公开(公告)号：WO2002096817A1

公开(公告)日：2002-12-05

申请号：PCT/US2002/015243

申请日：2002-05-14

Applicant: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY

Inventor： ANDERSON, Mark, T. ,  SCHARDT, Craig, R. ,  ONSTOTT, James, R. ,  DONALDS, Lawrence, J. ,  CHIARELI, Alessandra, O., P.

IPC: C03C3/06

CPC classification number: G02B6/03694 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01853 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/36 ,  C03C13/046 ,  C03C23/0095 ,  C03C25/608 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/52 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03655 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/173

Abstract: A method for manufacturing an optical article including the steps of providing a substrate tube; forming one or more cladding layers inside the substrate tube, the one or more cladding layers including an innermost cladding layer; forming a concentric fluorine reservoir adjacent to the innermost cladding layer; and forming a core adjacent to the fluorine reservoir and concentric with the one or more outer cladding layers. The fluorine concentration in the fluorine reservoir is higher than the fluorine concentration in either the core or the innermost cladding layer.

Abstract translation: 一种光学制品的制造方法，包括以下步骤：提供衬底管; 在所述衬底管内形成一个或多个包覆层，所述一个或多个包覆层包括最内包层; 形成与最内层包层相邻的同心氟储层; 并且形成与所述氟储存器相邻并且与所述一个或多个外包层同心的芯。 氟储存器中的氟浓度高于芯层或最内层包层中的氟浓度。

公开(公告)号：WO2002085808A1

公开(公告)日：2002-10-31

申请号：PCT/JP2002/003951

申请日：2002-04-19

Applicant: 株式会社ニコン ,  小峰 典男 ,  吉田 明子 ,  神保 宏樹 ,  藤原 誠志

Inventor： 小峰 典男 ,  吉田 明子 ,  神保 宏樹 ,  藤原 誠志

IPC: C03C3/06

CPC classification number: C03C4/0071 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1492 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2207/00 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  G02B1/02 ,  G02B13/143 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70958

Abstract: A quartz glass member, wherein when the composition thereof is represented by SiOx, x takes a value of 1.85 to 1.95, the concentration of hydrogen molecules contained therein is 1 X 10 molecules/cm to 5 X 10 molecules/cm , and the value of (A-B) is 0.002 cm or less, where A represents the absorption coefficient observed immediately before the termination of irradiation when the irradiation of ArF excimer laser light is carried out in 1 X 10 pulses at one pulse energy density of 2 mJ/cm and B represents a second absorption coefficient observed 600 seconds after the stop of the above ArF excimer laser light irradiation. The use of the quartz glass member in optical systems for illumination and projection in a projection aligner allows the reduction of variation in the illuminance in an exposure region on a reticle plane or a wafer, which leads to a uniform exposure.

Abstract translation: 石英玻璃构件，当其组成由SiO x表示时，x取1.85〜1.95的值，其中所含的氢分子的浓度为1×10 16分子/ cm 3〜5×10 18 >分子/ cm 3，（AB）的值为0.002cm -1以下，其中A表示在ArF准分子激光的照射下进行照射结束之前观察到的吸收系数 1×10 4脉冲，脉冲能量密度为2mJ / cm 2，B表示在停止上述ArF准分子激光照射后600秒观察到的第二吸收系数。 在投影对准器中用于照明和投影的光学系统中使用石英玻璃构件允许减少在掩模版平面或晶片上的曝光区域中的照度的变化，这导致均匀的曝光。

公开(公告)号：WO00024685A1

公开(公告)日：2000-05-04

申请号：PCT/JP1999/005995

申请日：1999-10-28

IPC: C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03C23/00 ,  C03B20/00 ,  G02B1/00 ,  G03F1/16 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C23/002 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57 ,  Y10S65/16 ,  Y10S501/90 ,  Y10S501/905

Abstract: A synthetic quartz glass for optical use which is used through irradiation of rays of light from the ultraviolet region to the vacuum ultraviolet region, characterized in that the quartz glass contains fluorine and has a ratio of the intensity of a scattering peak at 2250 cm (I 2250) to that of a scattering peak at 800 cm (I 800), that is I 2250/I 800, in a laser Raman spectrum of 1 x 10 or less and an absorption coefficient of the light having a wave length of 245 nm of 2 x 10 cm or less.

