニー リミテッドSewon Cellontech Co.,Ltd. ,  ソ,ギュヒョン

Inventor： ソ，ギュヒョン

IPC: F28D1/06 ,  F16L7/00 ,  F16L39/00 ,  F28D7/10 ,  F28F11/00

CPC classification number: F28D7/106 ,  B01J3/002 ,  B01J19/0073 ,  F28F1/36 ,  F28F2230/00 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T29/4987 ,  Y10T29/49872 ,  Y10T29/49874 ,  Y10T29/49879

Abstract: 本発明は、同軸に配設される内筒と外筒との間に長手方向に連設されて熱媒体の流路を形成するスパイラルが配設されるリアクタのスパイラルシーリングメカニズムを改善してスパイラルと外筒との間の密閉を効率よく維持し、リアクタの製造が容易に行える新規なタイプのスパイラルシーリング用ガスケットを用いたリアクタとその製造方法及びそのためのガスケットを提供する。 本発明に係るガスケットはスパイラル３に嵌着される構造を有することから、ガスケット１０を取り付けるための別途の２次加工を必要としない。 このため、ガスケット１０のチャンネル２１にスパイラル３が嵌入するように押し込む作業を通じてガスケット１０をスパイラル３に嵌着することができるので、組み立て作業が簡単に行える。 また、ガスケット１０がスパイラル３の外周に満遍なく嵌着される構造であり、内側に圧縮可能な弾性体としてクッションプレート４０が配設されるので、外筒２の覆設時におけるガスケット１０の破損を効果的に防止し、外筒２の覆設後にスパイラル３と外筒２との間の密閉を安定的に維持することができる。
【選択図】図９

公开(公告)号：JPS612749B2

公开(公告)日：1986-01-27

申请号：JP776679

申请日：1979-01-25

Applicant: Matsushita Electric Ind Co Ltd

Inventor： OCHI KENZO ,  YAMAZAKI OSAMU ,  WASA KYOTAKA

IPC: C23C14/50 ,  B01J2/02 ,  B01J3/00 ,  C23C14/22 ,  F16C33/58

CPC classification number: B01J3/002 ,  C23C14/22

公开(公告)号：JPS6118429A

公开(公告)日：1986-01-27

申请号：JP13950684

申请日：1984-07-04

Applicant: Hitachi Zosen Corp

Inventor： TAKEYA MITSUO ,  TAKEZAKI YOUJI

IPC: B01J3/04 ,  B01J3/00 ,  B29C35/00 ,  B29C35/04 ,  B29C35/16 ,  B29K21/00

CPC classification number: B29C35/007 ,  B01J3/002

Abstract: PURPOSE:To save energy consumption for quantity of heat and to increase the cooling efficiency by connecting both the halfway position of a return pipe of high-temp. water and the halfway position of a circulation path of cooling via an energy conservation tank capable of storing water. CONSTITUTION:In case of heating the inside of a pressurized vessel 1, three-way switching valves 12, 13, 22 are changed over to supply high-temp. water to a heating cooler 2 from a high-temp. water feed pipe 9 and the used high-temp. water is introduced to the outer part through a return pipe 10. In case of cooling the pressurized apparatus, the three-way switching valves 12, 13, 22, 23 are changed over to stop the supply the high-temp. water and water 24 incorporated in a less energy consumption tank 21 is circulated and fed to the heating coller 2 as the cooling water. Then, the respective three-way switching valves 12, 13, 22, 23 are changed over to stop the supply of water 24 from the energy conservation tank 21 and the original cooling is performed by circulating and feeding the cooling water to the heating cooler 2 from a cooling water circulating pipe 11.

Abstract translation: 目的：通过连接高温回流管道的中间位置，节省热量的能源消耗，提高冷却效率。 水和通过能够储存水的节能罐的冷却循环路径的中途位置。 构成：在加压容器1的内部加热的情况下，将三通切换阀12,13,22切换为供给高温。 水从高温到加热冷却器2。 给水管9和使用的高温。 水通过返回管10被引入外部部分。在冷却加压装置的情况下，三通切换阀12,13,22,23被切换以停止高温供应。 结合在较少能量消耗罐21中的水和水24循环并作为冷却水供给到加热收卷机2。 然后，将各个三通切换阀12,13,22,23切换成停止从节能箱21供给的水24，通过将冷却水循环供给到加热冷却器2来进行原冷却 来自冷却水循环管道11。

公开(公告)号：JPS59105838A

公开(公告)日：1984-06-19

申请号：JP21967783

申请日：1983-11-24

Applicant: Elf Aquitaine

Inventor： ANRI GONGORA ,  RUNE PERONO ,  ANRI RARANNU

IPC: B01J3/00 ,  B01J19/00 ,  B01J19/12 ,  F16L49/00

CPC classification number: B01J3/002 ,  B01J19/0053 ,  B01J19/0073 ,  B01J19/123 ,  B01J2219/00132 ,  F16L49/00 ,  Y10S285/909 ,  Y10S285/918