Abstract translation: 一种用于光学用途的合成石英玻璃，其通过从紫外线区域到真空紫外线区域的光线照射而被使用，其特征在于，所述石英玻璃含有氟并且具有在2250cm -1处的散射峰的强度比， 1×10 -4或更小的激光拉曼光谱中，在800cm -1（I 800）处的散射峰的峰值（I 2250）为I 2250 / I 800，吸收 波长245nm的光的系数为2×10 -3 cm -1以下。

公开(公告)号：WO98052879A1

公开(公告)日：1998-11-26

申请号：PCT/EP1998/002965

申请日：1998-05-20

IPC: C03B19/14 ,  C03B23/047 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06 ,  C03C23/00 ,  G02B1/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B23/047 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2207/32 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/52

Abstract: An object of the present invention is to provide a synthetic silica glass optical material which exhibits excellent transmittance as well as durability for high output power vacuum ultraviolet rays, being emitted from, for example, ArF excimer lasers and Xe2 excimer lamps, and to provide a method for producing the same. A synthetic silica glass optical material for high output power vacuum ultraviolet rays made from ultra high purity synthetic silica glass for use in the wavelength region of from 165 to 195 nm, containing OH groups at a concentration of from 5 to 300 wtppm with a fluctuation width in OH group concentration ( DELTA OH/cm) of 10 wtppm or less, containing hydrogen molecules at a concentration of from 1 x 10 to 1 x 10 molecule/cm with a fluctuation width in hydrogen molecule concentration ( DELTA H2/cm) of 1 x 10 molecule/cm or lower, and containing chlorine at a concentration of 50 wtppm or lower. Also claimed is a method for producing the same.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种合成二氧化硅玻璃光学材料，其从例如ArF准分子激光器和Xe2准分子灯发射的高输出功率的真空紫外线具有优异的透射率和耐久性，并提供 其制造方法 一种用于高浓度合成石英玻璃的高输出功率真空紫外线的合成二氧化硅玻璃光学材料，用于波长范围为165至195nm的OH基，其浓度为5至300重量ppm，具有波动宽度 在OH分子浓度（DELTA OH / cm）为10重量ppm以下，含有浓度为1×10 17〜1×10 19分子/ cm 3的氢分子，氢分子的波动宽度 浓度（DELTA H2 / cm）为1×10 17分子/ cm 3以下，含有浓度为50重量ppm以下的氯。 还要求保护其的方法。

公开(公告)号：WO2017112447A1

公开(公告)日：2017-06-29

申请号：PCT/US2016/066251

申请日：2016-12-13

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： BERKEY, George, Edward ,  DAWES, Steven, Bruce

IPC: C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  G02B6/036 ,  G02B1/00 ,  C03B37/014 ,  C03B19/14 ,  C03B32/00

CPC classification number: G02B6/03627 ,  C03B19/1453 ,  C03B32/00 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01453 ,  C03B37/025 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/31 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/24 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/31 ,  C03C2203/54 ,  G02B6/02009 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03622

Abstract: Bromine doping of silica glass is demonstrated. Bromine doping can be achieved with SiBr4 as a precursor. Bromine doping can occur during heating, consolidation or sintering of a porous silica glass body. Doping concentrations of bromine increase with increasing pressure of the doping precursor and can be modeled with a power law equation in which doping concentration is proportional to the square root of the pressure of the doping precursor. Bromine is an updopant in silica and the relative refractive index of silica increases approximately linearly with doping concentration. Bromine can be used as a dopant for optical fibers and can be incorporated in the core and/or cladding regions. Core doping concentrations of bromine are sufficient to permit use of undoped silica as an inner cladding material in fibers having a trench in the refractive index profile. Co-doping of silica glass with bromine and chlorine is also demonstrated.

Abstract translation: 证明了二氧化硅玻璃的溴掺杂。 溴掺杂可以用SiBr4作为前体来实现。 溴掺杂可以在多孔石英玻璃体的加热，固结或烧结过程中发生。 溴的掺杂浓度随着掺杂前体的压力增加而增加，并且可以用幂定律方程来模拟，其中掺杂浓度与掺杂前体的压力的平方根成比例。 溴是二氧化硅中的上升剂，二氧化硅的相对折射率随着掺杂浓度近似线性增加。 溴可以用作光纤的掺杂剂，并且可以掺入芯和/或包层区。 溴的核心掺杂浓度足以允许在具有折射率分布中的沟槽的纤维中使用未掺杂的二氧化硅作为内包层材料。 还证实了二氧化硅玻璃与溴和氯的共掺杂。

公开(公告)号：WO2017103160A1

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：PCT/EP2016/081512

申请日：2016-12-16

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG

Inventor： OTTER, Matthias ,  LEHMANN, Walter ,  HÜNERMANN, Michael ,  NIELSEN, Nils Christian ,  WITTRIN, Mirko ,  WILDE, Markus

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03B19/10 ,  C03B37/012 ,  C03B17/04

CPC classification number: C03B20/00 ,  C03B17/04 ,  C03B19/108 ,  C03B19/1085 ,  C03B37/01211 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/07 ,  C03C1/026 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/32

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Quarzglaskörpers beinhaltend die Verfahrensschritte i.) Bereitstellen eines Siliziumdioxidgranulats, erhältlich aus einem Siliziumdioxidpulver, wobei das Siliziumdioxidgranulat eine größere Partikelgröße aufweist als das Siliziumdioxidpulver; ii.) Bilden einer Glasschmelze aus dem Siliziumdioxidgranulat und iii.) Bilden eines Quarzglaskörpers aus zumindest einem Teil der Glasschmelze, wobei der Schmelztiegel mindestens einen Einlass und einen Auslassbeinhaltet, wobei mindestens ein Teil der Glasschmelze durch den Auslass des Schmelztiegels entnommen wird. Die Erfindung betrifft weiterhin einen Quarzglaskörper, der durch dieses Verfahren erhältlich ist. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Lichtleiter, ein Leuchtmittel und einen Formkörper, die jeweils durch Weiterverarbeiten des Quarzglaskörpers erhältlich sind.

Abstract translation:

本发明涉及一种用于制造石英玻璃＆OUML ;. Rpers包括如下工艺步骤：i）提供一Siliziumdioxidgranulats，＆AUML ERH;二氧化硅粉末，ltlich其中Siliziumdioxidgranulat一个GR＆ouml;道路ERE粒子＆OUML;道路 作为二氧化硅粉末; 。ii）形成玻璃从Siliziumdioxidgranulat熔化和iii）从所述熔融玻璃的至少一部分上，形成了石英玻璃＆OUML ;. Rpers其中所述坩埚的至少一个入口和一个Auslassbeinhaltet，其中，所述熔融玻璃的至少一部分被取出通过坩埚的出口处。 本发明还涉及一种石英玻璃＆OUML;主体，可以通过此方法获得BEAR是ltlich。 此外，本发明涉及一种光导，发光装置和模制体，其每一个都可以通过进一步处理石英玻璃体

公开(公告)号：WO2017103125A1

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：PCT/EP2016/081451

申请日：2016-12-16

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG

Inventor： OTTER, Matthias ,  WITTRIN, Mirko ,  WILDE, Markus

IPC: C03B20/00 ,  C03B37/012 ,  C03C3/06 ,  C03B17/04 ,  C03B19/10 ,  F26B3/12

CPC classification number: C03B19/108 ,  C03B17/04 ,  C03B19/106 ,  C03B37/0128 ,  C03C1/026 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/26 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/10 ,  F26B3/12

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Quarzglaskörpers beinhaltend die Verfahrensschritte i.) Bereitstellen eines Siliziumdioxidgranulats, ii.) Bilden einer Glasschmelze aus dem Siliziumdioxidgranulat und iii.) Bilden eines Quarzglaskörpers aus zumindest einem Teil der Glasschmelze, wobei Schritt i.) die Schritte I. Bereitstellen eines Siliziumdioxidpulvers und II. Verarbeiten des Pulvers zu einem Siliziumdioxidgranulat umfassend das Sprühtrocknen einer Siliziumdioxidaufschlämmung unter Verwendung einer Düse umfasst. Die Düse weist eine Kontaktfläche zu der Aufschlämmung aus Glas, Kunststoff oder einer Kombination davon auf. Die Erfindung betrifft weiterhin einen Quarzglaskörper, der durch dieses Verfahren erhältlich ist. Weiterhin betrifft die Erfindung die Herstellung eines Siliziumdioxidgranulats. Die Erfindung betrifft außerdem einen Lichtleiter, ein Leuchtmittel und einen Formkörper, die jeweils durch Weiterverarbeiten des Quarzglaskörpers erhältlich sind.

Abstract translation:

本发明涉及一种用于制造石英玻璃＆OUML;包括如下工艺步骤：i）提供一Siliziumdioxidgranulats rpers，ii）形成在玻璃从Siliziumdioxidgranulat熔化和iii）形成的石英玻璃与OUML; ...的至少一个的Rpers 使用d导航用途包括本身保温;熔融玻璃，其特征在于，步骤i）包括提供二氧化硅粉末I. II和处理该粉末成包括SPR导航使用Siliziumdioxidgranulat步骤..的一部分htrocknen一个Siliziumdioxidaufschl＆AUML。 喷嘴与玻璃，塑料或其组合的外壳具有接触表面。 本发明还涉及一种石英玻璃＆OUML;主体，可以通过此方法获得BEAR是ltlich。 此外，本发明涉及二氧化硅颗粒的生产。 本发明还涉及一种光导，发光装置和模制体，其每一个都可以通过进一步处理石英玻璃体