公开(公告)号：JPS58202030A

公开(公告)日：1983-11-25

申请号：JP8631582

申请日：1982-05-20

Applicant: Kobe Steel Ltd

Inventor： BETSUPU KOUICHI

IPC: C10G1/06 ,  B01J3/00 ,  B01J3/02 ,  C10C1/00

CPC classification number: B01J3/002

Abstract: PURPOSE:To provide the titled pressure reducing apparatus eliminating a mechanical slide part and capable of minimizing the abrasion of a liquid contacting part such as a valve thereof, by such a mechanism that the charging or discharging valve of a high pressure gas or low pressure gas is opened prior to opening the charging valve of a liquid to be decompressed or the discharge valve of decompressed liquid provided to a gas-liquid pressure reducing tower to carry out pressure raising step or a pressure reducing step. CONSTITUTION:Under a state A after a pressure raising step is finished, a high pressure gas charging and discharging valve 23 is opened while other valves 14, 17, 20 are closed and the liquid level in a gas-liquid pressure reducing tower 11 is adjusted to a position L1. When the charging value 14 of a liquid to be decompressed is opened from this state, a high pressure soln. of liquefied coal product is supplied to the pressure reducing tower 11 from a tower 4 and the liquid in the tower 11 is transferred to a state B from the state A to raise the liquid level to L3 from L1. In this case, the valve 14 is closed after the valve 23 is closed. In the next step, the valve 20 is opened to discharge the residual high pressure gas in the top part of the tower 11 from a discharge line 7 along with the gas dissolved in the aforementioned solution, and the pressure of the solution is reduced to predetermined pressure while the liquid level is raised to L4 from L3 and gas-liquid is brought into equilibrium in the tower 11. The valve 17 is opened in this state and the aforementioned solution is flowed into the tower 11 from the valve 23 while the decompressed solution is discharged from the tower 11 to be sent to a low pressure gas-liquid separation tower 5.

Abstract translation: 目的：提供一种消除机械滑动部件并能够使液体接触部件（例如阀）的磨损最小化的标称减压装置，通过这样的机构，即高压气体或低压气体的充放电阀 在打开要减压的液体的充气阀或提供给气液压力降低塔的减压液体的排出阀之前打开以进行升压步骤或减压步骤。 构成：在升压步骤结束后的状态A下，高压气体充放电阀23打开，而其他阀14,17,20关闭，气液减压塔11中的液面被调节 到位置L1。 当从该状态开始要减压的液体的充电值14时，高压溶剂。 的液化煤产品从塔架4供给到减压塔11，塔11中的液体从状态A转移到状态B，从L1将液面升高到L3。 在这种情况下，在阀23关闭之后阀14关闭。 在下一步骤中，打开阀门20，将排出管路7的顶部残留的高压气体与溶解在上述溶液中的气体一起排出，将溶液的压力降低到规定值 同时液面从L3升高到L4，气塔在塔11中达到平衡。阀17在这种状态下打开，上述溶液从阀23流入塔11，而减压溶液 从塔11排出，送到低压气液分离塔5。

公开(公告)号：WO2017130152A1

公开(公告)日：2017-08-03

申请号：PCT/IB2017/050448

申请日：2017-01-27

Applicant: ARCHIMEDE S.R.L.

Inventor： BRUCATO, Alberto ,  CAPUTO, Giuseppe ,  GRISAFI, Franco ,  SCARGIALI, Francesca ,  TUMMINELLI, Gianluca ,  TUZZOLINO, Gaetano ,  GATTUSO, Calogero ,  RIZZO, Roberto ,  ALESSI, Marialaura ,  SANTORO, Fabio

IPC: B01J19/24 ,  B01J3/00 ,  B01J3/02 ,  B01J4/00

CPC classification number: B01J19/2415 ,  B01J3/002 ,  B01J3/008 ,  B01J3/02 ,  B01J2219/00085 ,  B01J2219/00117 ,  B01J2219/00159 ,  Y02P20/544

Abstract: A reactor including: a first reaction volume for an supercritical oxidation reaction (V1), a second reaction volume for a supercritical gasification reaction (V2), wherein : the first reaction volume (VI) is in fluid communication with an inlet port for an oxidizer agent (OX_JN), an inlet port for at least one first reactant (R1JN) and an outlet port for at least one reaction product (P1 OUT), said second reaction volume (V2) is in fluid communication with an inlet port for at least one second reactant (R2_IN), an outlet port for at least one second reaction product (P2 OUT) and is furthermore in thermal exchange relationship with said first reaction volume (V1), and said second reaction volume (V2) is arranged concentrically around said first reaction volume (V1).

Abstract translation: 一种反应器，其包括：用于超临界氧化反应（V1）的第一反应体积，用于超临界气化反应（V2）的第二反应体积，其中：所述第一反应体积（VI）在流体 与用于氧化剂（OX_JN）的入口端口，用于至少一种第一反应物（R1，N）的入口端口和用于至少一种反应产物（P1OUT）的出口端口连通，所述第二反应体积（V2） 与用于至少一种第二反应物（R2_IN）的入口端口，用于至少一种第二反应产物（P2OUT）的出口端口连通并且还与所述第一反应体积（V1）处于热交换关系，并且所述第二反应体积 （V2）围绕所述第一反应容积（V1）同心布置。