公开(公告)号：WO2016168042A1

公开(公告)日：2016-10-20

申请号：PCT/US2016/026336

申请日：2016-04-07

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： BOOKBINDER, Dana Craig ,  LI, Ming-Jun ,  TANDON, Pushkar

IPC: G02B6/02 ,  G02B6/028 ,  G02B6/036 ,  C03C13/04

CPC classification number: C03C13/046 ,  C03B37/014 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2203/23 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  G02B6/02019 ,  G02B6/0281 ,  G02B6/0288 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03655 ,  G02B6/03683

Abstract: A co-doped optical fiber is provided having an attenuation of less than about 0.17 dB/km at a wavelength of 1550 nm. The fiber includes a core region in the fiber having a graded refractive index profile with an alpha of greater than 5. The fiber also includes a first cladding region in the fiber that surrounds the core region. Further, the core region has an effective refractive index of about -0.10% to about +0.05% compared to pure silica. In addition, the core region includes silica that is co-doped with chlorine at about 1.2% or greater by weight and fluorine between about 0.1% and about 1% by weight.

Abstract translation: 提供了共掺杂光纤，其在1550nm的波长处具有小于约0.17dB / km的衰减。 光纤包括光纤中的芯区域，其具有α大于5的渐变折射率分布。该光纤还包括围绕芯区域的纤维中的第一包层区域。 此外，与纯二氧化硅相比，芯区域具有约-0.10％至约+ 0.05％的有效折射率。 此外，核心区域包括二氧化硅，其以约1.2％或更高重量的共同掺杂氯和约0.1％至约1％重量的氟共混。

公开(公告)号：WO2016013545A1

公开(公告)日：2016-01-28

申请号：PCT/JP2015/070717

申请日：2015-07-21

Applicant: 住友電気工業株式会社

Inventor： 春名　徹也 ,  平野　正晃 ,  田村　欣章 ,  川口　雄揮

IPC: C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C13/04

CPC classification number: C03B37/01211 ,  C03B37/012 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01248 ,  C03B37/014 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/018 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01869 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/34 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  Y02P40/57

Abstract: 　本発明は、伝送損失の小さな光ファイバを得るための光ファイバ母材を製造する方法に関する。当該光ファイバ母材に含まれるコア母材は、それぞれがロッドインコラプス法により作製され、かつ、アルカリ金属元素濃度および塩素濃度の双方が独立に制御された３以上のコア部を含み、これら３以上のコア部それぞれの製造工程のうち２以上の製造工程において、アルカリ金属元素の添加が実施される。その結果、コア母材全体におけるアルカリ金属元素濃度の平均値が７原子ｐｐｍ以上７０原子ｐｐｍ以下に制御される。

Abstract translation: 本发明涉及一种制造光纤预制棒的方法，用于获得具有较小传输损耗的光纤。 包括在光纤预制棒中的芯预制品具有至少三个芯部，每个芯部分均采用塌陷工艺制造，其中碱金属元素浓度和氯化物浓度均独立控制。 在至少三个芯部中的每一个的制造工艺的至少两个制造工艺中，添加碱金属元素。 结果，将整个芯预成型体中的碱金属元素浓度的平均值控制为7原子ppm至70原子ppm。

公开(公告)号：WO00042458A1

公开(公告)日：2000-07-20

申请号：PCT/JP1999/007060

申请日：1999-12-16

IPC: C03B37/014 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  G02B6/02 ,  G02B6/036 ,  G02B6/16 ,  C03B37/018 ,  G02B6/00

CPC classification number: C03C13/046 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2203/22 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  G02B6/02019 ,  G02B6/02257 ,  G02B6/02266 ,  G02B6/03627

Abstract: An optical fiber has a structure that can effectively decrease both transmission and bending losses. The optical fiber is composed mainly of silica and includes a core part and cladding part surrounding the core part. The core part contains chlorine to have a larger refractive index than that of pure silica, and the cladding part contains fluorine to have a smaller refractive index than that of pure silica. The peak ratio of the difference in refractive index between the core part and pure silica to the refractive index of pure silica is greater than 0.05 %.

Abstract translation: 光纤具有可以有效地降低传输和弯曲损耗的结构。 该光纤主要由二氧化硅组成，并且包括芯部和围绕芯部的包层部。 核心部分含有比纯二氧化硅更大的折射率的氯，并且包层部分含有比纯二氧化硅更小的折射率的氟。 核心部分和纯二氧化硅之间的折射率差与纯二氧化硅的折射率的峰值比率大于0.05％。